技术编号:4595405
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用气刀对在清洗等的淋湿处理后的基板进行干燥的基板干燥装置以及使用它进行干燥的方法,特别是关于有效地控制空气消耗量并可高效地干燥基板的基板干燥装置以及使用该装置进行干燥的方法。附图说明图15是以往的基板干燥装置俯视图。另外,图16是图15的15-15的剖面图。在以往的利用气刀的基板干燥方法中,利用了如图15及图16所示的基板干燥装置50。在该基板干燥装置50中,在其舱室50a内,并列设有支撑着基板51两侧并用于运送的输送辊52,该输送辊52由设在舱...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。