单晶炉埚升快慢速控制机构的制作方法

文档序号:8190615阅读:634来源:国知局
专利名称:单晶炉埚升快慢速控制机构的制作方法
技术领域
本实用新型涉及单晶炉坩埚升降技术领域,具体涉及一种单晶炉埚升快慢速控制机构。
背景技术
直拉法单晶炉在工作中,坩埚升降运动分为很多个速度等级,可以大致归类为快慢速两种。当前期开炉装料时,坩埚要快速降至最低位;当高温加热熔化硅料时,随着液面的下降,坩埚要不断上升;在拉晶过程中,坩埚要带动熔硅跟随籽晶拉速慢速上升;在晶体生长结束收尾时,坩埚要快速下降,使埚底剩余硅料与固体晶棒脱离。上述众多运动中,前期装料降坩埚至最低埚位时为最高速,坩埚跟随籽晶拉速时为最低速,此两种速度相差大约为1000倍左右,超出伺服电机的调控范围。目前大多数单晶炉埚升机构,普遍采用两个电机来分别控制快慢速运动,通过电磁离合器进行快慢速的切换,此款机构无论从结构、安 装固定、还有电器控制都比较复杂,且安装后精度调整不易保证,不仅影响最终埚升速度的精度,还有可能导致电机,或者减速机,或者电磁离合器由于装配精度差而出故障。
发明内容为了克服上述现有技术存在的缺点,本实用新型的目的在于提供一种单晶炉埚升快慢速控制机构,具有结构简单、易调节、易控制且埚升速度控制的精度高的特点。为达到上述目的,本实用新型采用以下技术方案一种单晶炉埚升快慢速控制机构,包括电机1,电机I通过联轴器3与减速机5连接,电机I与减速机5同轴,减速机5输入端安装有第一带轮4,输出端安装有第二带轮6,第一带轮4通过第一皮带7与第三带轮8连接,第三带轮8安装在双向离合器13左端,双向离合器13右端安装有第四带轮10和第五带轮11,第五带轮11安装在第四带轮10的外面,第二带轮6通过第二皮带9与第四带轮10连接,第五带轮11通过第三皮带12将运动传递给埚升机构。所述电机I安装在支架2上,支架2、减速机5及双向离合器13均安装在支架14上。本实用新型和现有技术相比具有如下优点I、采用单电机I和双向离合器13结构,通过双向离合器13实现快慢速运动转换,具有结构简单、易调节、易控制且埚升速度控制的精度高的特点。2、电机I安装在支架2上,支架2、减速机5、双向离合器13安装在支架14上,装配简单,装配中,只需调整支架2,保证电机I与减速机5同轴,降低了双向离合器13与减速机5的安装精度要求,安装精度易于调整保证,由此可降低电机I、减速机2及双向离合器13的故障发生率,最终提闻祸升运动精度。

[0010]附图是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作更详细说明。如附图所示,本实用新型一种单晶炉埚升快慢速控制机构,包括电机1,电机I安装在支架2上,电机I通过联轴器3与减速机5连接,电机I与减速机5同轴,减速机5输入端安装有第一带轮4,输出端安装有第二带轮6,第一带轮4通过第一皮带7与第三带轮8连接,第三带轮8安装在双向离合器13左端,双向离合器13右端安装有第四带轮10和第五带轮11,第五带轮11安装在第四带轮10的外面,第二带轮6通过第二皮带9与第四带轮10连接,第五带轮11通过第三皮带12将运动传递给埚升机构。电机I安装在支架2上,支架2、减速机5及双向离合器13均安装在支架14上。本实用新型的工作原理为快速升降时,双向离合器13左端安装带轮8的轴与安 装第五带轮11的轴连通,电机I通过联轴器3、第一带轮4、第一皮带7、第三带轮8,第五带轮11以及第三皮带12将运动传递给埚升机构;慢速升降时,双向离合器13右端安装的第四带轮10的轴与安装第五带轮11的轴连通,电机I通过联轴器3、減速机5、第二带轮6、第ニ皮带9、第四带轮10,第五带轮11以及第三皮带12将运动传递给埚升机构。
权利要求1.一种单晶炉埚升快慢速控制机构,其特征在干包括电机(1),电机(I)通过联轴器(3)与减速机(5)连接,电机⑴与减速机(5)同轴,减速机(5)输入端安装有第一带轮(4),输出端安装有第二带轮¢),第一带轮(4)通过第一皮带(7)与第三带轮(8)连接,第三带轮(8)安装在双向离合器(13)左端,双向离合器(13)右端安装有第四带轮(10)和第五带轮(11),第三带轮(8)安装在双向离合器(13)左端,双向离合器(13)右端安装有第四带轮(10)和第五带轮(11),第五带轮(11)安装在第四带轮(10)的外面,第二带轮(6)通过第二皮带(9)与第四带轮(10)连接,第五带轮(11)通过第三皮带(12)将运动传递给埚升机构。
2.根据权利要求I所述的单晶炉埚升快慢速控制机构,其特征在于所述电机(I)安装在支架(2)上,支架(2)、减速机(5)及双向离合器(13)均安装在支架(14)上。
专利摘要一种单晶炉埚升快慢速控制机构,包括电机,电机通过联轴器与减速机连接,电机与减速机同轴,减速机输入端安装有第一带轮,输出端安装有第二带轮,第一带轮通过第一皮带与第三带轮连接,第三带轮安装在双向离合器左端,双向离合器右端安装有第四带轮和第五带轮,第五带轮安装在第四带轮的外面,第二带轮通过第二皮带与第四带轮连接,第五带轮通过第三皮带将运动传递给埚升机构;采用单电机和双向离合器结构,通过双向离合器实现快慢速运动转换,具有结构简单、易调节、易控制且埚升速度控制精度高的特点。
文档编号C30B15/20GK202430330SQ20112056781
公开日2012年9月12日 申请日期2011年12月21日 优先权日2011年12月21日
发明者时刚, 武海军 申请人:西安创联新能源设备有限公司
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