专利名称：基板浮起装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及利用空气使液晶显示器(LCD)或其他的平板显示器(FPD)等的基板浮起的基板浮起装置。
背景技术：
以往，在通过光刻工序在玻璃基板(素玻璃)上形成光致抗蚀图案以制造液晶面板的工序和对该玻璃基板进行检查的检査工序中，采用下述方法利用空气使素玻璃基板浮起、并对该非接触状态的素玻璃基板进行检査或者搬送(例如参照专利文献l)。
在利用空气使素玻璃基板浮起的情况下，在基板检查装置或基板搬送装置的载置玻璃基板的工作台上表面或搬送玻璃基板的搬送面上并排排列有多个形成有空气排出孔的浮起板，通过从这些浮起板的空气排出孔排出空气来使玻璃基板浮起。
在对浮起板供给排出用的空气的情况下，采取下述方法从暂时忙
存由空气供给源供给的空气的缓冲罐经由空气配管将空气供给至各浮起板。日本特开2005—62819号公报
然而，如果空气配管的长度根据每个浮起板而不同，则空气配管中的压力损失产生差异，由此每个浮起板的空气排出量产生差异，进而，无法将浮起时的基板保持水平。
' 对于这一点，能够通过将空气配管全都形成为相同长度来使空气配管中的空气的压力损失恒定。在以往的情况下，从设置在基板搬送装置的旁边的缓冲罐到离该缓冲罐最远的浮起板的距离成为空气配管的基准长度，利用基准长度的空气配管将缓冲罐和各浮起板之间连接在一起来防止压力损失的差异。如果以离缓冲罐最远的浮起板作为基准长度，则
4离缓冲罐最近的浮起板的空气配管与离缓冲罐的距离最远的浮起板相比，长出玻璃基板的搬送路的宽度的量。
在为了搬送一边为3000mm的大型玻璃基板而在搬送宽度方向上以预定的间隔并列有13张例如形成为宽度200mmx长度,l000mn 的矩形的浮起板的搬送工作台中，连接在配置于两侧的浮起板上的空气配管之间存在大约2800mm的差。S卩，由于从距离最远的浮起板开始在空气配管上产生的松弛依次增加200mm，因此必须对松弛变长的空气配管进行引导，存在配管作业复杂化的问题。
在将产生松弛的空气配管在缓冲罐侧巻起来的情况下，在该巻起来的部分对空气的流动产生阻力，因此在各空气配管中流动的空气的压力不同，从而产生了无法使各浮起板的浮起压力恒定的新的问题。
另外，由于必须使所有的空气配管的长度都与从缓冲罐到浮起板的距离最大的空气配管的长度对应，因此压力损失变大，产生了提高对浮起板供给的空气的压力的需要。
发明内容
鉴于上述以往的实际情况，本发明的课题在于，提供一种能够利用简单的结构对浮起板供给恒定压力的空气的基板浮起装置。
为了解决上述课题，本发明的基板浮起装置具备多个浮起板，它们排出基板浮起用的空气；缓冲罐，其暂时地贮存对该多个浮起板供给的空气；以及多个空气配管，它们从该缓冲罐分别对所述多个浮起板供给空气，其中，所述浮起板呈矩形瓦片状，并呈矩阵状排列，所述缓冲罐配置在用于配置所述多个浮起板的区域的下方，并且沿着所述浮起板的排列方向的一个方向延伸，所述多个空气配管以实质上相同的长度将所述缓冲罐和所述多个浮起板之间连结起来。
根据本发明，能够縮短空气配管，同时，能够防止由空气配管的配置形状引起的空气的压力损失差的产生，因此，能够利用简单的结构对浮起板供给压力恒定的空气。
图1是示出具备本发明的一个实施方式所涉及的基板浮起装置的基 板检查装置的立体图。
图2是从上方观察本发明的一个实施方式所涉及的基板浮起装置的
立体图。
图3是从下方观察本发明的一个实施方式所涉及的基板浮起装置的 立体图。
标号说明
1:基板检查装置；2:显微镜；3:龙门架；4:基座部；5:除振部； 6:架设框架；10:基板浮起装置；11:浮起板；12:板支承框架；12a: 缓冲罐；12b:密封部件；13、 14:空气配管；13a、 13b:配管接头；15: 框架基座部；16:高度调节部。
具体实施例方式
