技术编号:4673901
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种板、具有该板的用于调节基板温度的装置,以及一种具有 该板的用于加工基板的装置。本发明尤其涉及用于均匀调节整个基板温度的一 种板,具有该板的用于调节基板温度的一种装置,以及具有该板的用于加工基 板的一种装置。背景技术在半导体加工技术中,可通过在半导体基板上执行各种工艺流程而制成半 导体设备。例如,可对半导体基板进行热处理而制造所需的半导体设备。半导体基板可被加热至预定温度以执行热处理。此外,半导体基板经热处 理后可被冷却至预定温度。用于调节半导...
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