一种化学品管路拆卸装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种化学品管路拆卸装置，包括密封操作箱体、管线密封件及排气管线，其中：所述密封操作箱体内设有一可容纳待拆管线接头的容纳腔体；所述密封操作箱体的侧壁密封连接有至少两个伸入所述容纳腔体内的操作手套；所述密封操作箱体的侧壁还设有一对相对的管线接口部；所述管线密封件与所述管线接口部密封连接，用于密封所述管线接口部与待拆管线之间的间隙；所述管线密封件中设有一容许待拆管线穿过的孔洞；所述排气管线设于所述密封操作箱体的侧壁，并与所述容纳腔体连通。本实用新型的化学品管路拆卸装置可以在免除搭建微环境或清空作业区域人员的条件下安全地进行化学品管路拆除，具有易于携带和使用的优点。
【专利说明】
一种化学品管路拆卸装置
技术领域
[0001]本实用新型属于集成电路制造领域，涉及一种化学品管路拆卸装置。
【背景技术】
[0002]半导体工厂使用到很多化学品，这些化学品通过管路进行传输。当需要对管路进行维修或更换时，需要对管路进行先进行清除(Purge)，待管路内无残留化学品后再进行拆除。但在实际工作中，经常会遇到使用较久的管路无法有效清除干净而会有残留或因管路两端的部件损坏造成部分化学品憋在管路中无法清除，这时一般就需要搭建微环境(min1-environment) 来进行操作， 在不具备搭建微环境的地方 ，就需要将工厂内 (FAB) 内相关人员清空处理，否则将会影响人员健康，产品质量以及破坏无尘室各项环境指标。但这样将会耗费大量人力物力，也会影响生产。同时，搭建微环境因为要耗费工时与及相应的材料，同样会有很多成本(cost)的产生。
[0003]因此，如何提供一种化学品管路拆卸装置，以简单的密闭的拆除一些无法清理干净的化学品管路，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。
【实用新型内容】
[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种化学品管路拆卸装置，用于解决现有技术中对化学品管路进行清除需要耗费大量人力物力、并影响生产的问题。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种化学品管路拆卸装置，所述化学品管路拆卸装置包括密封操作箱体、管线密封件及排气管线，其中:
[0006]所述密封操作箱体内设有一可容纳待拆管线接头的容纳腔体;所述密封操作箱体的侧壁密封连接有至少两个伸入所述容纳腔体内的操作手套;所述密封操作箱体的侧壁还设有一对相对的管线接口部，使得待拆管线接头位于所述容纳腔体内时，接头两端延伸的待拆管线能够从所述管线接口部伸出；
[0007]所述管线密封件与所述管线接口部密封连接，用于密封所述管线接口部与待拆管线之间的间隙;所述管线密封件中设有一与待拆管线外部尺寸相匹配以容许待拆管线穿过的孔洞；
[0008]所述排气管线设于所述密封操作箱体的侧壁，并与所述容纳腔体连通。
[0009]可选地，所述密封操作箱体上设有一手提部。
[0010]可选地，所述密封操作箱体包括可开合的上盖和下盖。
[0011]可选地，所述上盖与下盖通过转轴连接件连接。
[0012]可选地，所述上盖与下盖的接触面设有密封圈。
[0013]可选地，所述管线接口部由设于所述上盖与下盖接触面上的第一凹槽与第二凹槽相配合而成，其中，所述第一凹槽设于所述上盖中，所述第二凹槽设于所述下盖中。
[0014]可选地，所述排气管线设于所述上盖侧壁或所述下盖侧壁。
[0015]可选地，所述管线密封件包括可开合的上密封件和下密封件。
[0016]可选地，所述上密封件和下密封件的一侧边通过转轴连接件连接，所述上密封件和下密封件的另一侧边往外延伸，并通过紧固件锁紧。
[0017]可选地，所述孔洞由设于所述上密封件与下密封件接触面上的第一凹陷部与第二凹陷部相配合而成，其中，所述第一凹陷部设于所述上密封件中，所述第二凹陷部设于所述下密封件中。
