技术编号:4987449
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及粉尘处理领域,特别是一种在三氯氢硅生产过程中,回收处理细 颗粒的硅粉的废硅粉尘处理系统。背景技术在三氯氢硅生产过程中,细颗粒的硅粉会被反应气体从合成炉中带出来,经过旋 风和布袋除尘器而被捕集下来,需要定期地从系统中排除。对于这部分被收集的废硅粉尘 的处理,目前通常采用的是现场排放方式。由于废硅粉尘为极细颗粒并粘附着氯硅烷,容易 着火、爆炸,且排放时现场会弥漫大量的烟雾和废硅粉尘,这就给现场操作人员的操作带来 危险并造成环境污染。发明内容本实用...
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