以下， 一边参照附图一边对本发明的一个实施方式所涉及的基板浮 起装置进行说明。
图1是示出具备本发明的一个实施方式所涉及的基板浮起装置10的 基板检查装置1的立体图。另外，在该图中，对于基板搬入用和基板搬 出用的基板搬送装置以及对在浮起板11上浮起后的基板的一侧侧端部进 行保持并搬送的滑动件省略图示，所述基板浮起装置io配置在基板检査 装置1的检查区域，所述基板搬入用和基板搬出用的基板搬送装置配置 在基板浮起装置10的基板搬送方向(箭头D1)的前后。
图2是从上方观察基板浮起装置10的立体图，图3是从下方观察基 板浮起装置10的立体图。另外，在图2中省略对基板浮起装置10的浮 起板11的图示。
图1所示的基板检查装置1是龙门架(gantry)固定方式的微观检查 装置，由图2和图3所示的基板浮起装置10、显微镜(检査单元)2、龙 门架3、基座部4、除振部5以及架设框架6等构成。
龙门架3呈门型形状，并以跨越在基板浮起装置10上搬送的基板的方式固定在基座部4上。显微镜2形成为能够通过设在龙门架3的水平 梁侧面的直线电动机机构3a的动作在与基板搬送方向(箭头Dl)正交 的水平的一个轴方向(箭头D2)移动。
对于该基板检査装置，由于其龙门架3固定在基座部4上，所以利 用未图示的滑动件在基板搬送方向(箭头D1)搬送基板、并通过直线电 动机机构3a的动作使显微镜2在一个轴方向(箭头D2)移动来进行观 察，由此，能够对基板的整个表面进行观察。另外，在显微镜2的下方， 以与该显微镜2对置的方式配设有与显微镜2的动作同步地移动的透射 照明用光源。
后述的浮起板11中的、处于夹着利用显微镜2对基板进行检査的检 査对象区域(显微镜2通过在移动方向D2移动而能够检查的区域)的位 置的两列浮起板ll'与配置在其他位置的浮起板11相比，在短边方向即 显微镜移动方向(箭头D2)上没有间隔地密接配置，从而能够使基板精 密浮起。
在基座部4的下部配置有吸收来自外部的振动的多个除振部5。并 且，多个架设框架6以沿着基板搬送方向(箭头D1)延伸的方式架设在 基座部4上，在架设框架6上设置有四个图2和图3所示的单元化了的 基板浮起工作台10。
基板浮起装置10由浮起板11 (仅在图3中示出)、板支承框架12、 缓冲罐(buffertank) 12a、空气配管13、 14、框架基座部15以及高度调 节部16等构成。
浮起板ll (11，)呈矩形瓦片状，并从形成于上表面的空气排出孔排 出基板浮起用的空气。并且，浮起板11在基板搬送方向(箭头Dl)和 显微镜移动方向(箭头D2)呈矩阵状排列，长度方向与基板搬送方向(箭 头D1)平行。
在浮起板ii (ir)的下部以沿着显微镜移动方向(箭头D2)延伸
的方式配置有多个板支承框架12，所述板支承框架12通过层叠方管而成
并从下方支承浮起板ii (ir)。
板支承框架12固定在形成于矩形框上的框架基座部15上。该框架
7支承部15在其四个角处经由高度调节部16固定在上述的架设框架6上。 缓冲罐12a配置在用于配置浮起板11的区域的下方，且以相对于各 浮起板11距离相同的方式配置在排列于同一方向上的各浮起板的附近即 正下方。在本实施方式中，支承排列在与搬送方向正交的方向上的多个 各浮起板11的板支承框架12使用方管，通过利用板状的密封部件12b 密封该方管的内部的中空部分(层叠后的方管中的一根的中空部分)的 两端开口部而将板支承框架转用作缓冲罐12a。在该缓冲罐12a的一个端 部连结着空气配管14，从而将从未图示的空气供给源供给的空气引导至 缓冲罐12a。缓冲罐12a只要与来自各浮起板11的排出量相比具有充足 的容量即可，暂时地以成为恒定压力的方式贮存从空气供给源供给的空 气。
并且，缓冲罐12a沿着浮起板11的排列方向(箭头D1、 D2)中的 一方即支承浮起板11的短边侧的板支承框架12的长度方向(即显^[镜 移动方向D2)延伸。
