专利名称：基板干燥装置以及使用该装置的基板干燥方法
技术领域：
本发明涉及用气刀对在清洗等的淋湿处理后的基板进行干燥的基板干燥装置以及使用它进行干燥的方法，特别是关于有效地控制空气消耗量并可高效地干燥基板的基板干燥装置以及使用该装置进行干燥的方法。
图15是以往的基板干燥装置俯视图。另外，图16是图15的15-15的剖面图。
在以往的利用气刀的基板干燥方法中，利用了如图15及图16所示的基板干燥装置50。在该基板干燥装置50中，在其舱室50a内，并列设有支撑着基板51两侧并用于运送的输送辊52，该输送辊52由设在舱室50a外部的马达53驱动，并把淋湿处理后的基板51向舱室50a内输送。
并且，在基板干燥装置50的舱室50a内，如图16所示，设有以从基板表面51a离开规定高度的状态的分别面对基板51的各表面51a配置的气刀喷嘴54。该气刀喷嘴54，为方柱状，如图15所示，其长度方向(图中E方向)与基板51的运送方向(图中x方向)呈倾斜规定角度y交叉的倾斜方向，即沿图中z方向配置。在气刀喷嘴54上，在其前端沿长度方向形成了缝隙54a，并把该缝隙54a对向基板表面51a。
在如此构成的以往的基板干燥装置50中，从气刀喷嘴54的缝隙54a喷射出的空气56被喷到淋湿处理后的残留有液体55的基板表面51a上，以此使液体55飞散并使基板51的表面51a干燥。
但是，在上述以往的基板干燥装置50中，如图15所示，为了更好地除掉基板51上的液体55，把气刀喷嘴54配置在相对于基板51的运送方向x倾斜的z方向上。即，用把气刀喷嘴54配置于倾斜方向z的方法，缩短面对气刀喷嘴54的两端部附近的液体55的移动距离，可有效地进行基板51的干燥。
此时，基板表面51a上的液体55，因从气刀喷嘴54吹出的空气56，不是向基板51运送方向、而是沿与配置气刀喷嘴54的倾斜方向z垂直的方向移动，最后，向基板51的表面外飞散的液体55集中到基板51的干燥最后结束的角部51b。
因此，由于实际上在使用该基板干燥装置50时，应使残留于角部51b的液体55飞散并使基板51完全干燥，而必须喷射比角部51b的液体55与基板51之间的作用力大的空气喷射力，所以在基板51的表面51a内，虽然用流量比例A[L/min]，例如用200[L/min](缝隙尺寸为538×0.1mm时)的空气可以干燥，但还是用远远大于该流量比例A[L/min]的流量比例B[L/min](A＜B)、例如用400[L/min]的空气向基板51的全表面51a喷射。
因此，在以往的利用气刀的基板干燥装置50上，为了使残留于基板51角部51b的液体55飞散并使基板51完全干燥，就需要把远远大于对基板51的表面51a内干燥所需的空气量的空气、向基板51的全部表面51a喷射，消耗了不必要的空气。
所以，本发明是根据这样以往的情况提出的，其目的在于提供一种有效地控制空气消耗量并可高效地干燥基板，且节能效率高的基板干燥装置及用其干燥基板的方法。
通过这样的构成，可以个别地调整从多个空气喷射室的喷射空气量，并根据气刀喷嘴与基板的相对位置，把最适量的空气喷射到基板表面，可控制空气消耗量且高效地干燥基板。
具体的是气刀喷嘴为柱状的形状，并且其长度方向向基板运送方向倾斜交叉地设置，在多个空气喷射室中，设有面对基板表面的各个空气喷射口，这些多个空气喷射口，排列于气刀喷嘴的长度方向，在该状态下，当被运送的基板的干燥末尾的角部面对多个空气喷射室中的任何一个空气喷射口时，空气量控制机构，只增加从与角部面对的空气喷射室喷射的空气量，以此使残留在该角部的液体飞散。
根据这样的结构，由于只向需要更多喷出的空气流量的基板后方角部增加空气流量地喷出空气，并向不需要那么多喷出空气流量的基板的面内适量地喷出空气，可局部地调整向基板喷射出的空气量，所以可有效地控制空气消耗量。
