技术编号:4842247
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于三氯氢硅生产中的废水处理装置,是三氯氢硅生产中处理三氯氢 硅废水中的固体悬浮物使之达标排放的装置。背景技术三氯氢硅生产过程中,总有一部分不凝尾气需要通过水洗排空,这部分尾气的主 要成分为氧气、氮气、氢气、氯化氢和少量三氯氢硅气体。其中氢气含量在70 80%左右, 氯化氢含量在15 25%左右,氮气含量为3 5%,氧气平均为0. 4 1%,三氯氢硅气体 含量为0. 5 %以下。在水洗过程中,由于有氯化氢气体水洗后,水呈酸性,尾气中含有三氯氢 硅...
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