专利名称：三氯氢硅生产中的废水处理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于三氯氢硅生产中的废水处理装置，是三氯氢硅生产中处理三氯氢 硅废水中的固体悬浮物使之达标排放的装置。
背景技术：
三氯氢硅生产过程中，总有一部分不凝尾气需要通过水洗排空，这部分尾气的主 要成分为氧气、氮气、氢气、氯化氢和少量三氯氢硅气体。其中氢气含量在70 80%左右， 氯化氢含量在15 25%左右，氮气含量为3 5%，氧气平均为0. 4 1%，三氯氢硅气体 含量为0. 5 %以下。在水洗过程中，由于有氯化氢气体水洗后，水呈酸性，尾气中含有三氯氢 硅气体，三氯氢硅遇水就会水解生成氯化氢和二氧化硅粉沫，水洗中溶解在水中形成固体 悬浮物。在这部分废处理中，一般先投加石灰中和调节PH值为7 9，中和后水中含有大量 的固体杂质，需经过处理达标才能排放。目前的三氯氢硅废水处理是三氯氢硅废水一般经过缓冲，投加石灰中和PH值到 7 9，经沉淀，上清液外排；沉淀物送回板框式压滤机压滤；其缺点是板框式压滤机压滤为 间断操作设备，操作强度大，更大的缺点是处理量小，处理困难。
实用新型内容本实用新型针对上述技术问题，提出了新型环保的三氯氢硅生产中废水处理装 置，引进了固液分离处理能力大的带式压滤机对三氯氢硅生产废水进行处理，可以连续稳 定地进行固液分离，分离处理能力大，推动三氯氢硅废水综合治理及利用，减低废水排放 量，减轻污染，提高社会经济效益。本实用新型的技术方案如下三氯氢硅生产中的废水处理装置，其特征在于包括依次连通的废水缓冲池、中和 反应池、粗沉池、高位浓缩槽、压滤机和滤液澄清池，粗沉池与高位浓缩槽之间连接有废水 泵，高位浓缩槽与压滤机通过加药混合器连通，加药混合器通过加药泵与助剂配制槽连接。所述中和反应池设置有搅拌装置。所述助剂配制槽为絮凝剂配制槽。所述压滤机和滤液澄清池之间还设置有网带反冲洗水泵，与连通的管道一起形成 循环回路。所述压滤机还连接有空压机。所述滤液澄清池还设置有清水复用泵。所述高位浓缩槽可根据情况设置具体的个数。本实用新型工作时，首先三氯氢硅废水经过废水缓冲池均勻自流进入中和反应 池，然后在中和反应池内投加石灰乳液进行中和，中和反应池的搅拌装置对废水和石灰乳 液搅拌进行中和，中和后PH值控制在7 9，PH值采用PH在线检测仪测定；废水流进滤液 澄清池后，上清液用清水复用泵抽回系统复用，悬浊液用废水泵抽到高位浓缩槽浓缩，清液反回中和反应池，浓缩后的浓缩液进压滤机压滤，滤液澄清后外排，滤饼作固废物处理。本实用新型的有益效果表现在该装置采用了自动化程度较大的带式压滤机来处理三氯氢硅废水的固液分离，分 离效果明显，连续分离处理量大，便于操作，操作平稳且节能；除理后废水清澈透明，不需要 再人工清洗滤网，可连续配制絮凝剂。
图1为本实用新型的结构原理图图2为本实用新型的平面结构图
具体实施方式
如图1-2所示，三氯氢硅生产中的废水处理装置，包括依次连通的废水缓冲池1、 中和反应池2、粗沉池3、高位浓缩槽4、压滤机5和滤液澄清池6，粗沉池3与高位浓缩槽4 之间连接有废水泵7，高位浓缩槽4与压滤机5通过加药混合器8连通，加药混合器8通过 加药泵9与助剂配制槽10连接。高位浓缩槽4设置有两个，其中一个与粗沉池3连通，也 与另一个高位浓缩槽4连接，然后均通过加药混合器8与压滤机5连通。所述中和反应池2设置有搅拌装置。所述助剂配制槽10为絮凝剂配制槽，其特点是在选择絮凝剂时，根据废水的特性 应选择阳离子性的絮凝剂才能起到很好的絮凝效果。所述压滤机5和滤液澄清池6之间还设置有网带反冲洗水泵11，与连通的管道一 起形成循环回路。所述压滤机5还连接有空压机12。