由于缓冲罐12a沿着与形成为细长矩形状的浮起板11的短边平行即 与基板搬送方向正交的方向(显微镜移动方向箭头D2)延伸，因此从缓 冲罐12a到各浮起板11的距离彼此相同，从缓冲罐12a对各浮起板11 供给空气的多个空气配管13的长度(箭头L)也彼此相同、且形成相同 的弯曲形状。
连接在各浮起板上的空气配管13从设在缓冲罐12a(板支承框架12) 的侧面的各配管接头13a沿着板支承框架12的侧面朝上方延伸，并在板 支承框架12的上端弯曲而沿着各浮起板11的底面水平地延伸，连接在 设于各浮起板11的底面上的配管接头13b上。各空气配管13也可以呈 直线状地或者以弯曲的曲率半径增大的方式连接在设于缓冲罐12a的侧 面的各配管接头13a和设于各浮起板11的底面的各配管接头13b之间。
在以上说明了的本实施方式中，通过将缓冲罐12a配置在用于配置 多个浮起板11的区域的下方，能够使缓冲罐12a和各浮起板11之间的距 离较短且相等，因此，连接在各浮起板11上的各空气配管13的长度L 实质上彼此相同。
8因此，能够縮短空气配管13，同时，能够防止由空气配管13的配 置形状的差异引起的空气的压力损失差的产生。由此，根据本实施方式， 能够利用简单的结构对浮起板11供给压力恒定的空气。
并且，在本实施方式中，缓冲罐12a形成在板支承框架12的内部。 因此，能够省略缓冲罐12a的设置空间，从而，能够利用简单的结构对 浮起板11供给压力恒定的空气。
并且，在本实施方式中，连接缓冲罐12a和浮起板11的空气配管13 都能够使用相同长度且短的空气配管，因此不用像以往那样为了调节配 管的长度而在现场进行切断作业，也不存在以往那样的在狭窄的作业空 间内引导(引tf回十)长且重的配管的麻烦作业，作业效率显著提高。
另外，在本实施方式中，将缓冲罐12a形成在板支承框架12的内部， 但是，也可以将缓冲罐另外配置在板支承框架12、 12之间的区域中。在 这种情况下，通过将缓冲罐配置在浮起板ll的长度方向的中间，能够将 空气均匀地供给至各浮起板ll内的空气贮存空间，并且，通过将空气配 管13配置在缓冲罐的两侧面，能够将空气更加均匀地供给至各浮起板11 内的空气贮存空间中。
并且，在本实施方式中，对将基板浮起装置10配置在龙门架3固定 于基座部4的龙门架固定方式的基板检查装置1中的例子进行了说明， 但是，也可以将基板浮起装置10配置在龙门架3沿着基座部4移动的龙 门架移动方式的基板检查装置中。
并且，也可以将基板浮起装置IO配置在基板搬送装置或基板交接装 置中，所述基板搬送装置或基板交接装置配置在基板检査装置1的基板 搬送方向(箭头D1)的前后。并且，也可以将基板浮起装置IO配置在 未与基板检查装置1连接的基板搬送装置上。
并且，在本实施方式中，缓冲罐12a沿着作为浮起板11的排列方向 之一的显微镜移动方向(箭头D2)延伸，但是，缓冲罐12a也可以沿着 作为浮起板11的其他的排列方向的基板搬送方向(箭头D1)延伸。在 该情况下，以板支承框架12的长度方向与基板搬送方向(箭头D1)平 行的方式配置板支承框架12、或者以贯通板支承框架12的方式配置缓冲
9罐即可。
并且，在本实施方式中，从缓冲罐12a延伸至浮起板11的空气配管 13针对每个浮起板11各配置一个，但是也可以使空气配管13分支而与 两个或者四个浮起板ll连接。在该情况下，分支后的空气配管的长度也 彼此相同即可。
并且，在长度方向上连结形成为细长矩形瓦片状的两个浮起板11、 且板支承框架12支承相互对置的两个浮起板11的短边侧端部的情况下， 通过将空气配管13连接在形成于板支承框架12的内部的缓冲罐12a的 两侧面上并共用缓冲罐12a，能够抑制缓冲罐12a的数量。
