一种用于单晶炉的端盖的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于单晶炉的端盖，包括端盖主体和观察窗，所述的端盖主体内设置有密封腔体，所述的观察窗安装在端盖主体的中心处，所述观察窗两侧的端盖主体的底部分别设置有一个探照灯，所述端盖主体的底部设置有过流通道，所述的过流通道与密封腔体相连通，所述的过流通道内设置有过流阀，所述端盖主体的顶部设置有出气通道，所述的出气通道与密封腔体相连通，所述出气通道的出口处连接有气体过滤装置。本设计通过过流阀来对单晶炉起到自我保护的功能，防止单晶炉内气体压强过大而造成自身结构的损坏。
【专利说明】
一种用于单晶炉的端盖
技术领域
[0001]本实用新型涉及单晶炉装置技术领域，特别是一种用于单晶炉的端盖。
【背景技术】
[0002]目前使用的单晶炉的炉盖基本都设有观察窗，但观察窗都是与炉盖固定在一起的，无法全方位地观察单晶炉内的单晶的生长情况，若无法及时调整相应的参数，将会影响晶体的生产质量。因此，如何能够全面的观察单晶炉内的单晶完整的生成情况是一个值得关注的问题。
【发明内容】
[0003]本实用新型需要解决的技术问题是通过过流阀来对单晶炉起到自我保护的功能，防止单晶炉内气体压强过大而造成自身结构的损坏;提供一种用于单晶炉的端盖。
[0004]为解决上述的技术问题，本实用新型的结构包括端盖主体和观察窗，所述的端盖主体内设置有密封腔体，所述的观察窗安装在端盖主体的中心处，所述观察窗两侧的端盖主体的底部分别设置有一个探照灯，所述端盖主体的底部设置有过流通道，所述的过流通道与密封腔体相连通，所述的过流通道内设置有过流阀，所述端盖主体的顶部设置有出气通道，所述的出气通道与密封腔体相连通，所述出气通道的出口处连接有气体过滤装置。
[0005]进一步:所述的过流阀包括阀筒、阀盖、弹簧和阀芯，所述的阀筒位于过流通道内，所述的阀盖连接在阀筒的一侧，所述的阀芯活动连接在阀筒内的另一侧，所述的阀芯通过弹簧与阀盖相连，所述的阀筒的侧壁上开设有溢流通道，所述的阀盖上相对于溢流通道的位置设置有溢流孔。
[0006]又进一步:所述的气体过滤装置包括活性炭过滤器和气体采集袋，所述的出气通道通过活性炭过滤器与气体采集袋相连。
[0007]采用上述结构后，本实用新型通过过流阀来对单晶炉起到自我保护的功能，防止单晶炉内气体压强过大而造成自身结构的损坏;而且本设计还能把排放出去的气体除杂后收集起来进行重复使用，从而减少了不必要的损失;并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
【附图说明】
[0008]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0009]图1为本实用新型的结构示意图。
[00?0]图2为过流阀的结构不意图。
【具体实施方式】
[0011]如图1所示的一种用于单晶炉的端盖，包括端盖主体I和观察窗2，所述的端盖主体I内设置有密封腔体5，所述的观察窗2安装在端盖主体I的中心处，所述观察窗2两侧的端盖主体I的底部分别设置有一个探照灯4，所述端盖主体I的底部设置有过流通道3，所述的过流通道3与密封腔体5相连通，所述的过流通道内设置有过流阀8，所述端盖主体I的顶部设置有出气通道6，所述的出气通道6与密封腔体5相连通，所述出气通道6的出口处连接有气体过滤装置7。工作时，当单晶炉内的气压过高时，过流阀8则会自行启动，把单晶炉内的高压气体通过过流通道输送进密封腔体5内，然后这部分气体在通过出气通道6流入气体过滤装置7内。本设计通过过流阀来对单晶炉起到自我保护的功能，防止单晶炉内气体压强过大而造成自身结构的损坏;并且本设计在端盖主体I的中心处设置设置有观察窗2，而且在观察窗2两侧的端盖主体I的底部还分别设置有一个探照灯4，工作人员可以打开探照灯4，然后通过观察窗2观察单晶炉内的内部情况，此设计能够起到便于工作人员发现故障的作用；并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
[0012]如图2所示的过流阀8包括阀筒9、阀盖10、弹簧12和阀芯11，所述的阀筒9位于过流通道3内，所述的阀盖10连接在阀筒9的一侧，所述的阀芯11活动连接在阀筒9内的另一侧，所述的阀芯11通过弹簧12与阀盖10相连，所述的阀筒9的侧壁上开设有溢流通道13，所述的阀盖10上相对于溢流通道13的位置设置有溢流孔14。当单晶炉内的压强过大时，单晶炉内的气体会自动挤压阀芯11，使阀芯11挤压弹簧12沿着阀筒9向上运动，随着阀芯11不断向上运动，当溢流通道13与单晶炉的内部空间相连通后，单晶炉内的高压气体会依次通过溢流通道13和溢流孔14流入密封腔体5内，然后再通过出气通道6流入气体过滤装置7内，从而起到降低单晶炉内压强的作用。当单晶炉内的压强降低后，此时弹簧12提高的弹力大于气体提高的压力时，弹簧12会推着阀芯11向反方向运动，重新堵塞溢流通道13，此时单晶炉内的气体就不会在自动流出。本设计通过过流阀来对单晶炉起到自我保护的功能，防止单晶炉内气体压强过大而造成自身结构的损坏。
[0013]如图1所示的气体过滤装置7包括活性炭过滤器和气体采集袋，所述的出气通道6通过活性炭过滤器与气体采集袋相连。本设计先通过活性炭过滤器对溢流出的气体进行除杂，然后由气体采集袋把排放出的气体进行收集做重复使用，起到了减少不必要损失的作用。
【主权项】
1.一种用于单晶炉的端盖，其特征在于:包括端盖主体(I)和观察窗(2)，所述的端盖主体(I)内设置有密封腔体(5)，所述的观察窗(2)安装在端盖主体(I)的中心处，所述观察窗(2)两侧的端盖主体(I)的底部分别设置有一个探照灯(4)，所述端盖主体(I)的底部设置有过流通道(3)，所述的过流通道(3)与密封腔体(5)相连通，所述的过流通道内设置有过流阀(8)，所述端盖主体(I)的顶部设置有出气通道(6)，所述的出气通道(6)与密封腔体(5)相连通，所述出气通道(6)的出口处连接有气体过滤装置(7)。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的端盖，其特征在于:所述的过流阀(8)包括阀筒(9)、阀盖(10)、弹簧(12)和阀芯(11)，所述的阀筒(9)位于过流通道(3)内，所述的阀盖(10)连接在阀筒(9)的一侧，所述的阀芯(11)活动连接在阀筒(9)内的另一侧，所述的阀芯(11)通过弹簧(12)与阀盖(10)相连，所述的阀筒(9)的侧壁上开设有溢流通道(13)，所述的阀盖(10)上相对于溢流通道(13)的位置设置有溢流孔(14)。3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的端盖，其特征在于:所述的气体过滤装置(7)包括活性炭过滤器和气体采集袋，所述的出气通道(6)通过活性炭过滤器与气体采集袋相连。
【文档编号】C30B15/00GK205556845SQ201520789627
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2015年10月13日
【发明人】潘清跃, 王平
【申请人】江苏华盛天龙光电设备股份有限公司