专利名称：管路清洁装置及生产外延片的尾气处理用管路系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种管路清洁装置及生产外延片的尾气处理用管路系统。
背景技术：
在外延片生产过程中，会产生大量需要处理的尾气，其主要成分为三氯氢硅、磷 烷、硼烷、氮气、氯化氢和氢气等。现有技术中的处理尾气的方法，是将尾气通入水中进行处 理。如图1所示为一种尾气处理用管，其包括输气管1、主管2及输水管3。主管2 —端由端 盖23密封，另一端与处理装置(图中未示出)连接。主管2设置有进气口 21和进水口 22。 输气管1与主管2在进气口 21处连通；输水管3与主管2在进水口 22处连通。尾气和水 分别经进气口 21和进水口 22进入主管2内混合，混合后继续向下流动，进入处理系统。三氯氢硅溶于水后与水反应放热，放出的热量会使水蒸发至进气口 21与进水口 22之间。水蒸汽与尾气中的三氯氢硅容易发生化学反应，且其生成物容易结晶附着于进气 口 21与进水口 22之间的主管2内壁。结晶物聚集量多以后，容易堵塞主管，影响尾气处理 的顺利进行。如要顺利处理尾气，必须将附着于主管2内壁的结晶物去除，经疏通后才能继 续使用。现有技术中的管路系统，在清洁时，需要将主管2的端盖23打开，使用清洁工具伸 入主管2内去除结晶物。由于尾气中大多为有害气体，因此，清洁时必须停止尾气输送，以 免尾气危害操作工人身体健康。清洁完成后，再将端盖23安装在主管2的端部，继续处理 尾气。这种管路具有以下缺点和不足1、操作麻烦。清理时必须打开端盖23，处理完成 后再安装端盖23，操作不便。2、效率低，影响尾气的处理，进而影响硅生产工艺的连续进行。 由于尾气为有害气体，处理时必须停止输送尾气，整个尾气处理工作必须暂停，待处理完成 后才能继续进行，占用时间长，效率低，影响尾气处理的连续进行。如不能及时处理尾气，则 硅生产工作也必须暂停或者需要寻找代替的尾气处理装置。3、危险性高。虽然在清洁处理 时停止输送尾气，但输气管及主管管路中残留的尾气难免会散发而影响工人的身体健康。
实用新型内容本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可不影响尾气处理连 续进行的管路清洁装置。为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现管路清洁装置，其特征在于，包括固定装置，固定装置设置有通孔；连杆可沿通孔 轴向运动地设置在固定装置的通孔内，连杆两端位于通孔外；连杆一端安装有清洁浆片，所 述连杆与固定装置之间设置有可将通孔密封的密封圈。优选地是，所述固定装置包括基座与压紧装置，压紧装置与基座可拆卸连接，压紧 装置与基座密封连接。优选地是，基座与压紧装置共同形成开口朝向通孔的第一凹槽，密封圈设置在第一凹槽内，且密封圈与连杆接触。 优选地是，所述压紧装置包括第一压盖，第一压盖与基座可拆卸连接，基座的端部 设置有第一沉孔，第一压盖上设置有可插入第一沉孔内的第一凸块，第一凸块、第一压盖与 第一沉孔底部形成开口朝向通孔的第一凹槽，第一密封圈设置在第一凹槽内，且第一密封 圈与连杆接触。优选地是，还包括有第二压盖，所述第一压盖与第二压盖可拆卸连接，第一压盖端 部设置有第二沉孔，第二压盖设置在第二沉孔上端，第二密封圈设置在第二沉孔内，且第二 密封圈与连杆接触。优选地是，还包括定位装置，所述定位装置包括第二凸块，第二凸块设置于第一压 盖上，第二凸块与基座上的沉孔侧壁或第四凹槽相配合。