技术编号:4930135
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种过滤器以及酸洗设备。所述过滤器包括壳体,位于所述壳体中的滤网;其中,所述壳体包括侧壁,所述侧壁由内至外包括内壁、感压膜及外壁,所述感压膜侦测所述过滤器内的压强并传递信号至外界,从而间接反映处滤网的质量,能够及时发现异常,降低乃至避免损失。专利说明过滤器以及酸洗设备[0001]本实用新型涉及半导体设备,特别涉及一种湿法清洗中的过滤器以及酸洗设备。背景技术[0002]在半导体制造中,需要涉及到许许多多的工序,每道工序都是由一定的工艺及设备完...
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