专利名称：多晶硅氢还原炉测温视镜结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多晶硅氢还原炉的测温装置，主要涉及多晶 硅氢还原炉测温视镜结构。
技术背景在多晶硅生产中，多晶硅氢还原炉测温视镜是测量炉内硅棒温度 的窗口，在现有技术中，测温视镜常常被污染，其原因有两个①视 镜往往都是采用双层玻璃结构，由于生产中还原炉的炉内温度很高， 导致视镜玻璃温度也很高，往往通水冷却，在长时间水冷过程中，视 镜玻璃很容易被水中污垢污染，从而影响观测。②在生长过程中， 由于玻璃内表面温度较高，混合气就可以很容易在玻璃的内表面沉 积，形成有色的无定形硅，而污染视镜。而在生产中，视镜的污染将 直接影响温度测量，导致误差很大，使得硅棒温度闭环控制无法使用， 闭环控制是指用测得的温度与设定的温度进行比较，将差值经过运算 去控制加热电源的加热功率，使得测得的温度与设定的温度的差值控 制在设定的范围内，若测得的温度不准确，控制加热电源的加热功率 就无法控制，现有技术就是因为视窗污染而只能人工控制。 发明内容本实用新型的目的在于克服上述技术缺陷，提供一种多晶硅氢还 原炉测温视镜结构。本实用新型有效解决了由于水冷而污染视镜玻璃 和形成硅附着物的问题，并且结构简单，保证了视镜在生产中不被污染。为实现上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是多晶硅氢还原炉测温视镜结构，包括视镜玻璃和通入还原炉内壁 的内空式镜筒，视镜玻璃安装在位于还原炉炉壁之外的镜筒上，镜筒 筒壁在靠近视镜玻璃的位置设有水冷结构，其特征在于所述视镜玻 璃为单层玻璃结构，视镜玻璃内表面侧的镜筒筒壁上设有两端分别与 镜筒外的进气管和镜筒内通道相通的气体通道。在镜筒中部的筒壁或位于还原炉内的镜筒筒壁上，也设有至少一 个两端分别与镜筒外的进气管和镜筒内通道相通的气体通道。气体通道包括至少一个直通道，或至少一个直通道和环形通道。气体通道包括至少一个斜通道，或至少一个斜通道和环形通道。所述水冷结构为环形水冷结构或螺旋水冷结构。本实用新型的优点在于1、由于原有视镜为双层结构，并在其间进行水冷，当还原炉的 工作压力为0.6MPa时，视镜玻璃很厚，水冷只能冷却视镜玻璃的外 表面，而不能冷却内表面，实际冷却效果不好，并容易污染视镜玻璃， 本实用新型采用在单层视镜玻璃结构，且在玻璃内表面通入氢气，直 接将氢气吹向视镜玻璃内表面进行冷却，并用水冷进行辅助冷却，实 现双重冷却，这样不仅冷却效果好，同时避免了水冷对玻璃外表面的 污染。同时，由于将气体直接吹向玻璃内表面，这样在镜筒内通道上 通过气体将从还原炉内进入镜筒的有氯硅烷的混合气体与玻璃内表 面隔绝，可以防止混合气体在玻璃内表面沉积，不易形成有色的无定形硅。2、为增加使用效果，本实用新型在在镜筒中部的筒壁或位于还 原炉内的镜筒筒壁上，也设有至少一个两端分别与镜筒外的进气管和 镜筒内通道相通的气体通道，向镜筒内吹入氢气，这样，加上玻璃内 表面吹入的氢气，形成一个有至少两路气体组成的隔离带，进而有效 的阻止了从还原炉内的有氯硅烷的混合气体进入镜筒内，不仅防止了 混合气体在玻璃内表面沉积，同时也起到了隔热的作用。
图1为本实用新型结构示意图。图2为本实用新型氢还原炉结构示意图。图中标记1为外壳体，2为内壳体，3为硅芯棒，4为视镜，5为冷却水环管，6为底盘，7为电极，8为支架，9为导轨，10镜筒 11为进气管，12为冷却水出水管，13为气体通道，14为视镜玻璃， 15为镜筒内通道，16为冷却水进水管，17为冷却结构，18为进出 气装置。
具体实施方式