此时，也可以用空气量控制机构停止从没面对基板的上述角部的空气喷射室喷射空气。
根据这样的结构，由于只从面对基板的后方角部的空气喷射室喷出空气，所以可更有效地控制不需要的空气喷射。
另外，在运送基板期间，最好由空气量控制机构停止从面对基板表面位置离开的空气喷射室的空气喷射。这样，由于不局限于基板的后方角部，可以在从基板的干燥开始到结束的过程中、不进行从没面对基板表面的空气喷射室喷射空气，故可有效地利用空气，并可极其有效地控制空气消耗量，以达到提高能效的目的。
并且，空气量控制机构，可以具有与多个空气喷射室分别连接的多个空气供给阀。以此，容易切换各空气喷射室的空气喷射。
另外，多个空气喷射室，最好是由沿气刀喷嘴的长度方向且配置于气刀喷嘴内的隔板分隔而成，并且，该隔板是可移动的，可根据面对运送的基板的区域而移动，并可调节面对基板的空气喷射室的容积，也可用空气量控制机构根据面对基板的区域而改变从面对基板的空气喷射室喷射出的空气量。
根据这样的结构，由于可根据面对基板的区域用隔板改变面对基板的空气喷射室的大小，并可从该空气喷射室喷射出对应面对基板的区域的最合适流量的空气，所以可更精密地调整并喷射最适宜的空气量，并可更有效地利用空气，把空气消耗量控制在最小限度。
并且，最好在相对于气刀喷嘴的规定位置，设置用于检测气刀喷嘴的与基板相对位置的传感器。这样，根据由传感器检测的气刀喷嘴与基板的相关位置关系的信息，空气量控制机构可调整从各空气喷射室喷射的空气量。
另外，为达到上述目的所完成的本发明的基板干燥方法，是使用上述基板干燥装置的基板干燥方法，其特征在于多个空气喷射室的面对各基板设置的多个空气喷射口以沿与基板运送方向倾斜交叉的方向排列的方式，把气刀喷嘴面向基板配置，并用上述基板运送机构运送该基板，在该状态下，在基板运送中，当多个空气喷射室的各个室面对基板的表面内时，从多个空气喷射室的各个室喷射出把基板表面上的液体吹散所需量的空气。然后，当多个空气喷射室中的任何一个面对在基板运送中成为基板的干燥最末尾的后方角部、并且其余的空气喷射室从面对基板表面的位置离开时，由空气量控制机构使从面对基板后方角部的空气喷射室喷射的空气增加喷射量，用以吹散残留于该后方角部的液体，并且，停止其余的空气喷射室的空气喷射。
根据这样的基板干燥方法，对于没有必要大量的空气流量的基板的面内喷射适当流量比例的空气，然后，当多个空气喷射室中的任何一个面对在基板的后方角部时，只对需要更多空气流量的基板的后方角部喷射增加空气流量的空气，同时不从没面对基板的空气喷射室喷射空气，所以可有效地控制空气消耗量。
并且，与此同时，最好在基板的运送开始时，当多个空气喷射室中的任何一个面对作为基板的干燥最前部的前方角部、并且其余的空气喷射室从面对上述基板表面的位置离开时，从面对前方角部的空气喷射室喷射出用以吹散残留于该前方角部的液体所需要量的空气，并且，停止从其余的空气喷射室的空气喷射。
根据这样的基板干燥方法，由于并不局限于后方角部，可以在从基板的干燥开始到结束的过程中不进行从没面对基板表面的空气喷射室喷射空气，所以可更有效地利用空气，并可极其有效地控制空气消耗量，可高效地干燥基板。
另外，为达到上述目的所完成的其他的本发明的基板干燥方法，是使用上述基板干燥装置干燥基板的基板干燥方法，其特征在于可移动地设置了隔板，由基板运送机构运送基板，在基板的运送中，可根据面对该被运送的基板的区域而移动隔板，并一边调节面对基板的空气喷射室的容积，一边用空气量控制机构改变符合面对的基板区域的从该空气喷射室喷射出的空气量，并从该空气喷射室喷射空气。
根据这样的基板干燥方法，由于可一边用隔板根据面对基板的区域改变面对基板的空气喷射室的大小，一边根据面对基板的区域从面对基板的空气喷射室喷射出最适量的空气，所以可更精密地调整喷射最适宜基板的空气量，并把空气消耗量控制在最小限度。
图2是本发明实施例的基板干燥装置的气刀喷嘴立体图。
