专利名称：多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅生产设备，特别是多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却 装置。
背景技术：
在多晶硅的生产过程中，多晶硅氢还原炉底盘夹套冷却，目前大都采用常温 (25'C左右)水进行冷却。但是这样就会使多晶硅氢还原炉热利用率偏低，大量 的热量被低温水带走，传热过程中效率低，多晶硅氢还原炉能耗增加、功耗增大； 而且，水质处理不好，长时间运行就会结垢，也就会影响传热效率、换热效果； 产品硅棒表面在停炉时还容易着一层氯硅烷，不能做到免清洗，撤炉时要打扫、 清洗，这样不但浪费原材料，而且还减少了多晶硅氢还原炉有效生产时间；同时， 常温水的冷却也不利于电极硅棒的预热启动。 发明内容
本实用新型为解决上述问题，提供了多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置， 可以在达到良好冷却效果的同时还可以降低多晶硅氢还原炉损耗。 本实用新型的技术方案如下
多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置，其特征在于包括除氧器、管道泵， 除氧器的顶部设置有蒸汽冷凝进水管，除氧器的底部设置有连接管道泵的蒸汽冷 凝出水管，管道泵与多晶硅氢还原炉底盘通过管道连接，多晶硅氢还原炉底盘另 一侧与除氧器通过管道连通；所述除氧器、管道泵和多晶硅氢还原炉底盘通过管
道的连接形成一个循环冷却结构。
所述管道泵的输出的管道与多晶硅氢还原炉底盘的夹套连通。 所述除氧器和多晶硅氢还原炉地盘均位于管道泵的上方。 所述除氧器为高温热力除氧器，管道泵为低功率管道泵。 本实用新型的冷却流程为
采用多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置对多晶硅氢还原炉底盘进行冷 却，首先蒸汽冷凝水通过除氧器顶部注入，经过除氧器解析除去蒸汽冷凝水中溶解的氧等有害气体后后，温度为100土4。C左右的蒸汽冷凝水被输送到管道泵，通 过管道泵的动力作用将蒸汽冷凝水输送到高处的多晶硅氢还原炉底盘夹套内，经 过换热作用，水被加热到达125。C左右，多晶硅氢还原炉底盘被冷却，这个冷却过 程中生成的蒸汽供其他工段使用，冷却后的热水仍然借助管道泵的动力被送回除 氧器循环使用。
所述除氧器解析除去蒸汽冷凝水中溶解的氧等有害气体，可以防止腐蚀损害
设备
本实用新型的有益效果如下-
该装置对多晶硅氢还原炉底盘的冷却效果非常好，而且多晶硅氢还原炉运行 十分安全稳定髙效，传热过程中效率高，多晶硅氢还原炉热损耗减少、功耗降低； 同时，底盘在较高温度下不易沉积物料(硅烷)，产品可以免清洗，撤炉时不用打 扫、清洗，这样既不浪费原材料，也不会减少多晶硅氢还原炉有效生产时间；有 利于电极硅棒的预热，硅棒启动百分之百成功。
图1为本实用新型的结构示意图具体实施方式
如图1所示，多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置，包括除氧器l、管道泵 2，除氧器1的顶部设置有蒸汽冷凝进水管，除氧器1的底部设置有连接管道泵2 的蒸汽冷凝出水管，管道泵2与多晶硅氢还原炉底盘3通过管道连接，多晶硅氢 还原炉底盘3另一侧与除氧器1通过管道连通；所述除氧器1、管道泵2和多晶硅 氢还原炉底盘3通过管道的连接形成一个循环冷却结构。
所述管道泵2的输出的管道与多晶硅氢还原炉底盘3的夹套连通。 所述除氧器1和多晶硅氢还原炉底盘3均位于管道泵的上方。 所述除氧器1为高温热力除氧器，管道泵2为低功率管道泵。 本实用新型的冷却流程为
采用多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置对多晶硅氢还原炉底盘进行冷 却，首先蒸汽冷凝水通过除氧器顶部注入，经过除氧器解析除去蒸汽冷凝水中溶 解的氧等有害气体后后，温度为100土4'C左右的蒸汽冷凝水被输送到管道泵，通 过管道泵的动力作用将蒸汽冷凝水输送到高处的多晶硅氢还原炉底盘夹套内，经 过换热作用，水被加热到达125'C左右，多晶硅氢还原炉底盘被冷却，这个冷却过程中生成的蒸汽供其他工段使用，冷却后的热水仍然借助管道泵的动力被送回除 氧器循环使用。
所述除氧器解析除去蒸汽冷凝水中溶解的氧等有害气体，可以防止腐蚀损害 设备。
权利要求1、多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置，其特征在于包括除氧器(1)、管道泵(2)，除氧器(1)的顶部设置有蒸汽冷凝进水管，除氧器(1)的底部设置有连接管道泵(2)的蒸汽冷凝出水管，管道泵(2)与多晶硅氢还原炉底盘(3)通过管道连接，多晶硅氢还原炉底盘(2)另一侧与除氧器(1)通过管道连通；所述除氧器(1)、管道泵(2)和多晶硅氢还原炉底盘(3)通过管道的连接形成一个循环冷却结构。
2、 根据权利要求1所述多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置，其特征在于所述管道泵(2)的输出的管道与多晶硅氢还原炉底盘(3)的夹套连通。
3、 根据权利要求1所述多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置，其特征在于:所述除氧器(1)和多晶硅氢还原炉底盘(3)均位于管道泵(2)的上方。
4、 根据权利要求1所述多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置，其特征在于 所述除氧器(1)为高温热力除氧器，管道泵(2)为低功率管道泵。
专利摘要本实用新型公开了多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置，其特征在于包括除氧器、管道泵，除氧器的顶部设置有蒸汽冷凝进水管，除氧器的底部设置有连接管道泵的蒸汽冷凝出水管，管道泵与多晶硅氢还原炉底盘通过管道连接，多晶硅氢还原炉底盘另一侧与除氧器通过管道连通；所述除氧器、管道泵和多晶硅氢还原炉底盘通过管道的连接形成一个循环冷却结构；该装置对多晶硅氢还原炉底盘的冷却效果非常好，而且多晶硅氢还原炉运行十分安全稳定高效，传热过程中效率高，多晶硅氢还原炉热损耗减少、功耗降低；同时，底盘在较高温度下不易沉积物料(硅烷)，产品可以免清洗，撤炉时不用打扫、清洗，这样既不浪费原材料，也不会减少多晶硅氢还原炉有效生产时间；有利于电极硅棒的预热，硅棒启动百分之百成功。
文档编号C30B29/06GK201305652SQ200820222839
公开日2009年9月9日 申请日期2008年11月24日 优先权日2008年11月24日
发明者戴自忠, 涂大勇 申请人:四川永祥多晶硅有限公司