技术编号:4686254
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。排气系统本实用新型涉及一种排气系统,尤其涉及一种应用于半导体制造工厂的排气系统。背景技术半导体制造工艺中所使用的化学物质种类繁多,且多数具有毒性、腐蚀性、易燃性或易爆性等特质。在半导体制造工厂内,通常配置有排气系统,用于排出废气,保证安全。不同的化学物质混合之后可能造成严重后果,如爆炸、燃烧等。另外,对排气管路 材质的选择也很重要,其必须不与输送化学物质发生反映,否则可能导致管路腐蚀破损,进 而可能造成有害物质外泄。因此,为了避免不同性质的排出气体共用同一...
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