图3是图1的沿3-3线剖面图。
图4是用于说明在使用本发明实施例1的基板干燥装置的基板干燥方法中，该干燥方法一工艺过程的模式图。
图5是用于说明在使用本发明实施例1的基板干燥装置的基板干燥方法中，该干燥方法一工艺过程的模式图。
图6是用于说明在使用本发明实施例1的基板干燥装置的基板干燥方法中，该干燥方法一工艺过程的模式图。
图7是用于说明在使用本发明实施例1的基板干燥装置的基板干燥方法中，该干燥方法一工艺过程的模式图。
图8是本发明实施例2的基板干燥装置俯视图。
图9是本发明实施例2的基板干燥装置的气刀喷嘴立体图。
图10是用于说明在使用本发明实施例2的基板干燥装置的基板干燥方法中，该干燥方法一工艺过程的模式图。
图11是用于说明在使用本发明实施例2的基板干燥装置的基板干燥方法中，该干燥方法一工艺过程的模式图。
图12是用于说明在使用本发明实施例2的基板干燥装置的基板干燥方法中，该干燥方法一工艺过程的模式图。
图13是用于说明在使用本发明实施例2的基板干燥装置的基板干燥方法中，该干燥方法一工艺过程的模式图。
图14是用于说明在使用本发明实施例2的基板干燥装置的基板干燥方法中，该干燥方法一工艺过程的模式图。
图15是以往的基板干燥装置俯视图。
图16是图15中沿15-15线的剖面图。
图中1、10、50-基板干燥装置，2、51-基板，2c-后方角部，3-运送辊部，4、11-气刀喷嘴，4b、12a、12b-隔板，4c-第1空气喷射室，4d-第2空气喷射室，4e、11d-空气喷射口，5a、5b、14a、14b、14c-空气供给管，6a、6b、15-流量控制器，7、8、9、16、17-传感器，51b-角部，54-气刀喷嘴。
本发明的基板干燥装置，例如，被设置于光刻工序等的连续制造流水线上的清洗步骤的后阶段，并把在该清洗步骤内进行清洗等的淋湿处理之后的基板、运送到装置内的流水线上并进行连续的干燥。
本发明实施例1的基板干燥装置1，如图1所示，在舱室1a内，并列设有支撑从清洗步骤运送来的基板2的两端侧并将其运送的多个运送辊部3。该运送辊部3，由设在舱室1a的外部侧面上的马达1b所驱动，并把淋湿处理后的基板2向舱室1a内运送。
并且，在基板干燥装置1的舱室1a内，如图1至图3所示，设有以从基板表面2a离开规定高度的状态、面对基板表面2a配置的气刀喷嘴4。该气刀喷嘴4，为方柱状，且被配置在其长度方向(图中F方向)相对于基板2的运送方向(图中X方向)倾斜规定角Y并与其交叉的倾斜方向，即沿图中的Z方向配置。
另外，一般说来，气刀喷嘴4被设在基板2的两侧，但以下只对上面侧的进行说明。
特别是本实施例中的气刀喷嘴4，在其内部中央，一体形成有与侧面4a平行配置的隔板4b，并用该隔板4b形成均分为两个的第1空气喷射室4c及第2空气喷射室4d。
另外，隔板4b也可以位于气刀喷嘴4的中央位置，并且也可以不与气刀喷嘴4形成一体而自成一体。而且，还可以配置多个隔板4b形成三个以上空气喷射室。
在气刀喷嘴4的前端，设有沿其长度方向形成的缝隙状的空气喷射口4e，把该空气喷射口4e沿被运送的基板2的倾斜方向Z并面对基板2设置。
特别是，本实施例的空气喷射口4e，被隔板4b一分为二地分为第1空气喷射口4e1及第2空气喷射口4e2，该第1及第2空气喷射口4e1、4e2分别被分给各个第1及第2空气喷射室4c、4d。
另外，在本实施例中的空气喷射口4e为缝隙状，但本发明并不局限于此，也可以沿其长度方向F形成并排的多个小孔。这时也可以用隔板4b把多个小孔分成两组，并分配给各空气喷射室4c、4d。
在第1空气喷射室4c的一个侧面上，连接着用于在从无图示的压缩机的加压状态下、向第1空气喷射室4c内供给空气的空气供给管5a。并且，在第1空气喷射室4c与无图示的压缩机之间，配置有控制通过空气供给管5a向第1空气喷射室4c内供给的空气流量的流量控制器6a。
