专利名称：单晶炉坩埚防尘装置的制作方法
技术领域：
单晶炉坩埚防尘装置属于机电技术领域，特别涉及多晶硅转化为单晶硅拉制过程中单晶炉坩埚防尘。
技术背景单晶炉是多晶硅转化为单晶硅エ艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料；单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制前，利用单晶炉坩埚防尘装置可防止作业杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；众所周知，目前单晶炉坩埚装置，采用防尘装置密固性能差，容易造成设备损坏，晶棒精度低等现象。 发明的内容本实用新型单晶炉坩埚防尘装置发明目的在于解决单晶炉晶体拉制过程中产生杂质易掉入磁流体、造成设备易损坏问题，设计制造一种与现有技术不同坩埚防尘装置。本实用新型单晶炉坩埚防尘装置是这样实现的含杂质和磁流体，由坩埚轴、压紧套和防尘法兰组成；坩埚轴为水冷焊接件和磁流体同轴心套装，在磁流体上平面和坩埚轴外圆轴面同轴心安装防尘法兰；压紧套套装在防尘法兰外侧并通过螺钉固定在坩埚轴上。在硅单晶拉制过程中，利用单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，导致磁流体卡死、不旋转，影响拉晶质量。本实用新型单晶炉坩埚防尘装置的有益效果是在硅单晶拉制过程中，单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；降低成本，提高作业效率。
附图为本实用新型单晶炉坩埚防尘装置示意图。图中坩埚轴I、压紧套2、杂质3、磁流体4、防尘法兰5。
具体实施方式
本实用新型单晶炉坩埚防尘装置，含杂质3和磁流体4，由坩埚轴I、压紧套2和防尘法兰5组成；坩埚轴I为水冷焊接件和磁流体4同轴心套装，在磁流体4上平面和坩埚轴I外圆轴面同轴心安装防尘法兰5 ;压紧套2套装在防尘法兰5外侧并通过螺钉固定在坩埚轴I上。
权利要求1.单晶炉坩埚防尘装置，其特征在于含杂质(3)和磁流体(4)，由坩埚轴(I)、压紧套(2)和防尘法兰(5)组成甘埚轴⑴为水冷焊接件和磁流体⑷同轴心套装，在磁流体(4)的上平面和坩埚轴(I)外圆轴面同轴心安装防尘法兰(5);压紧套(2)套装在防尘法兰(5)外侧并通过螺钉固定在坩埚轴(I)上。
专利摘要单晶炉坩埚防尘装置属于冶炼机电技术领域，特别涉及多晶硅转化为单晶硅拉制过程中单晶炉坩埚防尘；含杂质和磁流体，由坩埚轴、压紧套和防尘法兰组成；坩埚轴为水冷焊接件和磁流体同轴心套装，在磁流体的上平面和坩埚轴外圆轴面同轴心安装防尘法兰；压紧套套装在防尘法兰外侧并通过螺钉固定在坩埚轴上；在硅单晶拉制前，单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；降低成本，提高作业效率。
文档编号C30B15/00GK202390562SQ20112045817
公开日2012年8月22日 申请日期2011年11月18日 优先权日2011年11月18日
发明者吴学军, 周凯平 申请人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司