优选地是，第二凸块与第一凸块沿第一压盖径向间隔设置，第一凸块与第二凸块 之间为第三凹槽，第三密封圈设置在第三凹槽内。优选地是，所述的密封圈为0型圈。优选地是，所述通孔内壁设置有开口朝向通孔的第五凹槽。本实用新型的另一个目的是提供一种生产外延片的尾气处理用管路系统，其特征 在于，包括主管、输气管与输水管，主管设置有进气口，输气管与主管在进气口处连通；主管 设置有进水口，输水管与主管在进水口处连通，所述主管一端设置有管路清洁装置，管路清 洁装置包括固定装置，固定装置设置有通孔；连杆可沿通孔轴向运动地设置在固定装置的 通孔内，连杆两端位于通孔外；连杆一端安装有清洁浆片，所述连杆与固定装置之间设置有 可将通孔密封的密封圈。优选地是，所述固定装置包括基座与压紧装置，压紧装置与基座可拆卸连接，基座 与压紧装置连接处设置有开口朝向连杆的第一凹槽，所述密封圈设置在第一凹槽内，且密 封圈与连杆接触。优选地是，所述固定装置包括基座与压紧装置，压紧装置与基座可拆卸连接，压紧 装置与基座密封连接。优选地是，所述压紧装置包括第一压盖，第一压盖与基座可拆卸连接，基座的端部 设置有第一沉孔，第一压盖上设置有可插入第一沉孔内的第一凸块，第一凸块、第一压盖与 第一沉孔底部形成开口朝向通孔的第一凹槽，第一密封圈设置在第一凹槽内，且第一密封 圈与连杆接触。 优选地是，还包括有第二压盖，所述第一压盖与第二压盖可拆卸连接，第一压盖端 部设置有第二沉孔，第二压盖设置在第二沉孔上端，第二密封圈设置在第二沉孔内，且第二 密封圈与连杆接触。优选地是，还包括定位装置，所述定位装置包括第二凸块，第二凸块设置于第一压 盖上，第二凸块与基座上的沉孔侧壁或第四凹槽相配合。优选地是，第二凸块与第一凸块沿第一压盖径向间隔设置，第一凸块与第二凸块 之间为第三凹槽，第三密封圈设置在第三凹槽内。优选地是，所述的密封圈为0型圈。优选地是，所述通孔内壁设置有开口朝向通孔的第五凹槽。优选地是，进气口位于进水口上方。[0027]本实用新型中的管路清洁装置，既可以保证密封性能好，又可以使清洁浆片自如 移动。可以在处理尾气的同时清洁管路，清理时无需停止尾气处理，既节省时间，效率高；而 且可防止尾气泄漏危害工人身体健康。
图1为现有技术中生产外延片的尾气处理用管路系统剖视示意图；图2为本实用新型中的生产外延片的尾气处理用管路系统轴向剖视示意图；图3为本实用新型中的管路清洁装置轴向剖视拆分示意图，图中未示出各个密封 圈；图4为本实用新型中的管路清洁装置装配后轴向剖视示意图，图中未示出各个密 封圈；图5为本实用新型中的管路清洁装置装配轴向剖视示意图；图6为本实用新型中的管路清洁装置使用状态轴向剖视示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进行详细的描述图2为本实用新型中的生产外延片的尾气处理用管路系统轴向剖视示意图；如图 2所示，生产外延片的尾气处理用管路系统，包括圆形的主管2、输气管1与输水管3。主管 2设置有进气口 21和进水口 22。进气口 21位于进水口 22上方。输气管1与主管2在进 气口 21处连通；输水管3与主管2在进水口 22处连通。主管2 —端与处理装置(图中未示出)连接；另一端可拆卸安装有管路清洁装置 10。管路清洁装置10包括圆形的固定装置4和圆柱形的连杆7。固定装置4设置有通孔， 通孔包括图4中的第一通孔411、第二通孔429和第三通孔432。连杆7 —端设置有清洁浆 片71 ；另一端设置有手柄72。主管2、固定装置4和连杆7具有轴线8。连杆7可沿固定装 置4轴线8轴向移动地安装在固定装置4的通孔内。固定装置4与连杆7之间设置有密封 圈，密封圈包括图5中的第一 0型圈61和第二 0型圈62。