在此，作为流量控制器6a，最好是通常使用的空气供给阀，但优选使用可自动灵活开闭的空气供给阀。用该空气供给阀，其容易进行空气喷射的切换。
这样的第1空气喷射室4c，由流量控制器6a调整喷射的空气量，并从第1空气喷射口4e1喷射适量的空气。
同样，在第2空气喷射室4d的一个侧面上，连接着用于以从无图示的压缩机加压的状态、向第2空气喷射室4d内供给空气的空气供给管5b。并且，在第2空气喷射室4d与无图示的压缩机之间，配置有控制通过空气供给管5b向第2空气喷射室4d内供给的空气流量的流量控制器6b。
该流量控制器6b，也和流量控制器6a一样，为通常使用的空气供给阀。
这样的第2空气喷射室4d，由流量控制器6b调整喷射的空气量，并从第2空气喷射口4e2喷射适量的空气。
并且，在基板干燥装置1的舱室1a内，面对第1空气喷射室4c的基板运送方向后方侧的侧面4f的边缘部4f1，配置有用于检测被运送的基板2对气刀喷嘴4相对位置的第1传感器7。
另外，面对与第1空气喷射室4c的侧面4f相反侧4g，配置有用于检测基板2对气刀喷嘴4相对位置的第2传感器8。
同样，面对与第2空气喷射室4d的基板运送方向前方侧的侧面4h，配置有用于检测基板2对气刀喷嘴4相对位置的第3传感器9。
任何激光等的光学式或超声波式的检测器，都适用于第1、第2及第3传感器7、8、9。并且，这些传感器7、8、9，最好配置在舱室1a内的上述规定位置上。
并且，用这些传感器7、8、9检测被运送的基板2相对于气刀喷嘴4的位置，流量控制器6a、6b则根据该检测出的数据而动作，并控制从分别与其对应的第1及第2空气喷射室4c、4d喷射的空气量。
如以上构成的本实施例的基板干燥装置1，是如下地干燥淋湿处理后的基板干2的装置。图4至图7，是用于说明使用本发明实施例1的基板干燥装置1干燥基板2的方法的模式图。
首先，如图4所示，淋湿处理后的基板干2，沿用运送辊子部3的运送方向、即图中X方向被送入舱室1a内。随后，第1传感器7一旦检测到基板2，流量控制器6a就根据该检测的数据调整从无图示的压缩机向流量控制器6a内供给的压缩空气的最适流量，并通过空气供给管5a把该调整了流量的空气从第1空气喷射室4c的第1空气喷射口4e1向基板表面2a喷射。
此时，从第1空气喷射口4e1喷射的空气的流量比例，是把基板2的前方角部2b上的液体(液滴)吹散所必需的流量比例A/2[l/min]、例如100[l/min]。
并且，由于不进行从面对基板2位置离开的第2空气喷射室4d的空气喷射，所以抑制了不必要的空气喷射。
另外，上述具体的流量比例的数值100[l/min]，是把第1及第2空气喷射口4e1、4e2加起来的喷射口4e的缝隙尺寸为538×0.1mm时的数值。以下，例举具体的流量比例的数值，都是用该缝隙尺寸的气刀喷嘴的数值。
下面，如图5所示，第2传感器8一旦检测到基板2，流量控制器6b就同样地根据该检测的数据调整从压缩机供给的压缩空气的最适流量，并通过空气供给管5b把该调整流量后的空气从第2空气喷射室4d的第2空气喷射口4e2向基板表面2a喷射。
这时，从第2空气喷射口4e2喷射的空气的流量比例，是把基板整个表面2a的一半区域的液体吹散所必须的A/2[l/min]、例如100[l/min]。
并且，由于从第1及第2的空气喷射室4c、4d的各个第1及第2的空气喷射口4e1、4e2喷射A/2[l/min]、例如100[l/min]的流量比例的空气，其结果是，把这些空气喷射量相加，就是把基板整个表面2a内的液体吹散的最低限度所必要的流量比例A[l/min]、例如200[l/min]的空气喷射到基板表面2a。
