一种单晶炉的上炉体的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种单晶炉的上炉体，包括上炉体本体，所述上炉体本体上、下两端分别设有上、下连接件，上炉体本体包括內炉体和外炉体，外炉体和內炉体之间形成有冷却腔体，所述內炉体设置为弧形结构，呈“()”型结构，冷却腔体内设有绕设在内炉体上的螺旋式冷却翅片，外炉体的内壁与冷却翅片相连，外炉体的外壁上设有与冷却腔体相连的进水口和出水口。本发明具有结构简单，使用寿命长，能够散热等特点。
【专利说明】一种单晶炉的上炉体
【技术领域】
[0001]本发明涉及单晶硅生产设备【技术领域】，特别涉及一种单晶炉的上炉体。
【背景技术】
[0002]单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛应用于半导体器件以及太阳能电池的制造。单晶硅使用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成的，在市场上有很广阔的前景。目前单晶硅的拉制装置为单晶炉，它是由上炉体、下炉室、上炉室、炉盖、翻板箱、副室六大部分组成，目前普遍采用的单晶炉的上炉体只有单层炉壁，由于在单晶炉的工作过程中长时间处于高温状态，会将上炉体烧坏，造成很大的损失。
【发明内容】
[0003]针对上述问题，本发明的目的是提供一种结构简单，使用寿命长，能够散热的单晶炉的上炉体。
[0004]实现本发明的技术方案如下:
[0005]一种单晶炉的上炉体，包括上炉体本体，所述上炉体本体上、下两端分别设有上、下连接件，上炉体本体包括内炉体和外炉体，外炉体和内炉体之间形成有冷却腔体，所述内炉体设置为弧形结构，呈“ O ”型结构，冷却腔体内设有绕设在内炉体上的螺旋式冷却翅片，外炉体的内壁与冷却翅片相连，外炉体的外壁上设有与冷却腔体相连的进水口和出水口。
[0006]所述进水口设置于紧邻上连接件处，出水口设置于紧邻下连接件处。
[0007]所述进水口与出水口设置在外炉体的同一侧，优点是便于加水和排水。
[0008]所述上、下连接件为上、下法兰，优点是结构简单，便于连接其他装置。
[0009]所述冷却翅片为波纹状结构或为直片式结构，优点是吸热、传热好，散热效果好。
[0010]采用了上述的方案，单晶炉工作时炉体温度较高，通过内炉体上的散热翅片进行吸热传热，这样热量聚集于冷却腔体内，大大降低了内炉体的温度，在通过进水口对冷却腔体内注水可以对上炉体进行冷却，水流沿翅片流动，流动中将冷却腔体内的热量带走，样能够充分的吸收炉体内的温度，提高冷却效率，达到降低炉壁的温度，提高上炉体的使用寿命，内炉体设为弧形结构一方面增大了接触面积，能使温度分散，散热效果较好，另一方面还增加了内炉体内的空间，是容量达到最大。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1为本发明结构示意图；
[0012]图2为本发明中内炉体和冷却翅片的连接示意图；
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和具体实施例对本发明进一步说明。
[0014]如图1和图2，一种单晶炉的上炉体，包括上炉体本体，所述上炉体本体上、下两端分别设有上、下连接件1、2，上炉体本体包括内炉体4和外炉体3，外炉体3和内炉体4之间形成有冷却腔体5，所述内炉体4设置为弧形结构，呈“ O ”型结构，冷却腔体5内设有绕设在内炉体4上的螺旋式冷却翅片8，外炉体3的内壁与冷却翅片8相连，外炉体3的外壁上设有与冷却腔体5相连的进水口 6和出水口 7。
[0015]所述进水口 6设置于紧邻上连接件处，出水口 7设置于紧邻下连接件处。
[0016]所述进水口 6与出水口 7设置在外炉体的同一侧，优点是便于加水和排水。
[0017]所述上、下连接件1、2为上、下法兰，优点是结构简单，便于连接其他装置。
[0018]所述冷却翅片8为波纹状结构或为直片式结构，优点是吸热、传热好，散热效果好。
【权利要求】
1.一种单晶炉的上炉体，包括上炉体本体，其特征在于:所述上炉体本体上、下两端分别设有上、下连接件，上炉体本体包括内炉体和外炉体，外炉体和内炉体之间形成有冷却腔体，所述内炉体设置为弧形结构，呈“ O ”型结构，冷却腔体内设有绕设在内炉体上的螺旋式冷却翅片，外炉体的内壁与冷却翅片相连，外炉体的外壁上设有与冷却腔体相连的进水口和出水口。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的上炉体，其特征在于:所述进水口设置于紧邻上连接件处，出水口设置于紧邻下连接件处。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉的上炉体，其特征在于:所述进水口与出水口设置在外炉体的同一侧。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉的上炉体，其特征在于:所述上、下连接件为上、下法兰。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉的上炉体，其特征在于:所述冷却翅片为波纹状结构或为直片式结构。
【文档编号】C30B29/06GK104451860SQ201410687683
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月25日 优先权日:2014年11月25日
【发明者】马海善 申请人:常州市海豪力智能装备科技有限公司