坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉的制作方法

文档序号:8062846阅读:299来源:国知局
专利名称:坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种单晶硅生产设备技术领域,特别涉及一种坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制过程中,遇突然断电时,需手动操作使坩埚下降,防止坩埚内硅液与晶棒接触,带来更大的损失,现有技术中常见的坩埚手动装置,都是将手轮直接安装在减速机上,而减速机位于炉体的下部,因此操作不方便,同时操作也不灵活,且维修复杂。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术中的一些技术问题,提供一种控制和执行动作准确、灵敏、可靠性高、且容易维修的坩埚手动装置。还有必要提供一种采用坩埚手动装置的单晶炉。为解决上述技术问题,本实用新型提供了如下技术方案坩埚手动装置包括手轮、 手轮支架、手轮轴、轴承、轴承座、传动部件、减速机和输出装置,手轮安装于手轮轴的一端, 手轮轴另一端上固定安装轴承,轴承安装于轴承座内,轴承座安装于手轮支架上;传动部件包括主动同步带轮、同步带、从动同步带轮、主动同步带轮通过键配合安装在手轮轴上,从动同步带轮安装在减速机上,同步带连接主动同步带轮和从动同步带轮。本实用新型的有益效果在于在单晶炉拉晶过程中,采用坩埚手动装置,降低了生产成本;通过传动部件,方便操作,彻底解决了原技术作业产生的晶棒未及时脱离而结晶的现象,且维修方便。

图1是本实用新型坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉前视图;图2是本实用新型坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉右视图。图中坩埚手动装置10、手轮1、手轮支架2、手轮轴3、轴承4、轴承座5、传动部件6、主动同步带轮61、同步带62、从动同步带轮63、减速机7、输出装置8
具体实施方式
本实用新型在单晶炉上设置坩埚手动装置,请参看图1、图2,坩埚手动装置10包括手轮1、手轮支架2、手轮轴3、轴承4、轴承座5、传动部件6、减速机7和输出装置8,手轮 1安装于手轮轴3的一端,手轮轴3另一端上固定安装轴承4,轴承4安装于轴承座5内,轴承座5安装于手轮支架2上;传动部件6包括主动同步带轮61、同步带62和从动同步带轮 63、主动同步带轮61通过键配合安装在手轮轴3上,从动同步带轮63安装在减速机7上, 同步带62连接主动同步带轮61和从动同步带轮63。 以下描述坩埚手动装置10的工作过程工人转动手轮1,带动主动同步带轮61转动,从而带动从动同步带轮63转动,进一步带动减速机7工作,减速机7带动输出装置8移动,从而将安装于输出装置8上的坩埚移动。
权利要求1. 一种坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉,其特征在于坩埚手动装置包括手轮、手轮支架、手轮轴、轴承、轴承座、传动部件、减速机和输出装置,手轮安装于手轮轴的一端,手轮轴另一端上固定安装轴承,轴承安装于轴承座内,轴承座安装于手轮支架上 ’传动部件包括主动同步带轮、同步带、从动同步带轮、主动同步带轮通过键配合安装在手轮轴上,从动同步带轮安装在减速机上,同步带连接主动同步带轮和从动同步带轮。
专利摘要本实用新型涉及一种坩埚手动装置及采用坩埚手动装置的单晶炉,坩埚手动装置包括手轮、手轮支架、手轮轴、轴承、轴承座、传动部件、减速机和输出装置,手轮安装于手轮轴的一端,手轮轴另一端上固定安装轴承,轴承安装于轴承座内,轴承座安装于手轮支架上;传动部件包括主动同步带轮、同步带、从动同步带轮、主动同步带轮通过键配合安装在手轮轴上,从动同步带轮安装在减速机上,同步带连接主动同步带轮和从动同步带轮;本实用新型的有益效果在于在单晶炉拉晶过程中,采用单晶炉的坩埚手动装置,降低了生产成本;通过传动部件,方便操作,彻底解决了原技术作业产生的晶棒未及时脱离而结晶的现象,便于维修。
文档编号C30B15/10GK202220216SQ201120278359
公开日2012年5月16日 申请日期2011年8月2日 优先权日2011年8月2日
发明者吴学军, 周凯平 申请人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1