技术编号:4580665
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种半导体陶瓷电容器基片的组合烧结炉。半导体陶瓷电容器因其体积小、比容大的特点,对优化电子线路,改善整机性能,促进产品的小型化、轻量化,具有很重要的作用。目前,一般在间歇式电炉进行生产或虽在传送式气氛炉内进行半导化处理,但不能满足大规模生产的要求。本实用新型的目的在于提供一种半导体陶瓷电容器基片的组合式半导化处理装置。本实用新型是通过如下技术方案实现的用左、右置换室将大气氧化气氛条件下的排胶炉内的电容器基片与混合气体保护气氛条件下的处理炉内的...
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