技术编号:4870510
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种抗蚀剂处理液再生方法及其装置,具体涉及一种用于照相平版印刷工艺的抗蚀剂的剥离方法,并涉及一种从抗蚀剂剥离工艺中所产生的含抗蚀剂处理液中分离出抗蚀剂,从而再生抗蚀剂处理液,并将其重新用于抗蚀剂剥离工艺的抗蚀剂处理液的再生方法及其装置。本发明涉及一种在剥离用于形成金属膜图案的抗蚀剂时,能够最大限度地降低对金属膜的腐蚀,且剥离效果和分解效果优秀的抗蚀剂的剥离及分解方法及其装置。背景技术 抗蚀剂(光致抗蚀剂、photo-resist)是在照相平版印刷...
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