另外，用以往的基板干燥装置50为了把残留在基板51的干燥末尾的角部51b的液体(液滴)55吹散，要用比向基板51的全部表面的空气量A多很多的流量比例B[l/min]、例如400[l/min]的空气喷射。而在本实施例中，假定基板的运送速度与以往的基板干燥装置50的相同，就可以把吹散基板表面2a的最低限度必要流量比例A、例如200[l/min]向表面2a整体喷射。因此，根据本实施例，可以有效地抑制空气消耗量。
下面如图6所示，第2空气喷射室4d面对基板2的后方角部2c，而当第2传感器8的检测结束时，流量控制器6a就根据该检测的数据动作并停止从第1空气喷射室4c的空气喷射，同时流量控制器6b动作并增加从第2空气喷射室4d的空气流量，并从第2空气喷射口4e2喷射出把基板2的后方角部2c上的液体(液滴)吹散所必要流量比例的B/2[l/min]、例如200[l/min]的空气。
另外，以往的气刀喷嘴54，由于喷嘴没有被分隔，所以需要用把基板51的后方角部51b上的液体(液滴)吹散的喷嘴全长的流量比例B[l/min]、例如需要400[l/min]。但是，在本实施例中，当假定基板的运送速度与以往的基板干燥装置50相同时，只用喷嘴全长一半的第2空气喷射室4d喷射空气，所以可把后方角部2c上的液体(液滴)吹散，并且要使单位长度的喷射力为同等强度，其上述必要流量比例为B/2[l/min]、例如200[l/min]即可。因此，根据本实施例，其向后方角部2c喷射的空气量也为必要最小限即可。
如此，根据本实施例，由于局部地调整了向基板2喷射的空气量，所以可有效地抑制空气消耗量。另外，在本实施例中，没有必要为了增加只对后方角部2c喷射的空气量而另外设置辅助空气喷射用喷嘴，就能够以简单的结构调整空气量。
并且，根据本实施例，由于停止了从没面对后方角部2c的第1空气喷射室4c的空气喷射，所以可有效地控制不必要的空气喷射。
最后，如图7所示，当第3传感器9的检测结束后，流量控制器6b就根据该检测的数据动作并停止从第2空气喷射室4d的空气喷射。
这样，在本实施例中，用气刀喷嘴4干燥淋湿处理后的基板2。
如上所述，根据使用本发明实施例1的基板干燥装置1干燥基板的基板干燥方法，可通过流量控制器6a、6b个别地调整从第1及第2空气喷射室4c、4d喷射的空气量，并根据气刀喷嘴4相对基板2的位置以最适量的空气向基板表面2a喷射，可极有效地控制空气消耗量并高效地干燥基板。
详细的是，根据本实施例，如图5及图6所示，由于对不需要大量空气流量的基板2的全部表面2a喷射适量的空气，随后，当第2空气喷射室4d面对基板2的后方角部2c时，增加从第2的空气喷射室4d喷射空气的流量并只对该后方角部2c喷射出具有强大喷射力的空气，同时不从不面对基板后方角部2c的第1的空气喷射室4c喷射空气，所以不浪费地利用空气并有效地控制了空气消耗量，可高效地干燥基板。
与此同时，在本实施例中，如图4所示，由于在基板2的运送开始时，从第1空气喷射室4c向基板2的前方角部2b喷射为把前方角部2B上的液体(液滴)吹散所必要的最低限比例的空气，并停止从第2的空气喷射室4d的空气喷射，所以在从基板2的干燥开始到结束的全过程不从没面对基板表面2a的空气喷射室进行空气的喷射，可极其有效地控制空气消耗量。
(实施例2)下面，参照附图详细说明本发明的基板干燥装置的实施例2。图8是本发明实施例2的基板干燥装置俯视图。图9是从图8中的箭头C方向看本实施例的基板干燥装置时的气刀喷嘴立体图。
以下，在本发明的实施例2的基板干燥装置10中，作为运送基板2的运送机构的运送辊子部3，与实施例1的结构相同，故省略其说明。
在基板干燥装置10的舱室10a内，方柱状的气刀喷嘴11被配置为将其长度方向沿图9中倾斜方向Z并面对基板2。特别是，本实施例的气刀喷嘴11，在其内部，设有可沿长度方向移动的，且与侧面11a平行配置的第1隔板112a及第2隔板12b。
