专利名称：300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种用于300mm硅片热处理的氧化炉设备，具体的是一 种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体的炉丝引线固定装置。
背景技术：
氧化炉是用于硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备，现在的氧 化炉，大都是卧式结构，其温度均匀性及控温精度不够理想，操作和控制不够 精确灵活，生产效率和产品质量不够高，不能适应300mm硅片的生产需求。 因此，需要提出一种结构改进的氧化炉。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化 炉炉体炉丝引线固定装置，该装置结构新颖、简单适用，连接牢固。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的300mm立式氧化炉炉体 炉丝引线固定装置，其特征在于设有内固定板、中固定板、外固定板，所述
中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线穿过内固定板、中固定板中间 的长圆孔和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引线的另一端与炉丝焊接 在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内外固定板由绝缘耐热材料制 成，通过螺栓固定在氧化炉炉体的内壁上。
本实用新型与以往炉体的炉丝引线固定方式相比，具有以下优点炉丝引
线固定位置准确，不会产生蹿动，不会在搬运炉体或连接导线时，由于外力的 作用而使炉丝引线发生位移。由于采用绝缘、绝热材料进行固定，所以炉体的 安全性能得到很大提高。
图1是本实用新型的结构示意图；图2是图1中B—B向视图； 图3是图1中A—A向视图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明实施例参见附图， 300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，设有内固定板1、中固定板2、外 固定板3，所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线4穿过内固定 板、中固定板中间的长圆孔2.1和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引 线的另一端与炉丝6焊接在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内外 固定板由绝缘耐热材料制成，通过螺栓5固定在氧化炉炉体的内壁上。
权利要求1、一种300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，其特征在于设有内固定板(1)、中固定板(2)、外固定板(3)，所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线(4)穿过内固定板、中固定板中间的长圆孔(2.1)和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引线的另一端与炉丝(6)焊接在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内外固定板由绝缘耐热材料制成，通过螺栓(5)固定在氧化炉炉体的内壁上。
专利摘要本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，其特征在于设有内固定板(1)、中固定板(2)、外固定板(3)，所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线(4)穿过内固定板、中固定板中间的长圆孔(2.1)和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引线的另一端与炉丝6焊接在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内、外固定板由绝缘、耐热材料制成，通过螺栓(5)固定在氧化炉炉体的内壁上。本实用新型适用于300mm硅片立式氧化炉炉体的炉丝引线固定，引线固定结构合理，无松动及攒动现象。
文档编号F27B1/10GK201352061SQ20082012468
公开日2009年11月25日 申请日期2008年12月17日 优先权日2008年12月17日
发明者胡星强, 艾伦·埃马米, 董金卫, 赵星梅 申请人:北京七星华创电子股份有限公司