专利名称：多晶硅铸锭炉用石墨坩锅的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉用石墨坩锅，属多晶硅铸锭炉 用石墨坩埚的制造技术领域。
背景技术：
现有使用的多晶硅铸锭炉，其用于支撑石英坩埚的石墨坩锅都是 由四块侧板与一块底板组合而成，当发生硅液溢出时，硅液在平坦的 石墨坩埚底板上可以往四处任意流动。由于硅液溢出是一种工艺事 故，须及时发现并采取相应措施处理，而硅液的不确定流向延长了事 故的报警时间，极易引发更为严重的后果。发明内容本实用新型目的是提供一种设计合理，使用方便，能有效导引硅 液流向的多晶硅铸锭炉用石墨坩锅。本实用新型为多晶硅铸锭炉用石墨坩锅，包括底板，置于底板四 周带紧固螺丝的侧板，其特征在于底板的四周与侧板的底部之间还开设有沟槽。所述底板上的沟槽在底板的四周可为任意位置、任意数量设置。 本实用新型通过在底板四周与侧板的底部之间开设沟槽，使石墨 坩锅的整体设计更趋合理，当石英坩埚出现裂纹时，可在沟槽的导引之下，将溢流硅液及时按指定流向溢流，产生报警，提醒操作者注意。
图1为本实用新型的整体结构示意图；图2为本实用新型去除部分侧板和紧固螺丝后的结构示意图； 图3为本实用新型使用状态的局部剖视图； 图4为图3所示A部分的放大结构示意图。
具体实施方式
本实用新型主要由底板3，置于底板3四周带紧固螺丝4的侧板 1、 2，开设于底板3四周与侧板l、 2的底部之间的沟槽5等构成， 沟槽5在底板3四周为任意位置、任意数量设置。正常生产时，按附图3所示，将石英坩埚6置于本实用新型内即 可使用。原材料硅7在石英坩埚6中被加热熔化。当石英坩埚6出现 裂纹时，硅液必然沿着石墨坩埚与石英坩埚6之间的缝隙往下流，由 于结构上的原因，石墨坩埚与石英坩埚在底部会形成一个缝隙，由此， 沿缝隙流下的硅液会沿着底板3上的沟槽5往下流，在沟槽5的导引 之下，溢流硅液及时按指定流向溢流，产生报警，提醒操作者注意。 附图4中所示的箭头指向表示硅液溢流流向。
权利要求1. 一种多晶硅铸锭炉用石墨坩锅，包括底板(3)，置于底板(3)四周带紧固螺丝(4)的侧板(1)、(2)，其特征在于底板(3)的四周与侧板(1)、(2)的底部之间还开设有沟槽(5)。
专利摘要一种多晶硅铸锭炉用石墨坩锅，属多晶硅铸锭炉用石墨坩埚的制造技术领域，主要由底板(3)，置于底板(3)四周带紧固螺丝(4)的侧板(1)、(2)，开设于底板(3)四周与侧板(1)、(2)的底部之间的沟槽(5)等构成，沟槽(5)在底板(3)四周为任意位置、任意数量设置。本实用新型通过在底板四周与侧板的底部之间开设沟槽，使石墨坩锅的整体设计更趋合理，当石英坩埚出现裂纹时，可在沟槽的导引之下，将溢流硅液及时按指定流向溢流，产生报警，提醒操作者注意。
文档编号F27B14/10GK201104102SQ200720113619
公开日2008年8月20日 申请日期2007年8月23日 优先权日2007年8月23日
发明者卫国军, 孙海梁, 徐芳华, 杰 高 申请人:浙江精工科技股份有限公司;绍兴县精工机电研究所有限公司