另外，从气刀喷嘴11的两端在第1及第2的各个隔板12a、12b上安装着由活塞构成的气缸机构13a、13b。该气缸机构13a、13b，向与气刀喷嘴11的长度方向平行、即图中I方向移动，并且，第1及第2隔板12a、12b随气缸机构13a、13b的移动而移动。这时，在气刀喷嘴11内，用第1及第2隔板12a、12b分隔而形成空气喷射室11b。
气缸机构13a、13b，从后述的传感器检测出面对基板2的时刻起，由无图示的驱动控制机构、根据面对被运送的基板2表面2a的区域、按规定速度移动地控制基板2的运送速度。因此，用第1及第2隔板12a、12b分隔的空气喷射室11b，其可根据面对基板表面2a的区域调整容积。
另外，在气刀喷嘴11的前端，设有沿其长度方向形成的空气喷射用缝隙11c，该空气喷射用缝隙11c也被第1隔板12a及第2隔板12b分隔，并形成空气喷射口11d。并且，该空气喷射口11d把空气喷射室11b均分。
空气喷射口11d，伴随容积变化的空气喷射室11b用第1隔板12a及第2隔板12b分隔并改变其开口尺寸、喷射规定量的空气。
在气刀喷嘴11的一侧面上，如图9所示，其沿长度方向并排地连接着用于把从无图示的压缩机供给的压缩空气向喷嘴内供给的第1空气供给管14a、第2空气供给管14b及第3空气供给管14c。
另外，在气刀喷嘴11与无图示的压缩机之间，配置有控制从这些第1、第2及第3的空气供给管14a、14b及14c向空气喷射室11b内供给的空气流量的流量控制器15。
在此，作为流量控制器15是具有通常使用的空气供给阀的装置，但最好设有可自动灵活开闭的空气供给阀。通过设置该空气供给阀可使空气喷射的切换变得容易。
该流量控制器15，调整向空气喷射室11b内喷射的空气量，并且，由内装的无图示的空气供给阀的切换、选择第1、第2及第3的空气供给管14a、14b及14c中最合适的空气供给管，并向空气喷射室11b输送空气。
在基板干燥装置10的舱室10a内，面对构成气刀喷嘴11的基板运送方向后方侧的侧面11a的外边缘部11al，设有用于检测被运送的基板2相对于气刀喷嘴11的位置的第1传感器16。
另外，面对与气刀喷嘴11的侧面11a相反侧的侧面11e，设有用于检测基板2相对于气刀喷嘴11的位置的第2传感器17。
并且，第1及第2传感器16、17，其结构也与实施例1的传感器7、8、9一样。
随后，用这些传感器16、17检测对被运送的基板2的气刀喷嘴11的位置，并且，流量控制器15根据该检测出的数据从第1、第2及第3的空气供给管14a、14b及14c中选择最合适的空气供给管，并调整通过该空气供给管从空气喷射室11b喷射的空气量。
如上述构成的本实施例的基板干燥装置10，是用于干燥如下的在淋湿处理后的基板的装置。图10至图14是用于说明使用本发明实施例2的基板干燥装置10的基板2干燥方法的模式图。
首先，淋湿处理后的基板2，沿用运送辊部3的运送方向X被送入舱室10a内。随后，如图10所示，第1传感器16一旦检测到基板2，气缸机构13a、13b就根据该检测的数据分别向图中I方向开始移动，并用隔板12a、12b形成符合面对基板表面2a的区域规定的大小的空气喷射室11b。
与此同时，流量控制器15选择第1的空气供给管14a，并通过该空气供给管14a喷射符合基板表面2a的前方角部2b区域的最合适的流量比例的空气。
并且，在基板2的继续行进中，气缸机构13a、13b也以相对于基板运送速度的规定速度沿图中I方向随隔板12a、12b移动，并根据面对基板表面2a内的区域改变空气喷射室11b的容积。与此同时，如图11所示，流量控制器15根据第2传感器17对基板的检测，调整最适合于面对基板表面2a的区域的流量比例的空气，并把调整后的空气通过最合适的空气供给管从空气喷射室11b喷射出去。
此时，流量控制器15从空气供给管14a、14b、14c中选择与空气喷射室11b连接的最合适的空气供给管，例如选择图11的第2空气供给管14b。