密封圈用于将通孔轴向密封，可 防止主管2内的尾气从固定装置4的通孔泄漏。固定装置4设置多个第一内螺纹孔，图中 示出了两个(413A，413B)，多个第一内螺纹孔环绕轴线8设置，使用螺钉(图中未示出)与 第一内螺纹孔配合将固定装置4与主管2可拆卸连接。图3为本实用新型中的管路清洁装置轴向剖视拆分示意图，图中未示出各个密封 圈；如图3所示，固定装置4包括圆柱形的基座41和圆柱形的第一压盖42，第一压盖42分 为上中下三段，其直径依次增大。基座41设置有轴向的第一通孔411。基座41上端部设置 有第一沉孔412，第一沉孔412围绕第一通孔411设置。第一沉孔412具有侧壁4121和底 部4122。圆柱形的基座41、圆柱形的第一压盖42、第一通孔411和第一沉孔412具有轴线 8。基座41设置多个第一内螺纹孔，图中示出了两个(413A，413B)，多个第一内螺纹孔环绕 轴线8设置。基座41设置多个第二内螺纹孔，图中示出了两个(414A，414B)，多个第二内螺 纹孔环绕轴线8设置。第一压盖42设置有轴向的第二通孔429。第一压盖42下端部设置有可插入第一 沉孔412内的第一凸块421和第二凸块422。第一凸块421和第二凸块422均环绕第二通孔429设置一圈。第一凸块421与第二通孔429的内壁4291具有一定距离，以与第一沉孔 412底部4122形成第一凹槽(图5所示)。第一凸块421和第二凸块422间隔设置，形成 第三凹槽423。第二凸块422具有外壁4221，外壁4221与第一沉孔412的侧壁4121相配 合，用于基座41与第一压盖42装配时定位，安装时，将第一压盖42安装在基座41上端，第 二凸块422插入第一沉孔412内，第二凸块422的外壁4221与第一沉孔412的侧壁4121 相接触。第一压盖42设置多个第三内螺纹孔，图中示出了两个(428A，428B)，多个第三内螺 纹孔环绕轴线8设置。第三内螺纹孔与第二内螺纹孔位置及数目相对应，使用螺钉旋入第 三内螺纹孔与第二内螺纹孔内可将基座41和第一压盖42可拆卸连接。第二通孔429的内壁4291设置有开口朝向第二通孔429的两个第五凹槽(436A， 436B)。两个第五凹槽(436A，436B)均环绕第二通孔429—圈。两个第五凹槽(436A，436B) 用于放置润滑油，在连杆(图2所示)上下移动过程中，连杆可沾上润滑油，以使连杆沿轴 向移动更顺畅。固定装置4还包括有圆柱形的第二压盖43，第二压盖43包括圆筒433和圆柱形的 压板431，第二压盖43设置有第三通孔432。压板431设置在圆筒433下端。压板431的直 径大于第二压盖43的直径。内螺纹筒44具有第四通孔442。内螺纹筒44具有肩部441。 内螺纹筒44的第四通孔442直径与压板431的直径相配合以使第二压盖43套设在内螺纹 筒44内，肩部441卡住压板431，使压板431只能从内螺纹筒44下端取出，而无法从上端取 出。内螺纹筒44设置有内螺纹，第一压盖42上端设置有与内螺纹相配合的外螺纹，内螺纹 筒44与第一压盖42螺纹连接。图4为本实用新型中的管路清洁装置装配后轴向剖视示意图，图中未示出各个密 封圈；如图4所示，基座41与第一压盖42可拆卸连接，第一压盖42、第一凸块421与基座 41形成第一凹槽51。第一凹槽51开口朝向第一通孔411，用于安装一个0型圈。内螺纹筒44螺纹连接在第一压盖42上端，内螺纹筒44将压板422压在第二压盖 43上端，压板422与第二沉孔427 (图3所示)形成第二凹槽52，第二凹槽52开口朝向第 二通孔429，用于安装一个0型圈。