技术编号:4716721
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型为一种炼炉,特别涉及一种坩埚熔炼炉,属于坩埚炉。背景技术在制作坩埚过程中,石墨电极在高温熔炼过程中,容易掉渣,直接影响制作坩埚的质量,为此,在坩埚熔炼炉一侧设置有导气管,把石墨渣吹向一边、坩埚熔炼炉外。但传统使用的导气管结构过于简单,吹渣效果不甚理想,且大多由橡胶、铜等材料所制成,存在质量过重或阻燃性、耐腐蚀性差等缺陷,使用寿命短。大多国内高端半导体需求企业往往会依赖于国外进口石英导气管,但是进口产品存在数量限制、价格高、交货期长等不利因素,对企...
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