专利名称：一种坩埚熔炼炉的制作方法
技术领域：
本实用新型为一种炼炉，特别涉及一种坩埚熔炼炉，属于坩埚炉技术领域。
背景技术：
在制作坩埚过程中，石墨电极在高温熔炼过程中，容易掉渣，直接影响制作坩埚的质量，为此，在坩埚熔炼炉一侧设置有导气管，把石墨渣吹向一边、坩埚熔炼炉外。但传统使用的导气管结构过于简单，吹渣效果不甚理想，且大多由橡胶、铜等材料所制成，存在质量过重或阻燃性、耐腐蚀性差等缺陷，使用寿命短。大多国内高端半导体需求企业往往会依赖于国外进口石英导气管，但是进口产品存在数量限制、价格高、交货期长等不利因素，对企业日常生产带来了极大不便。
实用新型内容本实用新型的目的是针对上述现有技术中，导气管结构简单、吹渣效果差，质量过重或阻燃性、耐腐蚀性差，及价格高等缺陷，提供了一种坩埚熔炼炉，可以达到导气管吹渣效果好、质量轻、耐腐蚀和价格便宜的目的。为了实现上述目的本实用新型采取的技术方案是:一种坩埚熔炼炉，包括炉体、炉盖、石墨电极和导气管，所述导气管设置在坩埚熔炼炉一侧，导气管后端与坩埚熔炼炉一侧的排架固定连接，导气管前端在炉盖上方、向下斜向设置；所述导气管包括后部主导气管和前部叉形导气分管，所述叉形导气分管呈U形，叉形导气分管的U形底部与主导气管相通，叉形导气分管与主导气管为一体结构；叉形导气分管和主导气管的直径相等，均为5-7_ ；所述主导气管长为15-25cm，叉形导气分管的2根分支管长度相等，为10-20cm，叉形导气分管的2根分支管之间的距离为8-12cm ;叉形导气分管设置在炉盖上方，叉形导气分管的管口对向石墨电极。所述叉形导气分管的2根分支管关于主导气管轴线对称设置；叉形导气分管的2根分支管的管口呈椭圆形。所述主导气管和叉形导气分管的直径为6mm ;所述主导气管长为20cm，叉形导气分管的2根分支管的长度相等,为15cm、叉形导气分管的2根分支管之间的距尚为10cm。所述导气管与水平方向的夹角为10°。所述主导气管和叉形导气分管的材质均为石英玻璃。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:(I)吹风口由I个变为2个，且叉形导气分管的2根分支管的管口呈椭圆形，使吹风更均匀、效果更好；(2)石英玻璃材质的导气管质量轻、耐腐蚀、耐高温，使用寿命长；(3)材质均为石英玻璃的导气管技术填补国内技术空白，价格便宜，降低了国内半导体材料生产厂家的成本，提高了产品的国际竞争力。
图1-1是:导气管主视图；图1-2是:导气管俯视图；图2是:本实用新型工作状态图；附图标记说明:1炉体、2炉盖、3石墨电极、4导气管、41主导气管、42叉形导气分管、421管口。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实用新型的限定。如图1-1至图2所示，一种坩埚熔炼炉，包括炉体1、炉盖2、石墨电极3和导气管4，所述导气管4设置在坩埚熔炼炉一侧，导气管4后端与坩埚熔炼炉一侧的排架(图中未显示)固定连接，导气管4前端在炉盖2上方、向下斜向设置；所述导气管4包括后部主导气管41和前部叉形导气分管42，所述叉形导气分管42呈U形，叉形导气分管42的U形底部与主导气管41相通，叉形导气分管42与主导气管41为一体结构；叉形导气分管42和主导气管41的直径相等，均为6mm ;所述主导气管41长为20cm，叉形导气分管42的2根分支管长度相等，为15cm，叉形导气分管42的2根分支管之间的距离为IOcm ;叉形导气分管42设置在炉盖2上方，叉形导气分管42的管口 421对向石墨电极3。所述叉形导气分管42的2根分支管关于主导气管41轴线对称设置；叉形导气分管42的2根分支管的管口 421呈椭圆形。所述导气管4与水平方向的夹角α为10°。所述主导气管41和叉形导气分管42的材质均为石英玻璃。以上所述的实施例，只是本实用新型较优选的具体实施方式
的一种，本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种坩埚熔炼炉，包括炉体、炉盖、石墨电极和导气管，所述导气管设置在坩埚熔炼炉一侧，导气管后端与坩埚熔炼炉一侧的排架固定连接，导气管前端在炉盖上方、向下斜向设置；其特征在于:所述导气管包括后部主导气管和前部叉形导气分管，所述叉形导气分管呈U形，叉形导气分管的U形底部与主导气管相通，叉形导气分管与主导气管为一体结构；叉形导气分管和主导气管的直径相等，均为5-7mm ;所述主导气管长为15_25cm，叉形导气分管的2根分支管长度相等，为10-20cm，叉形导气分管的2根分支管之间的距离为8-12cm;叉形导气分管设置在炉盖上方，叉形导气分管的管口对向石墨电极。
2.根据权利要求1所述的一种坩埚熔炼炉，其特征在于:所述叉形导气分管的2根分支管关于主导气管轴线对称设置；叉形导气分管的2根分支管的管口呈椭圆形。
3.根据权利要求1所述的一种坩埚熔炼炉，其特征在于:所述主导气管和叉形导气分管的直径为6mm ;所述主导气管长为20cm,叉形导气分管的2根分支管长度相等，为15cm、叉形导气管的2根分支管之间的距离为10cm。
4.根据权利要求1所述的一种坩埚熔炼炉，其特征在于:所述导气管与水平方向的夹角为10。ο
5.根据权利要求1所述的一种坩埚熔炼炉，其特征在于:所述主导气管和叉形导气分管的材质均为石英玻璃。
专利摘要一种坩埚熔炼炉，属于坩埚炉技术领域，包括炉体、炉盖、石墨电极和导气管，导气管设置在坩埚熔炼炉一侧，导气管后端与坩埚熔炼炉一侧的排架固定连接，导气管前端在炉盖上方、向下斜向设置；导气管包括后部主导气管和前部叉形导气分管，叉形导气分管呈U形，叉形导气分管与主导气管为一体结构；叉形导气分管和主导气管的直径相等，均为5-7mm；主导气管长为15-25cm，叉形导气分管的2根分支管长度相等，为10-20cm，叉形导气分管的2根分支管之间的距离为8-12cm。本实用新型的有益效果是吹风更均匀、效果更好；导气管材质为石英玻璃，质量轻、耐腐蚀、耐高温、使用寿命长，并降低了成本。
文档编号F27B14/08GK203011136SQ20122071054
公开日2013年6月19日 申请日期2012年11月27日 优先权日2012年11月27日
发明者王文庆, 王定永 申请人:宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司