技术编号:4904251
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种硅片切割液回收用反应釜。背景技术在硅片切割液回收工艺的脱水工序中,使用的是一种搪瓷玻璃反应釜,需要通过反应釜对脱水液进行加热升温并在负压状态下实现脱水的目的。由于反应釜内的液体量较大,即使在搅拌状态下,由于蒸发面积比较小,脱水的效率也比较低,能耗也较高。发明内容本实用新型的目的是提供提高脱水效率,降低能耗的一种硅片切割液回收用反应釜。本实用新型采取的技术方案是一种硅片切割液回收用反应釜,其特征在于在釜体的底部接有循环管路,循环管路通过循环...
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