技术编号:4745704
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。相关申请的交叉引用本申请依据U.S.C.9 119(e)要求申请日为1999年6月17日的美国临时申请第60/139612号的优先权,该临时申请的全部内容作为参考被引入本文中。本申请是申请日为1999年11月10日、申请号为09/438073的申请的部分继续申请,该申请的全部内容作为参考被引入到本文中。 背景技术 连续式炉可应用于许多领域中,例如用于电子元件的制造过程中。这些炉通常设置有一组热处理室或加热室,每个加热室内的温度和气氛组成都受到控制。产品以一...
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