专利名称：一种硅片切割液回收用反应釜的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅片切割液回收用反应釜。
背景技术：
在硅片切割液回收工艺的脱水工序中，使用的是一种搪瓷玻璃反应釜，需要通过反应釜对脱水液进行加热升温并在负压状态下实现脱水的目的。由于反应釜内的液体量较大，即使在搅拌状态下，由于蒸发面积比较小，脱水的效率也比较低，能耗也较高。
发明内容本实用新型的目的是提供提高脱水效率，降低能耗的一种硅片切割液回收用反应釜。本实用新型采取的技术方案是一种硅片切割液回收用反应釜，其特征在于在釜体的底部接有循环管路，循环管路通过循环泵再接入釜体顶部，并与设在釜体顶部进口处的喷淋器相接通。采用本实用新型，反应釜内的液体可以不断的经循环管路进行循环，在循环泵的增压下通过顶部的喷淋器后就以喷雾状进入反应釜中，大大的增大了液体的有效蒸发面积，从而提高脱水效率，降低能耗。
图1是本实用新型示意图。图中序号表示进料管1、釜体2、喷淋器3、循环管路4和循环泵5。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步说明。参照图1，该硅片切割液回收用反应釜的釜体2的底部接有循环管路4，循环管路4通过循环泵5再接入釜体2顶部，并与设在釜体2顶部进口处的喷淋器3相接通。使用时，脱水液先从进料管I进入釜体2后，再次通过循环管路4并在循环泵5作用下，再次通过喷淋器3后，以喷雾状进入釜体2中，大大的增大了液体的有效蒸发面积，从而提高脱水效率，降低能耗。
权利要求1.一种硅片切割液回收用反应釜，其特征在于在釜体的底部接有循环管路，循环管路通过循环泵再接入釜体顶部，并与设在釜体顶部进口处的喷淋器相接通。
专利摘要本实用新型涉及一种硅片切割液回收用反应釜，该反应釜的釜体的底部接有循环管路，循环管路通过循环泵再接入釜体顶部，并与设在釜体顶部进口处的喷淋器相接通。采用本实用新型，反应釜内的液体可以不断的经循环管路进行循环，在循环泵的增压下通过顶部的喷淋器后就以喷雾状进入反应釜中，大大的增大了液体的有效蒸发面积，从而提高脱水效率，降低能耗。
文档编号B01J19/00GK202893331SQ20122056774
公开日2013年4月24日 申请日期2012年11月1日 优先权日2012年11月1日
发明者方汉春, 朱荣兴 申请人:浙江晶盛硅晶材料有限公司