这样，如图12所示，在基板2被运送期间，根据面对基板表面2a的区域，通过隔板12a、12b的移动改变空气喷射室11b的容积、并从空气喷射室11b喷射对应于面对基板表面2a的区域的流量比例的空气。
在此，当各个隔板12a、12b移动到气刀喷嘴11内的最外部，且整个空气喷射室11b都面对基板表面2a时，从空气喷射室11b喷射的流量比例A[l/min]，例如为200[l/min]。
另外，流量控制器15的空气供给管的选择，也可以选择与改变了容积的空气喷射室11b连接的空气供给管，且不局限于从上述的多个空气供给管中选择一个空气供给管，当然可以从多个空气供给管中选择与空气喷射室11b连接的多个空气供给管。
随后，如图13所示，一旦第2传感器17的检测结束，则流量控制器15动作并把从空气喷射室11b喷射的空气增加到把基板2的后方角部2c上的液体(液滴)吹散所必要的流量比例，并通过第3空气供给管14c喷射出。
这时，为了把后方角部2c上的液体(液滴)吹散，对从空气喷射室11b喷射的流量比例做如下量的调整。即，在以往的基板干燥装置中，为了吹散基板角部的液体(液滴)，必须用气刀喷嘴全长L把流量比例B[l/min]、例如400[l/min]的空气从气刀喷嘴喷出。但是，在本实施例的基板干燥装置10中，对于具有与其相同单位长度喷射力把基板角部的液体(液滴)吹散，在假定基板运送速度与以往的基板干燥装置50的基板运送速度相同的情况下，把气刀喷嘴长度方向的全长设为L、把空气喷射室11b长度方向的全长设为m，则用B×m/L[l/min](m＜L)、例如400×m/L[l/min](m＜L)的流量比例即可，与以往相比控制了空气消耗量。
最后，如图14所示，当气刀喷嘴11从面对基板2的位置离开时，流量控制器15移到调整结束模式，并停止从空气喷射室11b的空气喷射。
详细的是，当按规定基板运送速度被运送的基板2经过第1传感器16的检测后、在经过规定时间时，储存了没面对气刀喷嘴11位置旨意的程序的无图示的驱动控制部就控制流量控制器15。因此，一经过规定时间，流量控制器15就处于结束模式。
这样，在本实施例中，用气刀喷嘴11对淋湿处理后的基板2进行干燥。
如上所述，根据使用本发明实施例2的基板干燥装置10把基板干燥的基板干燥方法，由于用第1及第2隔板12a、12b、根据面对基板2的区域改变面对基板2的空气喷射室11b的大小，并且从该空气喷射室11b喷射最适合于面对基板2的区域的空气量，所以可更精密地调整并喷射最适合于基板2的空气量，并最小限度地控制空气消耗量。
(发明效果)如以上详细所述，根据本发明，能个别地调整从多个空气喷射室喷射的空气量，并根据气刀喷嘴对基板的相对位置向基板表面喷射最适量的空气，可有效地控制空气消耗量并高效地干燥基板，可提供高能效的基板干燥装置以及使用它的干燥方法。
权利要求
1.一种基板干燥装置，具有运送表面沾有液体的基板的基板运送机构、与由所述基板运送机构运送的基板对面配置、并向所述基板表面喷射空气而对该基板进行干燥的气刀喷嘴、控制从所述气刀喷嘴喷射的空气喷射量的空气量控制机构，其特征在于所述气刀喷嘴被分割成分别面对所述基板表面的多个空气喷射室，所述空气量控制机构，根据所述气刀喷嘴与被运送的所述基板的相对位置，分别调整从各所述空气喷射室喷射的空气量。
2.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于所述气刀喷嘴为柱状形状，并且将其长度方向沿所述基板运送方向倾斜交叉地设置，在所述多个空气喷射室中设有面对所述基板表面的各个空气喷射口，这些多个空气喷射口，排列于所述气刀喷嘴的长度方向上，当所述被运送的基板的干燥最末尾的角部、面对所述多个空气喷射室中的任何一个所述空气喷射口时，所述空气量控制机构，只增加从与所述角部面对的所述空气喷射室喷射的空气量，以便使残留在该角部的液体飞散。
