技术编号:4350781
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基板搬送方法以及基板搬送装置。背景技术 以往,在制造液晶板,特别是制造把TFT作为开关元件来驱动液晶的有源矩阵型液晶板时,为了提高成品率和品质,对液晶板的制造装置进行了改善。这里,特别成为问题的是,在制造工序中,因液晶板带电而产生的静电,使得TFT等元件被损坏,或吸附空气中的灰尘,由此导致成品率和品质的下降。尤其近年来,为了降低成本和提高成品率,用于制造液晶板的玻璃基板正在向大型化发展,与此同时,作为绝缘体的玻璃基板的总带电量也随之增大,使得...
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