实施例1:多晶硅氢还原炉测温视镜结构，包括视镜玻璃14和通入还原炉内壁的内空式镜筒10,视镜玻璃14安装在位于还原炉炉壁之外的镜 筒10上，镜筒10的筒壁在靠近视镜玻璃14的位置设有水冷结构17， 所述视镜玻璃14为单层玻璃结构，视镜玻璃14内表面侧的镜筒10 的筒壁上设有两端分别与镜筒10外的进气管11和镜筒10的内通道 15相通的气体通道13，气体通道13可以是直通道，也可以是斜通道， 还可以是直通道和环形通道的组合，气体通道13的数量可以根据需要设置多个。所述水冷结构17为环形水冷结构或螺旋水冷结构。在工作时，在镜筒内视镜玻璃附近有一路环形冷却水，冷却垫圈 和玻璃，同时有一路气体吹向玻璃内表面，气体可以采用氢气，用氢 气来冷却玻璃内表面。由于原有视镜为双层结构，并在其间进行水冷，当还原炉的工作压力为0.6MPa时，视镜玻璃很厚，水冷只能冷却视镜玻璃的外表面， 而不能冷却内表面，实际冷却效果不好，并容易污染视镜玻璃，本实 用新型采用在单层视镜玻璃结构，且在玻璃内表面通入气体，如氢气， 直接将氢气吹向视镜玻璃内表面进行冷却，并用水冷进行辅助冷却， 实现双重冷却，这样不仅冷却效果好，同时避免了水冷对玻璃的污染。 同时，由于将气体直接吹向玻璃内表面，这样在镜筒内通道上通过气 体将从还原炉内进入镜筒的有氯硅垸的混合气体与玻璃内表面隔绝， 可以防止混合气体在玻璃内表面沉积，不易形成有色的无定形硅。 实施例2:同样道理，为优化使用效果，还可以在镜筒10中部的筒壁或位 于还原炉内的镜筒筒壁上，也设置两端分别与镜筒IO外的进气管11 和镜筒内通道15相通的气体通道13。气体通道可以是直通道，也可 以是斜通道，还可以是直通道和环形通道的组合，气体通道的数量可 以根据需要设置多个。在工作时， 一路气体吹向玻璃内表面，另有一路纯氢气由镜筒内 吹向炉内，阻止有氯硅烷的混合气进入镜筒内，气体可以采用氢气， 这样，两路气体之间形成隔离带，进而有效的阻止了从还原炉内的有氯硅烷的混合气体进入镜筒内，不仅防止了混合气体在玻璃内表面沉 积，同时也起到了隔热的作用。本实用新型不限于上述实施方式。
权利要求1、多晶硅氢还原炉测温视镜结构，包括视镜玻璃(14)和通入还原炉内壁的内空式镜筒(10)，视镜玻璃(14)安装在位于还原炉炉壁之外的镜筒(10)上，镜筒(10)的筒壁在靠近视镜玻璃(14)的位置设有水冷结构(17)，其特征在于所述视镜玻璃(14)为单层玻璃结构，视镜玻璃(14)内表面侧的镜筒(10)的筒壁上设有两端分别与镜筒(10)外的进气管(11)和镜筒(10)的内通道(15)相通的气体通道(13)。
2、 根据权利要求1所述的多晶硅氢还原炉测温视镜结构，其特 征在于在镜筒(10)的中部的筒壁或位于还原炉内的镜筒(10)的 筒壁上，也设有至少一个两端分别与镜筒(10)外的进气管(11)和 镜筒(10)的内通道(15)相通的气体通道(13)。
3、 根据权利要求1或2所述的多晶硅氢还原炉测温视镜结构， 其特征在于气体通道(13)包括至少一个直通道，或至少一个直通 道和环形通道。
4、 根据权利要求1活所述的多晶硅氢还原炉测温视镜结构，其 特征在于气体通道(13)包括至少一个斜通道，或至少一个斜通道 和环形通道。
5、 根据权利要求l所述的多晶硅氢还原炉测温视镜结构，其特 征在于所述水冷结构(17)为环形水冷结构或螺旋水冷结构。
专利摘要本实用新型提供了一种多晶硅氢还原炉测温视镜结构，包括视镜玻璃和通入还原炉内壁的内空式镜筒，视镜玻璃安装在位于还原炉炉壁之外的镜筒上，镜筒筒壁在靠近视镜玻璃的位置设有水冷结构，所述视镜玻璃为单层玻璃结构，视镜玻璃内表面侧的镜筒筒壁上设有两端分别与镜筒外的进气管和镜筒内通道相通的气体通道。本实用新型有效解决了由于水冷而污染视镜玻璃和形成硅附着物的问题，并且结构简单，保证了视镜在生产中不被污染。
文档编号F27B5/18GK201105994SQ20072008158
公开日2008年8月27日 申请日期2007年10月23日 优先权日2007年10月23日
发明者戴自忠 申请人:四川永祥多晶硅有限公司