3.根据权利要求2所述的基板干燥装置，其特征在于由所述空气量控制机构停止从没有与所述基板的所述角部相对面的空气喷射室喷射空气。
4.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于由所述空气量控制机构停止从自面对所述基板表面位置离开的空气喷射室喷射空气。
5.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于所述空气量控制机，具有与所述多个空气喷射室分别连接的多个空气供给阀。
6.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于所述多个空气喷射室，由沿所述气刀喷嘴的长度方向配置于气刀喷嘴内的隔板分隔而成，所述隔板是可移动的，并可根据面对所述被运送的基板的区域而移动，可调节面对所述基板的空气喷射室的容积，并可由所述空气量控制机构根据面对所述基板的区域而改变从面对该基板的空气喷射室喷射的空气量。
7.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于在相对于所述气刀喷嘴的规定位置，设有用于检测所述气刀喷嘴与所述基板相对位置的传感器。
8.一种基板干燥方法，是使用权利要求1所述的基板干燥装置的基板干燥方法，其特征在于在所述多个空气喷射室的各所述基板的对面设置的多个空气喷射口，以沿所述基板运送方向倾斜交叉的方向排列的方式把所述气刀喷嘴与所述基板对向配置，并由所述基板运送机构运送所述基板，当在所述基板运送中、所述多个空气喷射室的各个室面对所述基板的表面内时，从所述多个空气喷射室的各个室喷射为把所述基板表面上的液体吹散所需量的空气，然后，当所述多个空气喷射室中的任何一个面对在所述基板运送中成为所述基板的干燥最末尾的后方角部、并且其余的空气喷射室从面对所述基板表面的位置离开时，由所述空气量控制机构、使从面对所述后方角部的所述空气喷射室喷射的空气增加喷射量，以便吹散残留于该后方角部的液体，同时停止从所述其余的空气喷射室喷射空气。
9.根据权利要求8所述的基板干燥方法，其特征在于在所述基板的运送开始时，当所述多个空气喷射室中的任何一个面对在成为所述基板的干燥最前部的前方角部、并且其余的空气喷射室从面对所述基板表面的位置离开时，使从面对所述前方角部的所述空气喷射室喷射用以吹散于所述前方角部上的液体所必要量的空气，并停止从所述其余的空气喷射室喷射空气。
10.一种基板干燥方法，是使用权利要求6所述的基板干燥装置的基板干燥方法，其特征在于可移动地设置所述隔板，由所述基板运送机构运送所述基板，在所述基板的运送中，可根据面对该被运送的基板的区域而移动所述隔板，并一边调节面对所述基板的所述空气喷射室的容积，一边由所述空气量控制机构改变符合面对所述基板区域的从该空气喷射室喷射出的空气量，并从该空气喷射室喷射空气。
全文摘要
本发明提供一种可控制空气消耗量并高效地干燥基板、且高效节能的基板干燥装置以及使用该装置的基板干燥方法。把向基板(2)的表面(2a)喷射空气的方柱状的气刀喷嘴(4)的长度方向沿与基板运送方向倾斜交叉地配置。把该气刀喷嘴(4)分隔为第1及第2空气喷射室(4c)、(4d),并配置控制从第1及第2空气喷射室(4c)、(4d)喷射的空气量的流量控制器(6a)、(6b)。并且,在第2空气喷射室(4d)面对基板(2)的后方角部(2c)时,由流量控制器(6a)、(6b)增加从第2空气喷射室(4d)喷射的空气量,同时停止从第1空气喷射室(4c)的空气喷射。
文档编号F26B21/12GK1423308SQ0215242
公开日2003年6月11日 申请日期2002年11月27日 优先权日2001年11月27日
发明者三森健一, 渡部弘也 申请人:阿尔卑斯电气株式会社