技术编号:4982258
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种管路清洁装置及生产外延片的尾气处理用管路系统。 背景技术在外延片生产过程中,会产生大量需要处理的尾气,其主要成分为三氯氢硅、磷 烷、硼烷、氮气、氯化氢和氢气等。现有技术中的处理尾气的方法,是将尾气通入水中进行处 理。如图1所示为一种尾气处理用管,其包括输气管1、主管2及输水管3。主管2 —端由端 盖23密封,另一端与处理装置(图中未示出)连接。主管2设置有进气口 21和进水口 22。 输气管1与主管2在进气口 21处连通;输水管3与主管2...
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