硅片切割线自变形装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提出一种硅片切割线自变形装置，包括支撑机构与压型机构，压型机构包括横向支杆与纵向支杆，横向支杆中具有横向槽口，横向槽口内设有横向固定压轮与横向活动压轮，横向槽口侧壁具有横向调节孔，横向支杆外侧设有横向叉形包边，横向活动轴杆末端穿过横向调节孔与横向叉形包边相连，横向叉形包边中部设有横向调节螺栓，纵向支杆中具有纵向槽口，纵向槽口内设有纵向固定压轮与纵向活动压轮，纵向槽口侧壁具有纵向调节孔，纵向支杆外侧设有纵向叉形包边，纵向活动轴杆末端穿过纵向调节孔与纵向叉形包边相连，纵向叉形包边中部设有纵向调节螺栓，纵向调节螺栓抵住纵向支杆末端，通过纵向调节螺栓对纵向活动轴杆进行位置调节。
【专利说明】
硅片切割线自变形装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及硅片生产设备，尤其涉及一种硅片切割线自变形装置。
【背景技术】
[0002]硅片加工工艺流程一般经过晶体生长、切断、外径滚磨、平边、切片、倒角、研磨、腐蚀、抛光、清洗、包装等阶段。近年来光伏发电和半导体行业的迅速发展对硅片的加工提出了更高的要求，一方面为了降低制造成本，硅片趋向大直径化。另一方面要求硅片有极高的平面度精度和极小的表面粗糙度。所有这些要求极大的提高了硅片的加工难度，由于硅材料具有脆、硬等特点，直径增大造成加工中的翘曲变形，加工精度不易保证。厚度增大、芯片厚度减薄造成了材料磨削量大、效率下降等。多线切割技术是近年来崛起的一项新型硅片切割技术，它通过金属丝带动碳化硅研磨料进行研磨加工来切割硅片。和传统的内圆切割相比，多线切割具有切割效率高、材料损耗小、成本降低、硅片表面质量高、可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。多线切割采用的切割线一般为曲线形，以便于携带磨料，需要采用专用设备制作，费时耗力，并且在切割过程中容易变形，失去携料能力，对硅片加工的顺利进行带来不便。因此，有必要对这种切割线变形装置进行结构优化，以克服上述缺陷。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种硅片切割线自变形装置，便于对硅片切割线进行变形处理。
[0004]本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是，
[0005]硅片切割线自变形装置，包括支撑机构与压型机构，压型机构安装于支撑机构上，压型机构包括横向支杆与纵向支杆，横向支杆中具有横向槽口，横向槽口贯穿横向支杆两侧，并沿横向支杆的长度方向延伸，横向槽口内设有横向固定压轮与横向活动压轮，横向固定压轮与横向活动压轮之间具有供切割线通过的间隙，横向固定压轮通过横向固定轴杆安装于横向槽口内，横向活动压轮通过横向活动轴杆安装于横向槽口内，横向槽口侧壁具有横向调节孔，横向活动轴杆位于横向调节孔内，使横向活动轴杆可沿横向调节孔移动，横向支杆外侧设有横向叉形包边，横向活动轴杆末端穿过横向调节孔与横向叉形包边相连，横向叉形包边中部设有横向调节螺栓，横向调节螺栓抵住横向支杆末端，通过横向调节螺栓对横向活动轴杆进行位置调节;纵向支杆中具有纵向槽口，纵向槽口贯穿纵向支杆两侧，并沿纵向支杆的长度方向延伸，纵向槽口内设有纵向固定压轮与纵向活动压轮，纵向固定压轮与纵向活动压轮之间具有供切割线通过的间隙，纵向固定压轮通过纵向固定轴杆安装于纵向槽口内，纵向活动压轮通过纵向活动轴杆安装于纵向槽口内，纵向槽口侧壁具有纵向调节孔，纵向活动轴杆位于纵向调节孔内，使纵向活动轴杆可沿纵向调节孔移动，纵向支杆外侧设有纵向叉形包边，纵向活动轴杆末端穿过纵向调节孔与纵向叉形包边相连，纵向叉形包边中部设有纵向调节螺栓，纵向调节螺栓抵住纵向支杆末端，通过纵向调节螺栓对纵向活动轴杆进行位置调节；
[0006]进一步，支撑机构包括横向基板与纵向基板，纵向基板与纵向支杆分别固定于横向基板两端，横向支杆安装于纵向基板末端;纵向支杆上设有定位板，定位板两端分别具有豁口，豁口内设有紧定螺栓，通过紧定螺栓将定位板与纵向支杆固定连接，定位板中具有供切割线通过的穿线孔。
[0007]本实用新型的优点在于，该硅片切割线自变形装置设置了横向支杆与纵向支杆，横向支杆上设置横向固定压轮与横向活动压轮，竖向支杆上设置竖向固定压轮与竖向活动压轮，切割线既可在横向固定压轮与横向活动压轮之间压紧变形，也可在竖向固定压轮与竖向活动压轮之间压紧变形，安装方便，使用灵活，便于进行切割线压型处理。
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型提出的硅片切割线自变形装置的正面结构示意图；