[0018]可选地，所述管线密封件通过一伸入所述管线接口部中的连接部与所述管线接口部密封连接，其中，所述连接部外表面设有外螺纹，所述管线接口部内表面设有与所述外螺纹相配合的内螺纹。
[0019]可选地，所述排气管线上设有一用于连接气体侦测器以探测所述容纳腔体内的有害气体浓度的米样孔。
[0020]如上所述，本实用新型的化学品管路拆卸装置，具有以下有益效果:本实用新型的化学品管路拆卸装置可以在免除搭建微环境或清空作业区域人员的条件下，把需要拆除的管线接头部分包在密闭空间之内，操作人员通过两只与其相连的手套操作工具拆开接头部位，有害物质会通过排气管线抽走，当侦测器通过采样口测得安全数值后，即可取下该装置，进行后续操作。由于待拆管线直径通常为标准尺寸且有多种规格，本实用新型的化学品管路拆卸装置可配置一系列的规格的管线密封件，平时全部放在密封操作箱体内便于携带，使用时按照待拆管线的尺寸选择相应的密封装置即可。本实用新型的化学品管路拆卸装置具有易于携带和使用的优点。
【附图说明】
[0021]图1显示为本实用新型的化学品管路拆卸装置的结构示意图。
[0022]图2显示为所述密封操作箱体处于开启状态时的结构示意图。
[0023]图3显示为所述管线密封件的正面主视图。
[0024]图4显示为所述管线密封件的侧视图。
[0025]图5显示为所述管线密封件处于开启状态时的结构示意图。
[0026]图6显示为密封操作箱体、待拆管线及管线密封件的配合分解图。
[0027]图7显示为本实用新型的化学品管路拆卸装置使用时的俯视图。
[0028]元件标号说明
[0029]I密封操作箱体
[0030]101上盖
[0031]102下盖
[0032]103转轴连接件
[0033]104操作手套
[0034]105管线接口部
[0035]1051第一凹槽
[0036]1052第二凹槽
[0037]106手提部
[0038]2管线密封件
[0039]201上密封件
[0040]202下密封件[0041 ]203孔洞
[0042]204紧固件
[0043]205外螺纹
[0044]3排气管线
[0045]4采样孔
[0046]5待拆管线接头
[0047]6待拆管线
【具体实施方式】
[0048]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0049]请参阅图1至图7。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0050]本实用新型提供一种化学品管路拆卸装置，请参阅图1，显示为所述化学品管路拆卸装置的结构示意图，包括密封操作箱体1、管线密封件2(如图3及图4所示)及排气管线3，其中:
[0051]所述密封操作箱体I内设有一可容纳待拆管线接头的容纳腔体;所述密封操作箱体I的侧壁密封连接有至少两个伸入所述容纳腔体内的操作手套104;所述密封操作箱体I的侧壁还设有一对相对的管线接口部105，使得待拆管线接头位于所述容纳腔体内时，接头两端延伸的待拆管线能够从所述管线接口部105伸出；
[0052]所述管线密封件2与所述管线接口部105密封连接，用于密封所述管线接口部105与待拆管线之间的间隙；所述管线密封件2中设有一与待拆管线外部尺寸相匹配以容许待拆管线穿过的孔洞203;
[0053]所述排气管线3设于所述密封操作箱体I的侧壁，并与所述容纳腔体连通。
[0054]具体的，所述密封操作箱体I包括可开合的上盖101和下盖102。所述排气管线3既可设于所述上盖101侧壁，也可设于所述下盖102侧壁。本实施例中，所述排气管线3上还设有一用于连接气体侦测器以探测所述容纳腔体内的有害气体浓度的采样孔4。
[0055]同样的，所述操作手套104既可设于所述上盖101的顶部或侧壁，也可设于所述下盖102侧壁。所述操作手套104与所述密封操作箱体I无缝连接，用于管路拆卸作业。
[0056]作为示例，所述上盖101与下盖102通过转轴连接件103连接，以实现打开和闭合的动作。图2显示为所述密封操作箱体I处于开启状态时的结构示意图。
