技术编号:4813349
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。冲洗水回收方法及装置本发明涉及一种冲洗水回收方法及装置。背景技术目前,半导体生产中,UPW系统(超纯水系统)中的抛光混床在更换完MBP树脂(精抛光混床树脂)后,需要大量的冲洗水长时间冲洗MBP树脂后才能投入使用。但是,大量的冲洗水在冲洗完MBP树脂后,经由冲洗水排放管路直接排放到WffT系统(废水处理系统)中,然后排外到市政水管路,没有对冲洗水进行回收利用,造成大量的冲洗水浪费,提高了成本,极大的浪费了水资源。发明内容有鉴于此,有必要提供一种对冲洗水进行回...
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