一种加热装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于多晶硅生产技术领域，具体涉及一种加热装置。
【背景技术】
[0002]随着科技的进步，新材料、新能源及光电科学领域的迅速发展，半导体高纯硅的应用越来越广泛，当前三氯氢硅是生产多晶硅的主要原料之一。在多晶硅生产过程中，涉及三氯氢硅合成生产过程、三氯氢硅精馏生产过程，这两种生产过程均会产生出含有杂质较多的氯硅烷废液，这些氯硅烷废液能否部分有效地再回收很重要，这跟多晶硅生产系统的节能降耗有直接关系。
[0003]在传统的三氯氢硅合成生产过程中的湿法除尘、三氯氢硅精馏生产过程中，均会产生杂质含量较多的氯硅烷废液。这些氯硅烷废液采用有效回收利用方法及设备至关重要，一个综合性能高的回收氯硅烷废液的设备的选择决定氯硅烷废液回收过程的安全、效率、节能。
[0004]现有技术中，大多氯硅烷废液的回收是利用其中的氯硅烷与杂质含量沸点的差异，氯硅烷废液分离设备采用加热蒸发的方式将氯硅烷汽化与杂质分离，最后将汽化后的氯硅烷液化得到液态的氯硅烷从而进一步回收利用，而浓缩后的氯硅烷废液则进行三废处理。由于氯硅烷废液中的杂质包括有大量金属氯化物、高聚物、细小硅尘等，常温下这些杂质都是以固态存在于氯硅烷废液中，部分金属氯化物溶解在氯硅烷废液内，在氯硅烷废液分离设备采用加热蒸发进行回收的过程中，容易出现氯硅烷废液蒸发不充分，为了将氯硅烷废液中的大量氯硅烷汽化，多数采用高温加热，这样对于氯硅烷废液加热温度过高则会使溶解在氯硅烷废液中的金属氯化物和高聚物随着汽化的氯硅烷蒸出氯硅烷废液分离设备，这样蒸出氯硅烷废液分离设备的液态的氯硅烷中仍旧含有金属氯化物杂质，不能达到液态氯硅烷的有效回收，并且蒸发出的金属氯化物及高聚物进入后续的工艺中会堵塞后续的冷却设备，高聚物及金属氯化物在温度梯度较大的地方会以固态的形态吸附在后续的工艺中所使用的设备的内壁上，久而久之会出现设备的排放口堵塞。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种加热装置，该加热装置加热三氯氢硅合成生产过程中的氯硅烷废液，可以使得废液中的氯硅烷汽化与杂质分离，由于该加热装置加热均匀，所以不会出现加热温度过高且高于预设的加热温度，所以在废液中的氯硅烷汽化过程中不会蒸出废液中的金属氯化物和高聚物，从而使得废液中的氯硅烷汽化后再液化得到的液态氯硅烷可以得到有效的回收利用。
[0006]解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是提供一种加热装置，包括夹套，所述夹套包括:
[0007]内壳体，其用于盛放被加热物质；
[0008]外壳体,其设置于所述内壳体的外部，所述内壳体和所述外壳体之间存在间隙，所述间隙用于盛放加热介质；
[0009]加热介质入口；以及
[0010]加热介质出口；
[0011]所述夹套还包括隔板，
[0012]所述隔板设置在所述间隙中并与所述内壳体及所述外壳体相连，从而形成加热介质流道，所述加热介质流道用于将所述加热介质从所述加热介质入口弓I导到所述加热介质出口。
[0013]优选的是，所述隔板呈螺旋状盘绕在所述间隙中。
[0014]优选的是，所述隔板至少为两块。
[0015]优选的是，所述隔板在所述间隙中纵向交错排布。
[0016]优选的是，所述隔板为两块，所述隔板在所述夹套内对称分布，所述隔板将所述夹套内的所述间隙分隔为底部连通的两部分，所述加热介质入口和所述加热介质出口分别分布在所述隔板的两侧且分布在所述夹套的上部。
[0017]优选的是，所述隔板由导热材料制成。
[0018]优选的是，所述的加热装置还包括搅拌器，所述搅拌器包括搅拌浆叶、搅拌杆和搅拌电机，所述搅拌浆叶、所述搅拌杆设置于所述内壳体的内部，所述搅拌浆叶通过所述搅拌杆与所述搅拌电机相连。
[0019]优选的是，所述搅拌杆上设置有连接臂，所述搅拌浆叶包括与所述连接臂连接的纵向平板，该纵向平板用于搅拌被加热物质。
[0020]优选的是，所述搅拌浆叶还包括扇形搅拌浆叶，该扇形搅拌浆叶设置于所述搅拌杆上。