[0057]作为示例，所述管线接口部105由设于所述上盖101与下盖102接触面上的第一凹槽1051与第二凹槽1052相配合而成，其中，所述第一凹槽1051设于所述上盖101中，所述第二凹槽1052设于所述下盖102中。所述管线接口部105设于所述上盖101与下盖102交界处有利于所述密封操作箱体I安装于待拆管线上，第一凹槽1051与第二凹槽1052可以分别卡住待拆管线的一部分。
[0058]作为示例，所述第一凹槽1051与第二凹槽1052的纵截面均为半圆形，当所述上盖101与下盖102闭合时，所述第一凹槽1051与第二凹槽1052共同围成一个纵截面为圆形的管线接口部。在其它实施例中，所述第一凹槽1051与第二凹槽1052的纵截面也可分别为一较小的圆弧和一较大的圆弧，并同样在所述上盖101与下盖102闭合时共同围成一个纵截面为圆形的管线接口部。
[0059]作为示例，所述上盖101与下盖102的接触面设有密封圈，以保证所述密封操作箱体I处于关闭状态时的密闭性。
[0060]作为示例，所述密封操作箱体I上还设有一手提部106，以方便所述化学品管路拆卸装置的携带。所述手提部可以设于所述上盖101顶面或所述上盖101侧壁，此处不应过分限制本实用新型的保护范围。
[0061]请参阅图3及图4，分别显示为所述管线密封件2正面主视图及侧视图。本实施例中，所述管线密封件2包括可开合的上密封件201和下密封件202，所述上密封件201和下密封件202的一侧边通过转轴连接件连接，所述上密封件201和下密封件202的另一侧边往外延伸，并通过紧固件204锁紧。当取下所述紧固件204，即可开启所述管线密封件2。图5显示为所述管线密封件2处于开启状态时的结构示意图。
[0062]作为示例，所述紧固件204以螺栓与螺母为例，所述上密封件201和下密封件202中设有与所述螺栓相配合的螺孔。
[0063]作为示例，所述管线密封件2中可容许待拆管线穿过的孔洞203由设于所述上密封件201与下密封件202接触面上的第一凹陷部与第二凹陷部相配合而成，其中，所述第一凹陷部设于所述上密封件201中，所述第二凹陷部设于所述下密封件202中。图4的侧视图中通过虚线示出了所述孔洞203的走向。
[0064]如图4所示，所述管线密封件2通过一伸入所述管线接口部105中的连接部与所述管线接口部105密封连接，其中，所述连接部外表面设有外螺纹205，所述管线接口部105内表面设有与所述外螺纹205相配合的内螺纹。所述管线密封件2与所述管线接口部105之间同样可设有一密封圈，以保证气密性。
[0065]图6显示为密封操作箱体1、待拆管线及管线密封件2的配合分解图(省略了操作手套104及排气管线3)。其中，待拆管线接头5位于所述密封操作箱体I的容纳腔体内，接头两端延伸的待拆管线6从所述管线接口部105伸出，并穿过所述管线密封件2中的孔洞203，所述管线密封件2带有外螺纹205的连接部伸入所述管线接口部105，密封住所述管线接口部105与待拆管线6之间的间隙。
[0066]需要指出的是，因为待拆管线直径6通常为标准尺寸且有多种规格，因此所述管线密封件2可有一系列的规格(对于不同规格的管线密封件2，其带有外螺纹205的连接部外径不变，而所述孔洞203的直径不同)，平时全部放在所述密封操作箱体I的内部便于携带，使用时按照待拆管线的尺寸选择相应的管线密封件2。
[0067]本实用新型的化学品管路拆卸装置的使用方法为:当工程师需要拆卸某个无法进行清除干净的化学品管路且又不搭建微环境时，首先根据待拆管线的尺寸选择管件密封件2的大小，并将需要的工具放入所述密封操作箱体内的容纳腔体中，然后将所述上盖101与下盖102闭合，将待拆管线接头5包裹在密封操作箱体内，再用所述管线密封件2扣住露在箱体外的待拆管线6，并与所述管线接口部105连接在一起，将待拆管线接头5密闭在所述密封操作箱体内。将抽气装置接在所述排气管线3上，气体侦测器采样管通过所述采样口4进行采样。工程师通过所述操作手套104，用手或工具对管线接头5进行操作，拆开接头后，有害物质会随排风排出，待侦测器显示密闭装置内达到安全环境时，打开所述管线密封件2及所述密封操作箱体I，本次作业完成。
