专利名称：冲洗水回收方法及装置的制作方法
冲洗水回收方法及装置
技术领域：
本发明涉及一种冲洗水回收方法及装置。
背景技术：
目前，半导体生产中，UPW系统(超纯水系统)中的抛光混床在更换完MBP树脂(精抛光混床树脂)后，需要大量的冲洗水长时间冲洗MBP树脂后才能投入使用。但是，大量的冲洗水在冲洗完MBP树脂后，经由冲洗水排放管路直接排放到WffT系统(废水处理系统)中，然后排外到市政水管路，没有对冲洗水进行回收利用，造成大量的冲洗水浪费，提高了成本，极大的浪费了水资源。
发明内容有鉴于此，有必要提供一种对冲洗水进行回收的冲洗水回收方法及装置。一种冲洗水回收装置，用于对抛光混床的冲洗水进行回收，包括抛光混床、冲洗水排放管路以及回收水箱；所述冲洗水排放管路连接抛光混床和回收水箱。优选的，所述冲洗水回收装置还包括设置在所述冲洗水排放管路上的第一阀门；所述第一阀门控制所述冲洗水排放管路的导通和关闭。优选的，所述冲洗水回收装置还包括冲洗水分流支路以及第二阀门；所述冲洗水分流支路一端与第一阀门和抛光混床之间的冲洗水排放管路连接，另一端连接至废水处理系统，第二阀门设置在所述冲洗水分流支路上，用于控制冲洗水分流支路的导通与关闭。优选的，所述第一阀门和第二阀门均为电磁阀，所述冲洗水回收装置还包括监测器以及控制器；所述监测器设置在所述回收水箱上，用来监测回收水箱中的水位，所述控制器连接监测器、第一阀门以及第二阀门，在回收水箱水位高于预定水位时，控制第一阀门关闭，第二阀门打开。优选的，所述监测器采用声波监测器。一种冲洗水回收方法，用于对抛光混床的冲洗水进行回收，该方法对抛光混床的冲洗水排放管路进行改造，将冲洗水排放管路连接至回收水箱。优选的，所述冲洗水回收方法还包括在所述冲洗水排放管路上的设置第一阀门的步骤；所述第一阀门控制所述冲洗水排放管路的导通和关闭。优选的，所述冲洗水回收方法还包括设置冲洗水分流支路以及第二阀门的步骤；所述冲洗水分流支路一端与第一阀门和抛光混床之间的冲洗水排放管路连接，另一端连接至废水处理系统，第二阀门设置在所述冲洗水分流支路上，用于控制冲洗水分流支路的导通与关闭。优选的，所述第一阀 门和第二阀门均为电磁阀，所述冲洗水回收方法还包括设置监测器以及控制器的步骤；所述监测器设置在所述回收水箱上，用来监测回收水箱中的水位，所述控制器连接监测器、第一阀门以及第二阀门，在回收水箱水位高于预定水位时，控制第一阀门关闭，第二阀门打开。
优选的，所述监测器采用声波监测器。上述冲洗水回收装置及方法，对冲洗水排放管路的连接进行了改造，冲洗水排放管路连接至回收水箱，回收水箱为生产线机台部分排水净化系统的起始端，能够使冲洗水回收并净化，从而使得冲洗水得到回收利用，避免大量的冲洗水的浪费，大大降低了生产成本，极大的节约了水资源。
图1是一个实施例中冲洗水回收装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明的具体实施方式
进行详细描述。图1是一个实施例中冲洗水回收装置的结构示意图。该冲洗水回收装置对抛光混床100的冲洗水进行回收，包括:抛光混床100、冲洗水排放管路200以及回收水箱300。冲洗水排放管路200连接抛光混床100和回收水箱300。该实施例中，回收水箱300为厂务中原有的。回收水箱300为生产线机台部分排水净化系统的起始端，回收水箱300用于收集生产线机台的部分排水交由生产线机台部分排水净化系统进行纯净后回收利用。该冲洗水回收装置对冲洗水排放管路200的连接进行了改造，冲洗水排放管路200连接至回收水箱300，能够对回收冲洗水，从而使得冲洗水得到回收利用。为控制冲洗水的排放，该装置还包括第一阀门400。第一阀门400设置在冲洗水排放管路200上，控制冲洗水排放管路200的导通与关闭，控制冲洗水的排放。此外，为避免冲洗水进入回收水箱300后，水位过高造成回流等，还需对回收水箱300的水位进行控制。该装置还包括冲洗水分流支路500以及第二阀门600。冲洗水分流支路500 —端与第一阀门400和抛光混床100之间的冲洗水排放管路200连接，另一端连接至废水处理系统(WWT系统)700。第二阀门600设置在冲洗水分流支路500上，用于控制冲洗水分流支路500的导通与关闭。当将冲洗水排放到回收水箱时，打开第一阀门400，关闭第二阀门600 ;当水位过高，超过预定水位时，关闭第一阀门400，打开第二阀门600，冲洗水经由冲洗水分流支路500排放至废水处理系统700即可。进一步的，为智能的控制回收水箱300的水位，第一阀门400和第二阀门600均采用电阀门，该装置还包括监测器800以及控制器900。监测器800设置在厂务回收水箱300上，用来监测回收水箱300中的水位。该实施例中，监测器800采用声波监测器，通过声波反射时间测距的方式监测回收水箱300的水位。控制器900连接监测器800、第一阀门400以及第二阀门600，在回收水箱300水位高于预定水位时，控制第一阀门400关闭，第二阀门600打开。通过监测器800的监测和控制器900的控制，智能的控制回收水箱300的水位，无需人力操作，极大的节约了人力成本。此外，还提供一种冲洗水回收方法，该方法对抛光混床的冲洗水排放管路进行改造，将冲洗水排放管路连接至回收水箱。
