技术编号：4787262
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种吸附设备包括装置平台，所述装置平台的上表面划分有一个或多个吸附区域；每个所述吸附区域凹设有吸附槽，每个所述吸附槽的槽底设置有一个或多个真空处；所述抽真空单元与所述每个真空处相连通；每个所述吸附区域包括p个相互平行的吸附槽。本实用新型的有益效果是在需要固定基板的时候，将基板放置在装置平台上，基板与装置平台的上表面相接触；抽真空单元通过每个真空处对每个吸附槽与基板之间进行抽真空，从而将基板吸附固定在装置平台上。与现有的仅依靠真空处进行吸附固定...
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