技术编号:4848630
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种供水装置,特别是一种单晶炉冷却供水装置。 背景技术在单晶炉中,由于要对原料多硅晶块进行熔化,硅的熔点约为145(TC,所以单晶炉内的 温度是很高的,在生产过程中需要对单晶炉的部分部位进行冷却。现有技术是采用自来水直 接进行冷却,由于自来水中含有的碳酸钙等物质的作用,很容易在单晶炉的水循环通道中形 成水垢,影响冷却效果;另外对单晶炉的腐蚀也很严重。实用新型内容本实用新型的目的在于,提供一种单晶炉冷却供水装置,以降低单晶炉水循环通道中的 水垢...
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