技术编号:4654116
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉用石墨坩锅,属多晶硅铸锭炉 用石墨坩埚的制造。背景技术现有使用的多晶硅铸锭炉,其用于支撑石英坩埚的石墨坩锅都是 由四块侧板与一块底板组合而成,当发生硅液溢出时,硅液在平坦的 石墨坩埚底板上可以往四处任意流动。由于硅液溢出是一种工艺事 故,须及时发现并采取相应措施处理,而硅液的不确定流向延长了事 故的报警时间,极易引发更为严重的后果。发明内容本实用新型目的是提供一种设计合理,使用方便,能有效导引硅 液流向的多晶硅铸锭炉用石墨坩锅...
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