专利名称：300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种用于300mm硅片热处理的氧化炉设备，具体的是一 种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉的炉体炉丝固定装置。
背景技术：
氧化炉是用于硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备，现在的氧 化炉，大都是卧式结构，其温度均匀性及控温精度不够理想，操作和控制不够 精确灵活，自动化程度低、生产效率和产品质量不够高，不能适应300mm硅 片的生产需求。因此，需要提出一种结构改进的立式氧化炉。需要在炉体炉丝 引线固定装置上进行全新的设计。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化 炉炉体炉丝固定装置，该装置结构新颖简单适用，固牢性强，对炉丝高温状态
的保护结构科学、合理。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的300mm立式氧化炉炉体 炉丝固定装置，其特征在于该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组 设有支撑杆、顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子，该顶部绝缘子、中部绝 缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻 合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径， 炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的 顶块和底块上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布，顶部绝缘子的 厚度在圆周方向上依次减少，相对应的底部绝缘子的厚度则慎沐塘加。
本实用新型的300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，其绝缘子的设计形式有利于炉丝加热时的热变形及恢复，有利于加热元件寿命的提高。同时使炉 丝的固定更加准确、可靠、合理。本装置中各绝缘子具有凸缘，凸缘上下相扣， 保证各个绝缘子之间没有相对转动，使炉体的结构更加合理。
图1是本实用新型的整体结构示意图； 图2是本实用新型的上绝缘子的俯视图； 图3是本实用新型的上绝缘子的侧视图； 图4是本实用新型的中绝缘子的俯视图； 图5是本实用新型的中绝缘子的侧视图； 图6是本实用新型的下绝缘子的俯视图； 图7是本实用新型的下绝缘子的侧视图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明实施例参见附图， 300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，该固定装置由16个绝缘子组构成，每 个绝缘子组设有支撑杆l、 l个顶部绝缘子2、 100个中部绝缘子3、 l个底部绝 缘子4，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相 邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙， 该空隙的直径大于炉丝6的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的 上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块5和底块5.1上；16个绝缘子组在氧化 炉炉体内圆周上均匀分布，顶部绝缘子的厚度在圆周方向上依次减少，相对应 的底部绝缘子的厚度则依次增加。
权利要求1、一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，其特征在于该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆(1)、顶部绝缘子(2)、中部绝缘子(3)、底部绝缘子(4)，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块(5)和底块(5.1)上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布，顶部绝缘子的厚度及底部绝缘子的厚度在圆周上依次递增或递减，以保证炉体上下底面水平。
专利摘要本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆、顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块和底块上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布。本实用新型适用于处理300mm硅片的立式氧化炉炉体的炉丝固定，加工工艺好。从而很好支撑了炉丝，由于炉丝固定结构科学、合理，从而延长了炉体寿命。
文档编号F27B1/10GK201352062SQ20082012468
公开日2009年11月25日 申请日期2008年12月17日 优先权日2008年12月17日
发明者胡星强, 艾伦·埃马米, 赵星梅, 华 钟 申请人:北京七星华创电子股份有限公司