一种单晶炉的炉体的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种单晶炉的炉体，包括炉体外壳，底座和炉筒，所述的炉筒是由内炉筒和外炉筒所组成，所述的内炉筒位于外炉筒内并不与外炉筒相接触，所述的内炉筒外侧设置有保温衬筒，所述的保温衬筒与外炉筒之间存有间隙，所述的内炉筒内开设有倒圆台型存料腔体，所述的外炉筒内安装有加热装置，所述的外炉筒与第一升降机构相连，所述的内炉筒与第二升降机构相连，所述炉体外壳的底部设置有进料口，所述的进料口位于存料腔体的正上方。本设计通过给位于外炉筒内的感应线圈通电，利用感应线圈产生的感应涡流进行加热，大大提高了单机炉的加热效率。
【专利说明】
一种单晶炉的炉体
技术领域
[0001]本实用新涉及型单晶硅的生产制造设备技术领域，特别是一种单晶炉的炉体。
【背景技术】
[0002]单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、下炉体、上炉体、上炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。
[0003]以往的上炉体和下炉体之间连接时，是将下炉体顶部设置成凸台状，再将上炉体直接盖在下炉体顶部，这样便完成了固定。但是此类的单晶炉炉体存在着很大的局限性，无法满足现代化工业生产需要。
【发明内容】
[0004]本实用新型需要解决的技术问题是通过给位于外炉筒内的感应线圈通电，利用感应线圈产生的感应涡流进行加热，大大提高了单机炉的加热效率;提供一种单晶炉的炉体。
[0005]为解决上述的技术问题，本实用新型的结构包括炉体外壳，底座和炉筒，所述的炉筒是由内炉筒和外炉筒所组成，所述的内炉筒位于外炉筒内并不与外炉筒相接触，所述的内炉筒外侧设置有保温衬筒，所述的保温衬筒与外炉筒之间存有间隙，所述的内炉筒内开设有倒圆台型存料腔体，所述的外炉筒内安装有加热装置，所述的外炉筒与第一升降机构相连，所述的内炉筒与第二升降机构相连，所述炉体外壳的底部设置有进料口，所述的进料口位于存料腔体的正上方。
[0006]进一步:所述的第一升降机构包括气缸、升降板和开设在底座上环形导向槽，所述的环形导向槽与外炉筒的形状相匹配，所述的气缸固定安装在底座上，所述的气缸通过升降板连接在外炉筒的外侧。
[0007]又进一步:所述的第二升降机构包括电机、滚珠丝杠、联轴器和滚珠丝杠螺母，所述的电机安装在底内，所述的电机通过联轴器与滚珠丝杠相连，所述的滚珠丝杠穿过内炉筒连接在炉体外壳的顶部，所述的滚珠丝杠通过轴承与炉体外壳的顶部相连，所述的滚珠丝杠上套装有滚珠丝杠螺母，所述的滚珠丝杠螺母连接在内炉筒的底部。
[0008]再进一步:所述的加热装置为感应线圈。
[0009]采用上述结构后，本实用新型通过给位于外炉筒内的感应线圈通电，利用感应线圈产生的感应涡流进行加热，大大提高了单机炉的加热效率;而且本设计还具有结构简单、易于制造和实用尚效的优点。
【附图说明】
[0010]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0011]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]如图1所示的一种单晶炉的炉体，其特征在于:包括炉体外壳I，底座2和炉筒，所述的炉筒是由内炉筒4和外炉筒5所组成，所述的内炉筒4位于外炉筒5内并不与外炉筒5相接触，所述的内炉筒4外侧设置有保温衬筒5，所述的保温衬筒5与外炉筒5之间存有间隙，所述的内炉筒4内开设有倒圆台型存料腔体，所述的外炉筒5内安装有加热装置，所述的外炉筒5与第一升降机构相连，所述的内炉筒4与第二升降机构相连，所述炉体外壳I的底部设置有进料口 9，所述的进料口 9位于存料腔体的正上方。工作时先启动第二升降机构使其带着内炉筒4向上升，使内炉筒4靠近进料口9，起到便于进料的作用，然后反向启动第二升降机构把内炉筒4输送到原位，然后启动第一升降机构使其带着外炉筒5向上升，从而使内炉筒4位于外炉筒5内，启动加热装置对内炉筒4内的原料进行加热，本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