所述滤液澄清池6还设置有清水复用泵13。本实用新型工作时，首先三氯氢硅废水经过废水缓冲池均勻自流进入中和反应 池，然后在中和反应池内投加石灰乳液进行中和，中和反应池的搅拌装置对废水和石灰乳 液搅拌进行中和，中和后PH值控制在7 9，PH值采用PH在线检测仪测定；废水流进滤液 澄清池后，上清液用清水复用泵抽回系统复用，悬浊液用废水泵抽到高位浓缩槽浓缩，清液 反回中和反应池，浓缩后的浓缩液进压滤机压滤，滤液澄清后外排，滤饼作固废物处理。本实用新型可以用于处理超大型氯氢硅生产过程中出现的废水，也可用于其它性 质的废水处理，本装置的优势在于一、该装置采用了自动化程度较大的带式压滤机来处理三氯氢硅废水的固液分 离，分离效果明显，连续分离处理量大，便于操作；通过中和池、泵、高位浓缩池、带式压滤机、清水池等，将废水固液分离，除去水中 的固体悬浮物，除理后废水清澈透明；二、带式压滤机滤网采用反冲洗水泵自动冲洗，不需要再人工清洗滤网；三、采用了全自动配药机，可连续配制絮凝剂。投加絮凝剂采用高效的螺杆泵，在 投加时，不破坏絮凝剂分子链，有利于絮凝剂絮凝；四、从高位浓缩池到浓缩液进压滤机采用位差方式，操作平稳且节能。该装置的主要技术指标
4[0032]a、压滤机滤网反冲洗水压力控制在0. 6MPa ；b、废水含固率应控制在3 5 % ；C、絮凝剂配制溶液浓度在千分之二左右；d、滤液清澄；e、滤饼含固率在65 %左右。
权利要求三氯氢硅生产中的废水处理装置，其特征在于包括依次连通的废水缓冲池(1)、中和反应池(2)、粗沉池(3)、高位浓缩槽(4)、压滤机(5)和滤液澄清池(6)，粗沉池(3)与高位浓缩槽(4)之间连接有废水泵(7)，高位浓缩槽(4)与压滤机(5)通过加药混合器(8)连通，加药混合器(8)通过加药泵(9)与助剂配制槽(10)连接。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产中的废水处理装置，其特征在于所述中和反 应池(2)设置有搅拌装置。
3.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产中的废水处理装置，其特征在于所述助剂配 制槽(10)为絮凝剂配制槽。
4.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产中的废水处理装置，其特征在于所述压滤机 (5)和滤液澄清池(6)之间还设置有网带反冲洗水泵(11)，与连通的管道一起形成循环回 路。
5.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产中的废水处理装置，其特征在于所述压滤机 (5)还连接有空压机(12)。
6.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产中的废水处理装置，其特征在于所述滤液澄 清池(6)还设置有清水复用泵(13)。
专利摘要本实用新型公开了三氯氢硅生产中的废水处理装置，包括依次连通的废水缓冲池、中和反应池、粗沉池、高位浓缩槽、压滤机和滤液澄清池，粗沉池与高位浓缩槽之间连接有废水泵，高位浓缩槽与压滤机通过加药混合器连通，加药混合器通过加药泵与助剂配制槽连接；该装置采用了自动化程度较大的带式压滤机来处理三氯氢硅废水的固液分离，分离效果明显，连续分离处理量大，便于操作，操作平稳且节能；除理后废水清澈透明，不需要再人工清洗滤网，可连续配制絮凝剂。
文档编号C02F103/34GK201620084SQ20092029734
公开日2010年11月3日 申请日期2009年12月17日 优先权日2009年12月17日
发明者梁进 申请人:乐山永祥硅业有限公司