技术编号：4355069
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于搬送装置及基板处理装置。背景技术作为构成显示器装置等显示装置的显示元件,例如有液晶显示元件、有机电致发光(有机EL)元件、用于电子纸的电泳元件等。目前，此等显示元件是以在基板表面形成被称为薄膜电晶体的开关元件(Thin Film Transistor TFT)后，于其上形成各自的显示元件的主动元件(Active device)渐为主流。近年来，提出了一种在片状基板(例如薄膜构件等)上形成显示元件的技术。作为此种技术，例如有一种被称为卷对卷(ro...
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