[0013]如图1所示的第一升降机构包括气缸7、升降板8和开设在底座2上环形导向槽8，所述的环形导向槽8与外炉筒5的形状相匹配，所述的气缸7固定安装在底座2上，所述的气缸通过升降板8连接在外炉筒5的外侧。当需要对外炉筒5向上升时，启动气缸7使其带着升降板8向上运动，由于升降板8固定连接在外炉筒5的外侧，所以外炉筒5在升降板8的作用下会沿着环形导向槽8向上升，从而使内炉筒4位于外炉筒5内。
[0014]如图1所示的第二升降机构包括电机10、滚珠丝杠12、联轴器11和滚珠丝杠螺母14，所述的电机10安装在底座2内，所述的电机10通过联轴器11与滚珠丝杠12相连，所述的滚珠丝杠12穿过内炉筒4连接在炉体外壳I的顶部，所述的滚珠丝杠12通过轴承与炉体外壳I的顶部相连，所述的滚珠丝杠12上套装有滚珠丝杠螺母14，所述的滚珠丝杠螺母14连接在内炉筒4的底部。当需要对内炉筒4的高度进行调节时，启动电机1使其通过联轴器11带着滚珠丝杠12进行转动，滚珠丝杠螺母14在滚珠丝杠12转动的过程中会沿着滚珠丝杠12进行竖直方向上的移动，内炉筒4在滚珠丝杠螺母14的带动下也会沿着滚珠丝杠12进行竖直方向上的运动。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
[0015]如图1所示的加热装置为感应线圈15。本设计通过给位于外炉筒内的感应线圈通电，利用感应线圈产生的感应涡流进行加热，大大提高了单机炉的加热效率。
【主权项】
1.一种单晶炉的炉体，其特征在于:包括炉体外壳(I)，底座(2)和炉筒，所述的炉筒是由内炉筒(4)和外炉筒(5)所组成，所述的内炉筒(4)位于外炉筒(5)内并不与外炉筒(5)相接触，所述的内炉筒(4)外侧设置有保温衬筒(5)，所述的保温衬筒(5)与外炉筒(5)之间存有间隙，所述的内炉筒(4)内开设有倒圆台型存料腔体，所述的外炉筒(5)内安装有加热装置，所述的外炉筒(5)与第一升降机构相连，所述的内炉筒(4)与第二升降机构相连，所述炉体外壳(I)的底部设置有进料口(9)，所述的进料口(9)位于存料腔体的正上方。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉体，其特征在于:所述的第一升降机构包括气缸(7)、升降板(8)和开设在底座(2)上环形导向槽(8)，所述的环形导向槽(8)与外炉筒(5)的形状相匹配，所述的气缸(7)固定安装在底座(2)上，所述的气缸通过升降板(8)连接在外炉筒(5)的外侧。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉体，其特征在于:所述的第二升降机构包括电机(10)、滚珠丝杠(12)、联轴器(11)和滚珠丝杠螺母(14)，所述的电机(10)安装在底座(2)内，所述的电机(10)通过联轴器(11)与滚珠丝杠(12)相连，所述的滚珠丝杠(12)穿过内炉筒(4)连接在炉体外壳(I)的顶部，所述的滚珠丝杠(12)通过轴承与炉体外壳(I)的顶部相连，所述的滚珠丝杠(12)上套装有滚珠丝杠螺母(14)，所述的滚珠丝杠螺母(14)连接在内炉筒(4)的底部。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉体，其特征在于:所述的加热装置为感应线圈(15)。
【文档编号】C30B15/00GK205556844SQ201520789123
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2015年10月13日
【发明人】潘清跃, 王平
【申请人】江苏华盛天龙光电设备股份有限公司