[0021 ] 通过本实用新型中的加热装置加热三氯氢硅合成生产过程中的氯硅烷废液，可以使得废液中的氯硅烷汽化与杂质分离，由于该加热装置加热均匀，所以不会出现加热温度过高且高于预设的加热温度，在废液中的氯硅烷汽化过程中不会蒸出废液中的金属氯化物和高聚物，从而使得废液中的氯硅烷汽化后再液化得到的液态氯硅烷可以得到有效的回收利用，液态氯硅烷进入后续的工艺中并不会损坏或堵塞后续工艺设备。
【附图说明】
[0022]图1是本实用新型实施例2中的加热装置的结构示意图；
[0023]图2是本实用新型实施例2中的加热装置的正视图；
[0024]图3是本实用新型实施例3中的加热装置的正视图；
[0025]图4是本实用新型实施例4中的加热装置的剖视图；
[0026]图5是本实用新型实施例4中的加热装置的俯视图。
[0027]图中:1_夹套；2_内壳体；3_外壳体；4_加热介质入口 ；5_加热介质出口 ；6_隔板；7-进料口 ；8-出料口 ；9_排渣口 ； 10-安全附件；11-保护气入口 ； 12-测温口 ；13_测压口 ；14_尾气出口 ；15_搅拌杆；16-搅拌电机；17-连接臂；18-纵向平板；19-扇形搅拌浆叶；20-辅助气入口 ；21_冷凝液出口。
【具体实施方式】
[0028]为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细描述。
[0029]实施例1
[0030]本实施例提供一种加热装置，包括夹套，所述夹套包括:
[0031]内壳体，其用于盛放被加热物质；
[0032]外壳体,其设置于所述内壳体的外部，所述内壳体和所述外壳体之间存在间隙，所述间隙用于盛放加热介质；
[0033]加热介质入口；以及
[0034]加热介质出口；
[0035]所述夹套还包括隔板，
[0036]所述隔板设置在所述间隙中并与所述内壳体及所述外壳体相连，从而形成加热介质流道，所述加热介质流道用于将所述加热介质从所述加热介质入口弓I导到所述加热介质出口。
[0037]通过本实施例中的加热装置加热三氯氢硅合成生产过程中的氯硅烷废液，可以使得废液中的氯硅烷汽化与杂质分离，由于本实施例中的加热装置加热均匀，所以不会出现加热温度过高且高于预设的加热温度，在废液中的氯硅烷汽化过程中不会蒸出废液中的金属氯化物和高聚物，从而使得废液中的氯硅烷汽化后再液化得到的液态氯硅烷可以得到有效的回收利用，液态氯硅烷进入后续的工艺中并不会损坏或堵塞后续工艺设备。
[0038]通过本实施例中的加热装置的夹套中的隔板形成的加热介质流道，可以使得加热介质的热量均匀的传递给夹套的内壳体，从而对被加热介质均匀的加热，提高了加热介质与被加热物质的换热效果，避免了夹套的内壳体的传热不均匀引起的局部过热高温加热，提高了加热介质的使用效率。
[0039]实施例2
[0040]如图1、2所示,本实施例提供一种加热装置,包括夹套I,所述夹套I包括:
[0041]内壳体2，其用于盛放被加热物质；
[0042]外壳体3,其设置于所述内壳体2的外部,所述内壳体2和所述外壳体3之间存在间隙，所述间隙用于盛放加热介质；
[0043]加热介质入口 4;以及
[0044]加热介质出口 5;
[0045]所述夹套I还包括隔板6,
[0046]所述隔板6设置在所述间隙中并与所述内壳体2及所述外壳体3相连，从而形成加热介质流道，所述加热介质流道用于将所述加热介质从所述加热介质入口 4引导到所述加热介质出口 5。
[0047]三氯氢硅合成生产过程中的湿法除尘、三氯氢硅精馏生产过程中，均会产生杂质含量较多的氯硅烷废液，氯硅烷废液中的主要成份为三氯氢硅、四氯化硅、硅粉尘、高沸物粉尘，高沸物粉尘的成分是本领域技术人员熟知的除硅粉尘意外的其它副反应的固体颗粒，如金属颗粒等。
[0048]通过本实施例中的加热装置加热三氯氢硅合成生产过程中的氯硅烷废液，可以使得废液中的氯硅烷汽化与杂质分离，由于本实施例中的加热装置加热均匀，所以不会出现加热温度过高且高于预设的加热温度，在废液中的氯硅烷汽化过程中不会蒸出废液中的金属氯化物和高聚物，从而使得废液中的氯硅烷汽化后再液化得到的液态氯硅烷可以得到有效的回收利用，液态氯硅烷进入后续的工艺中并不会损坏或堵塞后续工艺设备。