图5为本实用新型中的管路清洁装置装配后轴向剖视示意图；如图5所示，基座 41与第一压盖42之间设置有第一 0型圈61和第三0型圈63。第一 0型圈61安装在图4 所示的第一凹槽51内。第三0型圈63安装在图4所示的第三凹槽423内。第一 0型圈 61和第三0型圈63将基座41和第一压盖42连接处径向密封，用于防止尾气从基座41和 第一压盖42之间泄漏。第一 0型圈61环绕连杆(图2所示)并与连杆相接触，还可以轴 向密封第一通孔411，防止尾气从第一通孔411泄漏。基座41与第一压盖42可拆卸连接， 且两者之间设置第一 0型圈61，在基座41与第一压盖42连接时，可压迫第一 0型圈61变 形；由于第一凹槽51开口朝向第一通孔411，因此第一 0型圈61变形后沿基座41径向延 伸与连杆接触更紧密。基座41与第一压盖42可拆卸连接，可以调节第一 0型圈61的密封 程度，可以调节第一 0型圈61与连杆接触的紧密程度。第一压盖42与压板431之间设置有第二 0型圈62，第二 0型圈62环绕连杆(图 2所示)并与连杆相接触，用于轴向密封第三通孔432。第二 0型圈62既能将第一压盖42 与压板431之间径向密封，防止尾气从第一压盖42与压板431之间泄漏；又可以将第三通 孔432轴向密封，防止尾气从第三通孔432泄漏。[0045]径向和轴向均采用双密封，可完全确保尾气不会泄漏。既能实现良好的密封效果， 又可以保证连杆上下移动自如。图2和图5为管路清洁装置两种使用状态时的轴向剖视示意图，图2为不需要清 洁主管2时的使用状态；图5需要清洁主管2时的使用状态。如图2所示，不需要清洁主管 2时，向上拉动连杆7的手柄72，将清洁浆片71拉到进气口 21上方，可避免阻挡尾气。需要清洁主管2时，向下按手柄72，将清洁浆片71按至进气口 21与进水口 22之 间，转动手柄72以使清洁浆片71在主管2内转动，将附着在主管2内壁上的结晶物刮掉， 结晶物掉入下方被水带走。使用完毕后，将清洁浆片71拉至进气口 21上方。本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围 的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围 内。
权利要求管路清洁装置，其特征在于，包括固定装置，固定装置设置有通孔；连杆可沿通孔轴向运动地设置在固定装置的通孔内，连杆两端位于通孔外；连杆一端安装有清洁浆片，所述连杆与固定装置之间设置有可将通孔密封的密封圈。
2.根据权利要求1所述的管路清洁装置，其特征在于，所述固定装置包括基座与压紧 装置，压紧装置与基座可拆卸连接，压紧装置与基座密封连接。
3.根据权利要求2所述的管路清洁装置，其特征在于，基座与压紧装置共同形成开口 朝向通孔的第一凹槽，密封圈设置在第一凹槽内，且密封圈与连杆接触。
4.根据权利要求3所述的管路清洁装置，其特征在于，所述压紧装置包括第一压盖，第 一压盖与基座可拆卸连接，基座的端部设置有第一沉孔，第一压盖上设置有可插入第一沉 孔内的第一凸块，第一凸块、第一压盖与第一沉孔底部形成开口朝向通孔的第一凹槽，第一 密封圈设置在第一凹槽内，且第一密封圈与连杆接触。
5.根据权利要求4所述的管路清洁装置，其特征在于，还包括有第二压盖，所述第一压 盖与第二压盖可拆卸连接，第一压盖端部设置有第二沉孔，第二压盖设置在第二沉孔上端， 第二密封圈设置在第二沉孔内，且第二密封圈与连杆接触。
6.根据权利要求2或4所述的管路清洁装置，其特征在于，还包括定位装置，所述定位 装置包括第二凸块，第二凸块设置于第一压盖上，第二凸块与基座上的沉孔侧壁或第四凹 槽相配合。