[0009]图2是该装置的背面结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合图示与具体实施例，进一步阐述本实用新型。
[0011 ]如图1所示，本实用新型提出的硅片切割线自变形装置包括支撑机构与压型机构，压型机构安装于支撑机构上，压型机构包括横向支杆I与纵向支杆2，横向支杆中具有横向槽口 3，横向槽口贯穿横向支杆两侧，并沿横向支杆的长度方向延伸，横向槽口内设有横向固定压轮4与横向活动压轮5，横向固定压轮与横向活动压轮之间具有供切割线通过的间隙，横向固定压轮通过横向固定轴杆6安装于横向槽口内，横向活动压轮通过横向活动轴杆7安装于横向槽口内，横向槽口侧壁具有横向调节孔，横向活动轴杆位于横向调节孔内，使横向活动轴杆可沿横向调节孔移动，横向支杆外侧设有横向叉形包边8，横向活动轴杆末端穿过横向调节孔与横向叉形包边相连，横向叉形包边中部设有横向调节螺栓9，横向调节螺栓抵住横向支杆末端，通过横向调节螺栓对横向活动轴杆进行位置调节;纵向支杆中具有纵向槽口 1，纵向槽口贯穿纵向支杆两侧，并沿纵向支杆的长度方向延伸，纵向槽口内设有纵向固定压轮11与纵向活动压轮12，纵向固定压轮与纵向活动压轮之间具有供切割线通过的间隙，纵向固定压轮通过纵向固定轴杆13安装于纵向槽口内，纵向活动压轮通过纵向活动轴杆14安装于纵向槽口内，纵向槽口侧壁具有纵向调节孔，纵向活动轴杆位于纵向调节孔内，使纵向活动轴杆可沿纵向调节孔移动，纵向支杆外侧设有纵向叉形包边15，纵向活动轴杆末端穿过纵向调节孔与纵向叉形包边相连，纵向叉形包边中部设有纵向调节螺栓16，纵向调节螺栓抵住纵向支杆末端，通过纵向调节螺栓对纵向活动轴杆进行位置调节;支撑机构包括横向基板17与纵向基板18，纵向基板与纵向支杆分别固定于横向基板两端，横向支杆安装于纵向基板末端;纵向支杆上设有定位板19，定位板两端分别具有豁口 20，豁口内设有紧定螺栓21，通过紧定螺栓将定位板与纵向支杆固定连接，定位板中具有供切割线通过的穿线孔22。该硅片切割线自变形装置设置了横向支杆与纵向支杆，横向支杆上设置横向固定压轮与横向活动压轮，竖向支杆上设置竖向固定压轮与竖向活动压轮，切割线既可在横向固定压轮与横向活动压轮之间压紧变形，也可在竖向固定压轮与竖向活动压轮之间压紧变形，安装方便，使用灵活，便于进行切割线压型处理。
[0012]以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让本领域的技术人员了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.硅片切割线自变形装置，包括支撑机构与压型机构，压型机构安装于支撑机构上，压型机构包括横向支杆与纵向支杆，其特征在于: 横向支杆中具有横向槽口，横向槽口贯穿横向支杆两侧，并沿横向支杆的长度方向延伸，横向槽口内设有横向固定压轮与横向活动压轮，横向固定压轮与横向活动压轮之间具有供切割线通过的间隙，横向固定压轮通过横向固定轴杆安装于横向槽口内，横向活动压轮通过横向活动轴杆安装于横向槽口内，横向槽口侧壁具有横向调节孔，横向活动轴杆位于横向调节孔内，使横向活动轴杆可沿横向调节孔移动，横向支杆外侧设有横向叉形包边，横向活动轴杆末端穿过横向调节孔与横向叉形包边相连，横向叉形包边中部设有横向调节螺栓，横向调节螺栓抵住横向支杆末端，通过横向调节螺栓对横向活动轴杆进行位置调节； 纵向支杆中具有纵向槽口，纵向槽口贯穿纵向支杆两侧，并沿纵向支杆的长度方向延伸，纵向槽口内设有纵向固定压轮与纵向活动压轮，纵向固定压轮与纵向活动压轮之间具有供切割线通过的间隙，纵向固定压轮通过纵向固定轴杆安装于纵向槽口内，纵向活动压轮通过纵向活动轴杆安装于纵向槽口内，纵向槽口侧壁具有纵向调节孔，纵向活动轴杆位于纵向调节孔内，使纵向活动轴杆可沿纵向调节孔移动，纵向支杆外侧设有纵向叉形包边，纵向活动轴杆末端穿过纵向调节孔与纵向叉形包边相连，纵向叉形包边中部设有纵向调节螺栓，纵向调节螺栓抵住纵向支杆末端，通过纵向调节螺栓对纵向活动轴杆进行位置调节。2.根据权利要求1所述的硅片切割线自变形装置，其特征在于，支撑机构包括横向基板与纵向基板，纵向基板与纵向支杆分别固定于横向基板两端，横向支杆安装于纵向基板末端。3.根据权利要求1所述的硅片切割线自变形装置，其特征在于，纵向支杆上设有定位板，定位板两端分别具有豁口，豁口内设有紧定螺栓，通过紧定螺栓将定位板与纵向支杆固定连接，定位板中具有供切割线通过的穿线孔。
【文档编号】B28D5/04GK205588496SQ201620367172
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年4月27日
【发明人】曾国伟, 乔晓东
【申请人】嘉兴耐进新材料有限公司