技术编号：4968416
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及由剥离液废液再生剥离液的方法以及再生装置。 背景技术由液晶的制造工序(液晶显示器的向列基座单元制造工序)排出的含 有抗蚀剂的剥离液废液中，除了抗蚀剂外还含有水、重金属类、各种微粒 等不挥发性成分、低沸点成分、高沸点成分。以往，作为涉及用于回收由 抗蚀剂剥离液废液精制的溶剂(精制剥离液)的方法和装置的发明，有专利文献1~3。根据专利文献l中记载的溶剂再生回收装置，作为上述高沸 点成分的除去手段使用薄膜降下型的蒸发罐，通过湿气分离机将包含在上 述蒸发...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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