7.根据权利要求6所述的管路清洁装置，其特征在于，第二凸块与第一凸块沿第一压 盖径向间隔设置，第一凸块与第二凸块之间为第三凹槽，第三密封圈设置在第三凹槽内。
8.根据权利要求1所述的管路清洁装置，其特征在于，所述的密封圈为0型圈。
9.根据权利要求1所述的管路清洁装置，其特征在于，所述通孔内壁设置有开口朝向 通孔的第五凹槽。
10.生产外延片的尾气处理用管路系统，其特征在于，包括主管、输气管与输水管，主管 设置有进气口，输气管与主管在进气口处连通；主管设置有进水口，输水管与主管在进水口 处连通，所述主管一端设置有管路清洁装置，管路清洁装置包括固定装置，固定装置设置有 通孔；连杆可沿通孔轴向运动地设置在固定装置的通孔内，连杆两端位于通孔外；连杆一 端安装有清洁浆片，所述连杆与固定装置之间设置有可将通孔密封的密封圈。
11.根据权利要求10所述的生产外延片的尾气处理用管路系统，其特征在于，所述固 定装置包括基座与压紧装置，压紧装置与基座可拆卸连接，基座与压紧装置连接处设置有 开口朝向连杆的第一凹槽，所述密封圈设置在第一凹槽内，且密封圈与连杆接触。
12.根据权利要求11所述的生产外延片的尾气处理用管路系统，其特征在于，所述固 定装置包括基座与压紧装置，压紧装置与基座可拆卸连接，压紧装置与基座密封连接。
13.根据权利要求12所述的生产外延片的尾气处理用管路系统，其特征在于，所述压 紧装置包括第一压盖，第一压盖与基座可拆卸连接，基座的端部设置有第一沉孔，第一压盖 上设置有可插入第一沉孔内的第一凸块，第一凸块、第一压盖与第一沉孔底部形成开口朝 向通孔的第一凹槽，第一密封圈设置在第一凹槽内，且第一密封圈与连杆接触。
14.根据权利要求13所述的生产外延片的尾气处理用管路系统，其特征在于，还包括 有第二压盖，所述第一压盖与第二压盖可拆卸连接，第一压盖端部设置有第二沉孔，第二压 盖设置在第二沉孔上端，第二密封圈设置在第二沉孔内，且第二密封圈与连杆接触。
15.根据权利要求11或13所述的生产外延片的尾气处理用管路系统，其特征在于，还 包括定位装置，所述定位装置包括第二凸块，第二凸块设置于第一压盖上，第二凸块与基座 上的沉孔侧壁或第四凹槽相配合。
16.根据权利要求15所述的生产外延片的尾气处理用管路系统，其特征在于，第二凸 块与第一凸块沿第一压盖径向间隔设置，第一凸块与第二凸块之间为第三凹槽，第三密封 圈设置在第三凹槽内。
17.根据权利要求10所述的生产外延片的尾气处理用管路系统，其特征在于，所述的 密封圈为0型圈。
18.根据权利要求10所述的生产外延片的尾气处理用管路系统，其特征在于，所述通 孔内壁设置有开口朝向通孔的第五凹槽。
19.根据权利要求10所述的生产外延片的尾气处理用管路系统，其特征在于，进气口 位于进水口上方。
专利摘要本实用新型公开了一种管路清洁装置，其特征在于，包括固定装置，固定装置设置有通孔；连杆可沿通孔轴向运动地设置在固定装置的通孔内，连杆两端位于通孔外；连杆一端安装有清洁桨片，所述连杆与固定装置之间设置有可将通孔密封的密封圈。本实用新型中的管路清洁装置，使用在生产外延片的尾气处理用管路系统时，既可以保证密封性能好，又可以使清洁桨片自如移动。可以在处理尾气的同时清洁管路，清理时无需停止尾气处理，既节省时间，效率高；而且可防止尾气泄漏危害工人身体健康。
文档编号B01D53/78GK201644459SQ20102015010
公开日2010年11月24日 申请日期2010年4月2日 优先权日2010年4月2日
发明者楼琦江 申请人:上海晶盟硅材料有限公司