该实施例中，回收水箱为厂务中原有的。回收水箱为生产线机台部分排水净化系统的起始端，回收水箱用于收集生产线机台的部分排水交由生产线机台部分排水净化系统进行纯净后回收利用。该方法对冲洗水排放管路的连接进行了改造，冲洗水排放管路连接至回收水箱，从而使得冲洗水得到回收利用。为控制冲洗水的排放，该方法还包括在冲洗水排放管路上设置第一阀门的步骤。第一阀门控制冲洗水排放管路的导通与关闭，控制冲洗水的排放。此外，为避免冲洗水进入回收水箱后，水位过高造成回流等，还需对回收水箱的水位进行控制。该方法还包括设置冲洗水分流支路以及第二阀门的步骤。冲洗水分流支路连接冲洗水排放管路和废水处理系统(WffT系统)，并且与第一阀门和抛光混床之间的冲洗水排放管路连接。第二阀门设置在冲洗水分流支路上，用于控制冲洗水分流支路的导通与关闭。当将冲洗水排放到回收水箱时，打开第一阀门，关闭第二阀门；当水位过高，超过预定水位时，关闭第一阀门，打开第二阀门，使冲洗水经由冲洗水分流支路排放至废水处理系统即可。进一步的，为智能的控制回收水箱的水位，第一阀门和第二阀门均采用电阀门，该方法还包括设置控制器以及监测器的步骤。监测器设置在厂务回收水箱上，用来监测回收水箱中的水位。该实施例中，监测器采用声波监测器，通过反射测距的方式监测回收水箱的水位。控制器连接监测器、第一阀门以及第二阀门，在回收水箱水位高于预定水位时，控制第一阀门关闭，第二阀门打开。通过监测器的监测和控制器的控制，智能的控制回收水箱的水位，无需人力操作。上述冲洗水回收装 置及方法，对冲洗水排放管路的连接进行了改造，冲洗水排放管路连接至回收水箱，回收水箱为生产线机台部分排水净化系统的起始端，能够使冲洗水回收并净化，从而使得冲洗水得到回收利用，避免大量的冲洗水的浪费，大大降低了生产成本，极大的节约了水资源。以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求
1.一种冲洗水回收装置，用于对抛光混床的冲洗水进行回收，其特征在于，包括抛光混床、冲洗水排放管路以及回收水箱；所述冲洗水排放管路连接抛光混床和回收水箱。
2.根据权利要求1所述的冲洗水回收装置，其特征在于，所述冲洗水回收装置还包括设置在所述冲洗水排放管路上的第一阀门；所述第一阀门控制所述冲洗水排放管路的导通和关闭。
3.根据权利要求2所述的冲洗水回收装置，其特征在于，所述冲洗水回收装置还包括冲洗水分流支路以及第二阀门；所述冲洗水分流支路一端与第一阀门和抛光混床之间的冲洗水排放管路连接，另一端连接至废水处理系统，第二阀门设置在所述冲洗水分流支路上，用于控制冲洗水分流支路的导通与关闭。
4.根据权利要求3所述的冲洗水回收装置，其特征在于，所述第一阀门和第二阀门均为电磁阀，所述冲洗水回收装置还包括监测器以及控制器；所述监测器设置在所述回收水箱上，用来监测回收水箱中的水位，所述控制器连接监测器、第一阀门以及第二阀门，在回收水箱水位高于预定水位时，控制第一阀门关闭，第二阀门打开。
5.根据权利要求4所述的冲洗水回收装置，其特征在于，所述监测器采用声波监测器。
6.一种冲洗水回收方法，用于对抛光混床的冲洗水进行回收，其特征在于，该方法对抛光混床的冲洗水排放管路进行改造，将冲洗水排放管路连接至回收水箱。
7.根据权利要求6所述的冲洗水回收方法，其特征在于，所述冲洗水回收方法还包括在所述冲洗水排放管路上的设置第一阀门的步骤；所述第一阀门控制所述冲洗水排放管路的导通和关闭。
8.根据权利要求7所述的冲洗水回收方法，其特征在于，所述冲洗水回收方法还包括设置冲洗水分流支路以及第二阀门的步骤；所述冲洗水分流支路一端与第一阀门和抛光混床之间的冲洗水排放管路连接，另一端连接至废水处理系统，第二阀门设置在所述冲洗水分流支路上，用于控制冲洗水分流支路的导通与关闭。
9.根据权利要求8所述的冲洗水回收方法，其特征在于，所述第一阀门和第二阀门均为电磁阀，所述冲洗水回收方法还包括设置监测器以及控制器的步骤；所述监测器设置在所述回收水箱上，用来监测回收水箱中的水位，所述控制器连接监测器、第一阀门以及第二阀门，在回收水箱水位高于预定水位时，控制第一阀门关闭，第二阀门打开。
10.根据权利要求9所述的冲洗水回收方法，其特征在于，所述监测器采用声波监测器。
全文摘要
本发明涉及一种冲洗水回收装置及方法，该装置用于对抛光混床的冲洗水进行回收，包括抛光混床、冲洗水排放管路以及回收水箱；所述冲洗水排放管路连接抛光混床和回收水箱。本发明对冲洗水排放管路的连接进行了改造，冲洗水排放管路连接至回收水箱，回收水箱为生产线机台部分排水净化系统的起始端，能够使冲洗水回收并净化，从而使得冲洗水得到回收利用，避免大量的冲洗水的浪费，大大降低了生产成本，极大的节约了水资源。
文档编号C02F1/00GK103086444SQ20111034181
公开日2013年5月8日 申请日期2011年11月2日 优先权日2011年11月2日
发明者王诗涛, 陈志正 申请人:无锡华润上华科技有限公司