技术编号:4641955
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多晶硅氢还原炉的测温装置,主要涉及多晶 硅氢还原炉测温视镜结构。技术背景在多晶硅生产中,多晶硅氢还原炉测温视镜是测量炉内硅棒温度 的窗口,在现有技术中,测温视镜常常被污染,其原因有两个①视 镜往往都是采用双层玻璃结构,由于生产中还原炉的炉内温度很高, 导致视镜玻璃温度也很高,往往通水冷却,在长时间水冷过程中,视 镜玻璃很容易被水中污垢污染,从而影响观测。②在生长过程中, 由于玻璃内表面温度较高,混合气就可以很容易在玻璃的内表面沉 积,形成...
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