技术编号:4680225
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于一种用于300mm硅片热处理的氧化炉设备,具体的是一 种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体的炉丝引线固定装置。 背景技术氧化炉是用于硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备,现在的氧 化炉,大都是卧式结构,其温度均匀性及控温精度不够理想,操作和控制不够 精确灵活,生产效率和产品质量不够高,不能适应300mm硅片的生产需求。 因此,需要提出一种结构改进的氧化炉。实用新型内容本实用新型的目的是为了解决上述技术问题,提出一种300mm立式...
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