[0068]本实用新型的化学品管路拆卸装置可以处理气体或液体化学品，并具有反复使用的功能，且一套装置可以适用于多种尺寸的化学品管路。如果管路中有液体等残留物，应对使用后的化学品管路拆卸装置进行清洗，以便重复使用。
[0069]综上所述，本实用新型的化学品管路拆卸装置可以在免除搭建微环境或清空作业区域人员的条件下，把需要拆除的管线接头部分包在密闭空间之内，操作人员通过两只与其相连的手套操作工具拆开接头部位，有害物质会通过排气管线抽走，当侦测器通过采样口测得安全数值后，即可取下该装置，进行后续操作。由于待拆管线直径通常为标准尺寸且有多种规格，本实用新型的化学品管路拆卸装置可配置一系列的规格的管线密封件，平时全部放在密封操作箱体内便于携带，使用时按照待拆管线的尺寸选择相应的密封装置即可。本实用新型的化学品管路拆卸装置具有易于携带和使用的优点。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0070]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种化学品管路拆卸装置，其特征在于，所述化学品管路拆卸装置包括密封操作箱体、管线密封件及排气管线，其中: 所述密封操作箱体内设有一可容纳待拆管线接头的容纳腔体;所述密封操作箱体的侧壁密封连接有至少两个伸入所述容纳腔体内的操作手套;所述密封操作箱体的侧壁还设有一对相对的管线接口部，使得待拆管线接头位于所述容纳腔体内时，接头两端延伸的待拆管线能够从所述管线接口部伸出； 所述管线密封件与所述管线接口部密封连接，用于密封所述管线接口部与待拆管线之间的间隙;所述管线密封件中设有一与待拆管线外部尺寸相匹配以容许待拆管线穿过的孔洞； 所述排气管线设于所述密封操作箱体的侧壁，并与所述容纳腔体连通。2.根据权利要求1所述的化学品管路拆卸装置，其特征在于:所述密封操作箱体上设有一手提部。3.根据权利要求1所述的化学品管路拆卸装置，其特征在于:所述密封操作箱体包括可开合的上盖和下盖。4.根据权利要求3所述的化学品管路拆卸装置，其特征在于:所述上盖与下盖通过转轴连接件连接。5.根据权利要求3所述的化学品管路拆卸装置，其特征在于:所述上盖与下盖的接触面设有密封圈。6.根据权利要求3所述的化学品管路拆卸装置，其特征在于:所述管线接口部由设于所述上盖与下盖接触面上的第一凹槽与第二凹槽相配合而成，其中，所述第一凹槽设于所述上盖中，所述第二凹槽设于所述下盖中。7.根据权利要求3所述的化学品管路拆卸装置，其特征在于:所述排气管线设于所述上盖侧壁或所述下盖侧壁。8.根据权利要求1所述的化学品管路拆卸装置，其特征在于:所述管线密封件包括可开合的上密封件和下密封件。9.根据权利要求8所述的化学品管路拆卸装置，其特征在于:所述上密封件和下密封件的一侧边通过转轴连接件连接，所述上密封件和下密封件的另一侧边往外延伸，并通过紧固件锁紧。10.根据权利要求8所述的化学品管路拆卸装置，其特征在于:所述孔洞由设于所述上密封件与下密封件接触面上的第一凹陷部与第二凹陷部相配合而成，其中，所述第一凹陷部设于所述上密封件中，所述第二凹陷部设于所述下密封件中。11.根据权利要求1所述的化学品管路拆卸装置，其特征在于:所述管线密封件通过一伸入所述管线接口部中的连接部与所述管线接口部密封连接，其中，所述连接部外表面设有外螺纹，所述管线接口部内表面设有与所述外螺纹相配合的内螺纹。12.根据权利要求1所述的化学品管路拆卸装置，其特征在于:所述排气管线上设有一用于连接气体侦测器以探测所述容纳腔体内的有害气体浓度的采样孔。
【文档编号】B25J21/02GK205600761SQ201620438544
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年5月13日
【发明人】宋英华
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司, 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司