专利名称：300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种用于300mm硅片热处理的氧化炉设备，具体的是 一种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体的热电偶固定装置。
背景技术：
氧化炉是用于硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备，现在的 氧化炉，大都是卧式结构，其温度均匀性及控温精度不够理想，操作和控制 不够精确灵活，自动化程度低、生产效率和产品质量不够高，不能适应300mm 硅片的生产需求。特别是炉体的热电偶固定装置固定方式不够理想，以往卧 式炉体热电偶的固定方式为径向固定结构，易弄断热电偶，同时轴向方向几 乎没有约束，所以，需要对其结构进行改进。因此，需要提出一种结构改进 的立式氧化炉炉体热电偶固定方式。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧 化炉热电偶固定装置，该装置结构科学、新颖、简单适用，固牢性强，准确 地控制热电偶各个方向的位置。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的300mm立式氧化炉 炉体热电偶固定装置，其特征在于设有固定板，该固定板的外侧中心部位 设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块，热电偶固定在该固定块的 中心孔中，固定块的旁边设有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板， 该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固 定板通过螺栓固定在氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向
3间隔设置在氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用耐热材料制成。
本实用新型的炉体热电偶固定装置通过精确的设计计算和合理巧妙的 设计，使热电偶能够全方位固定而且易于更换。
图1是本实用新型的整体结构示意图； 图2是本实用新型的侧视结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明实施例参见附
图，300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置，设有固定板5，该固定板的外 侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块3，热电偶2固 定在该固定块的中心孔中，固定块的旁边设有一个直边，固定块的一侧固定 设有一个挡板1，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热 电偶卡住，所述固定板通过螺栓4固定在立式氧化炉炉体的内壁上；热电偶 固定装置设有数个，纵向间隔设置在立式氧化炉炉体上；所述固定板、固定 块、挡板用绝缘、耐热材料制成。
权利要求1、一种300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于设有固定板(5)，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块(3)，热电偶(2)固定在该固定块的中心孔中，固定块的旁边设计有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板(1)，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓(4)固定在氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用绝缘、耐热材料制成。
专利摘要本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于设有固定板(5)，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块(3)，热电偶(2)固定在该固定块的中心孔中，固定块的一侧设有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板(1)，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓(4)固定在立式氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在立式氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用耐热材料制成。本实用新型适用于300mm立式氧化炉炉体热电偶的固定，结构科学、新颖，固定效果好，易于更换热电偶。
文档编号F27B1/10GK201352060SQ20082012468
公开日2009年11月25日 申请日期2008年12月17日 优先权日2008年12月17日
发明者胡星强, 艾伦·埃马米, 董金卫, 华 钟 申请人:北京七星华创电子股份有限公司