技术编号:4657592
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种碳化硅外延炉的清理装置,其包括一采用碳化硅材料制作的清理触头;一手柄,于手柄中设置有发光电路,该发光电路中至少包括两个发光回路,每个发光回路中设置有不同颜色的发光体;所述的清理触头安装在手柄上,并且二者之间连接有弹性伸缩件,于弹性伸缩件的压缩行程范围内至少设置有两个电极点,当清理触头受外力压缩而触发任意一个电极点时,发光电路中的一个发光回路导通,触发对应回路中的发光体发光。本实用新型采用上述技术方案后,可以保证不同的操作人员在清理外延炉...
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