用于多晶硅生产中含氯硅烷废气的快速取样装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属多晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种用于多晶硅生产中含氯硅烷废气的快速取样装置。
【背景技术】
[0002]西门子法生产多晶硅是经过精馏提纯的高纯度三氯氢硅通过高纯度氢气还原而制得的多晶硅，这种方法在制造多晶硅的过程中会产生大量的废气排出，废气中主要成分为氯硅烷(三氯氢硅，四氯化硅，二氯二氢硅)、氢气、氯化氢、氮气及微量杂质等，由于氯硅烷会对环境造成一定的影响，所以多晶硅生产中需要对废气进行取样分析，为了快速取得废气样品，因此有必要提出这一改进。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型解决的技术问题:提供一种用于多晶硅生产中含氯硅烷废气的快速取样装置，液氮罐中的液氮通过冷阱将废气中的氯硅烷气体冷凝成氯硅烷液体并收集在冷阱内，无法冷凝的废气成分通过四氟软管II导入碱液中吸收或溢出，从而达到快速取样的目的，保证检测的顺利进行。
[0004]本实用新型采用的技术方案:用于多晶硅生产中含氯硅烷废气的快速取样装置，包括冷阱、液氮罐和碱液瓶，所述液氮罐中装有液氮，所述碱液瓶中装有碱液，所述冷阱的下端置于液氮中，所述冷阱的上端伸出液氮罐的外部，所述冷阱的进气口与四氟软管I的一端连接，所述四氟软管I的另一端与废气管道上的取样口连接，所述冷阱的出气口与四氟软管II的一端连接，所述四氟软管II的另一端与塑料漏斗连接并置于碱液瓶中的碱液中。
[0005]其中，所述四氟软管I上设有截止阀。
[0006]进一步地，所述取样口的直径为15mm。
[0007]本实用新型与现有技术相比的有益效果:
[0008]1、采用冷阱有利于提高液氮溶液的蒸发密度，使废气中的氯硅烷气体更易于凝结；
[0009]2、液氮作为制冷剂，性质稳定且熔沸点都很低，冷凝效果好；
[0010]3、在四氟软管II 一端连接塑料漏斗并置于碱液中，可有效吸收废气中的氯化氢气体。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图1描述本实用新型的一种实施例。
[0013]用于多晶硅生产中含氯硅烷废气的快速取样装置，包括冷阱1、液氮罐2和碱液瓶8，所述液氮罐2中装有液氮3，液氮3是用于冷凝废气中氯硅烷气体的制冷剂，由于废气中氯硅烷的不同组分沸点的差异(即三氯硅烷、四氯化硅、二氯二氢硅的沸点分别为31.8°C、57.6°C、8.2°C )，所以采用常压下温度为_196°C的液氮3，性质稳定，可有效的将废气中氯硅烷气体通过冷阱I冷凝下来；所述碱液瓶8中装有碱液9，碱液9可有效吸收废气中不能冷凝的氯化氢气体，并将废气中的氢气和氮气溢出，无碱液9时也可用水代替；所述冷阱I必须提前进行干燥，所述冷阱I的下端置于液氮3中，所述冷阱I的上端伸出液氮罐2的外部，所述冷阱I的进气口 11与四氟软管I 4的一端连接，所述四氟软管I 4的另一端与废气管道5上的取样口 51连接，具体的，所述取样口 51的直径为15mm，所述四氟软管I 4上设有截止阀41，可通过截止阀41打开或关闭四氟软管I 4开始取样或停止取样；所述冷阱I的出气口 12与四氟软管II 6的一端连接，所述四氟软管II 6的另一端与塑料漏斗7连接并置于碱液瓶8中的碱液9中，四氟软管II 6通过塑料漏斗7将冷阱I中未冷凝的废气导入碱液中。按照上述方法将本装置安装好，打开截止阀41，开始取样，取样完毕后将冷凝下来的氯硅烷液体导入专用的分析器皿中，即可进行检测。
[0014]取样时注意以下几点:
[0015]1、取液氮3和取样过程中注意防护，小心冻伤；
[0016]2、取样过程中由于氯硅烷在空气中是危险品，连接时一定注意封闭良好，且做好个人防护；
[0017]3、冷阱I要提前进行干燥，切勿有水取样；
[0018]4、取样过程中通入碱液9中的导气管反应较剧烈，注意飞溅。
[0019]上述实施例，只是本实用新型的较佳实施例，并非用来限制本实用新型实施范围，故凡以本实用新型权利要求所述内容所做的等效变化，均应包括在本实用新型权利要求范围之内。
【主权项】
1.用于多晶硅生产中含氯硅烷废气的快速取样装置，其特征在于:包括冷阱(1)、液氮罐⑵和碱液瓶(8)，所述液氮罐⑵中装有液氮(3)，所述碱液瓶⑶中装有碱液(9)，所述冷阱(I)的下端置于液氮(3)中，所述冷阱(I)的上端伸出液氮罐(2)的外部，所述冷阱(I)的进气口(11)与四氟软管I (4)的一端连接，所述四氟软管I (4)的另一端与废气管道(5)上的取样口(51)连接，所述冷阱(I)的出气口(12)与四氟软管II (6)的一端连接，所述四氟软管II (6)的另一端与塑料漏斗(7)连接并置于碱液瓶(8)中的碱液(9)中。
2.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气的快速取样装置，其特征在于:所述四氟软管I (4)上设有截止阀(41)。
3.根据权利要求1或2所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气的快速取样装置，其特征在于:所述取样口(51)的直径为15_。
【专利摘要】提供一种用于多晶硅生产中含氯硅烷废气的快速取样装置，包括冷阱、液氮罐和碱液瓶，液氮罐中装有液氮，碱液瓶中装有碱液，冷阱的下端置于液氮中，冷阱的上端伸出液氮罐的外部，冷阱的进气口与四氟软管Ⅰ的一端连接，四氟软管Ⅰ的另一端与废气管道上的取样口连接，冷阱的出气口与四氟软管Ⅱ的一端连接，四氟软管Ⅱ的另一端与塑料漏斗连接并置于碱液瓶中的碱液中。本实用新型是液氮通过冷阱将废气中的氯硅烷气体冷凝成氯硅烷液体并收集在冷阱内，无法冷凝的废气成分通过四氟软管Ⅱ导入碱液中吸收或排除，结构简单，取样方便快速。
【IPC分类】G01N1-22
【公开号】CN204536066
【申请号】CN201520247398
【发明人】苟文娜, 郭张利, 杜娜, 蒋晓龙
【申请人】陕西天宏硅材料有限责任公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年4月22日