技术编号:4799670
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于冷却从外部机器返回的被冷却水并输送到外部机器 的复合散热装置、具备该复合散热装置的冷却单元、及具有多个冷却单元 的冷却装置及其组装体。10背景技术为了冷却半导体制造装置或树脂成形用模具装置等各种装置而使用冷却流体(制冷剂),为了再利用从装置出来的制冷剂,将其冷却到15 30°C。作为将制冷剂冷却到18 29'C左右的装置,例如日本特公平7 —1548032号中提出一种冷却装置,其在同一框体内一体地具有密闭蒸发式冷 却塔和冷却单元,所述密闭蒸...
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