技术编号：4399383
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及利用空气使液晶显示器(LCD)或其他的平板显示器(FPD)等的基板浮起的基板浮起装置。背景技术以往，在通过光刻工序在玻璃基板(素玻璃)上形成光致抗蚀图案以制造液晶面板的工序和对该玻璃基板进行检查的检査工序中，采用下述方法利用空气使素玻璃基板浮起、并对该非接触状态的素玻璃基板进行检査或者搬送(例如参照专利文献l)。在利用空气使素玻璃基板浮起的情况下，在基板检查装置或基板搬送装置的载置玻璃基板的工作台上表面或搬送玻璃基板的搬送面上并排排列有多个形成有...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。