并且，通过在缓冲罐12a (板支承框架12)的侧面预先形成数量比 空气配管13的数量还多的安装配管接头13a的空气供给口，从而即使是 在将浮起板11变更为不同大小的浮起板时，也能够在该变更后的浮起板 上连接恒定距离的空气配管。
并且，也可以在与基板的搬送方向正交的方向上分割设置多个缓冲 罐12a，并针对各缓冲罐改变空气配管13。在该情况下，每个缓冲罐的 空气配管13的长度部为相同的长度。
并且，在本实施方式中，即使是在不使所有的空气配管13的长度(箭 头L)完全相同、使一部分的空气配管13的长度不同，同时，以消除由 此产生的空气配管13中的压力损失差的方式调节对浮起板11的供给压 力的情况下，也认为空气配管13的长度实质上相同。
并且，也可以串联地连结多个缓冲罐12a，以抑制从空气供给源到缓 冲罐12a的空气配管14的数量和长度。
权利要求
1、一种基板浮起装置，所述基板浮起装置具备多个浮起板，它们排出基板浮起用的空气；缓冲罐，其暂时地贮存对该多个浮起板供给的空气；以及多个空气配管，它们从该缓冲罐分别对所述多个浮起板供给空气，所述基板浮起装置的特征在于，所述浮起板呈矩形瓦片状，并呈矩阵状排列，所述缓冲罐配置在用于配置所述多个浮起板的区域的下方，并且沿着所述浮起板的排列方向中的一个方向延伸，所述多个空气配管以实质上相同的长度将所述缓冲罐和所述多个浮起板之间连结起来。
2、 根据权利要求1所述的基板浮起装置，其特征在于， 所述缓沖罐配置在用于配置所述浮起板的区域的下方，且以相对于所述各浮起板距离相同的方式配置在排列于所述一个方向上的各浮起板 的正下方。
3、 根据权利要求1所述的基板浮起装置，其特征在于， 所述缓沖罐设在板支承框架上，所述板支承框架支承排列在所述一个方向上的多个各浮起板。
4、 根据权利要求1所述的基板浮起装置，其特征在于， 所述缓冲罐设在板支承框架上，所述板支承框架支承所述浮起板的短边侧，所述浮起板的短边侧为形成为矩形的所述浮起板的排列方向的 一方。
5、 根据权利要求1至4中的任一项所述的基板浮起装置，其特征在于，所述缓冲罐沿着与形成为细长矩形状的所述浮起板的短边平行的所 述一个方向延伸配置。
6、 根据权利要求3或4所述的基板浮起装置，其特征在于， 所述缓冲罐利用板状的密封部件密封所述板支承框架的中空部分的两端开口部而将其转用作缓冲罐。
7、 根据权利要求1所述的基板浮起装置，其特征在于， 所述缓冲罐配置在形成为细长矩形瓦片状的所述浮起板的长度方向的中间，并在所述缓冲罐的两侧配置有所述空气配管。
8、 根据权利要求1所述的基板浮起装置，其特征在于， 所述浮起板在长度方向上连结有两个，所述缓冲罐设于对在所述长度方向上连结起来的所述各浮起板进行支承的板支承框架上，并在所述 缓冲罐的两侧配置有所述空气配管。
9、 根据权利要求l、 7或8所述的基板浮起装置，其特征在于， 所述空气配管呈直线状地或者以弯曲的曲率半径变大的方式连接在设于所述缓冲罐的侧面的各配管接头和设于所述各浮起板的底面的各配 管接头之间。
全文摘要
本发明提供一种基板浮起装置，在该基板浮起装置中，利用简单的结构对浮起板供给压力恒定的空气。基板浮起装置(10)具备多个浮起板(11)，它们排出基板浮起用的空气；缓冲罐(12a)，其暂时地贮存对该多个浮起板(11)供给的空气；以及多个空气配管(13)，它们从该缓冲罐(12a)分别对多个浮起板(11)供给空气，其中，浮起板(11)呈矩形瓦片状，并呈矩阵状排列，缓冲罐(12a)配置在用于配置多个浮起板(11)的区域的下方，并且沿着浮起板(11)的排列方向(箭头D1、D2)中的一个方向延伸，多个空气配管(13)利用实质上相同的长度将缓冲罐(12a)和多个浮起板(11)之间连结起来。
文档编号B65G49/06GK101643150SQ200910157418
公开日2010年2月10日 申请日期2009年7月28日 优先权日2008年8月5日
发明者木内智一 申请人:奥林巴斯株式会社