技术编号：4431748
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及模具(mold)的制造方法。背景技术作为形成微细图案的方法，已知有所谓的纳米压印法，该方法是将具有所 要的微细图案的倒置图案的模具按压在由液状的光固化性树脂形成的膜上，并 在这一状态下对光固化性树脂照射光线使光固化性树脂固化而形成所要的微细图案的方法(参照专利文献1 3)。最近，提出了采用将表面形成有图案的包含含氟聚合物等的薄膜巻绕于滚 筒(cylinder)的圆筒状模具连续地形成微细图案的方法(专利文献4、 5)。但是，所述圆筒状模具中，在巻绕...
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