专利名称：废硅粉尘处理系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及粉尘处理领域，特别是一种在三氯氢硅生产过程中，回收处理细 颗粒的硅粉的废硅粉尘处理系统。
背景技术：
在三氯氢硅生产过程中，细颗粒的硅粉会被反应气体从合成炉中带出来，经过旋 风和布袋除尘器而被捕集下来，需要定期地从系统中排除。对于这部分被收集的废硅粉尘 的处理，目前通常采用的是现场排放方式。由于废硅粉尘为极细颗粒并粘附着氯硅烷，容易 着火、爆炸，且排放时现场会弥漫大量的烟雾和废硅粉尘，这就给现场操作人员的操作带来 危险并造成环境污染。发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种废硅粉尘处理系统，可以回收在三氯 氢硅生产过程中的细颗粒的硅粉。为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是一种废硅粉尘处理系统， 包括旋风除尘器和袋式过滤器，旋风除尘器和袋式过滤器与除尘缓冲罐连接，除尘缓冲罐 与氮气进气管连接，除尘缓冲罐与喷淋吸收塔连接，喷淋吸收塔下端位于沉降池内，沉降池 一侧设有清水池，清水池通过喷淋吸收泵与喷淋吸收塔上的多个喷淋口连接，清水池通过 喷淋吸收泵同时与废水出口连接。所述的喷淋吸收塔内从上到下设有多个筛板。所述的筛板设有弓形的缺口，多个筛板的弓形缺口高低交错布置。本实用新型提供的一种废硅粉尘处理系统，通过采用喷淋吸收塔用水喷淋的方式 吸收酸性气体，捕集废硅粉尘，除尘效果好，净化了现场的工作环境，确保操作安全。采用沉 降池将硅粉沉降下来，水溢流到清水池继续喷淋，节约利用了水资源。特殊设计的筛板，可 以加强淋洗效果，有效的配置粉尘在各块筛板上的分布，以利于粉尘与喷淋水的充分接触， 避免出现，个别筛板的筛孔已经堵塞，而其他筛板工作量不饱和的情况。以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明
图1是本实用新型的结构示意图。图2是本实用新型中喷淋吸收塔的结构示意图。图3是图2的A向视图。
具体实施方式
如
图1、图2中，一种废硅粉尘处理系统，包括旋风除尘器1和袋式过滤器2，旋风 除尘器1和袋式过滤器2与除尘缓冲罐3连接，除尘缓冲罐3与氮气进气管连接，除尘缓冲罐3与喷淋吸收塔4连接，喷淋吸收塔4下端位于沉降池5内，沉降池5 —侧设有清水池6， 清水池6通过喷淋吸收泵7与喷淋吸收塔4上的多个喷淋口 10连接，清水池6通过喷淋吸 收泵7同时与废水出口 8连接。所述的喷淋吸收塔4内从上到下设有多个筛板9。本例中采用的为五块筛板9。如图3中，所述的筛板9设有弓形的缺口，在本例中切除的是夹角为100°的弓形 范围，多个筛板9的弓形缺口高低交错布置，即多块筛板9的弓形的缺口从上到下是交错 的，从图2可以清楚的看到，该结构有利于加强淋洗效果，且平均各块筛板9上工作负载的配置。将旋风除尘器1和袋式除尘器2内的废硅粉尘用氮气压送至除尘缓冲罐3缓冲后 进入特制的喷淋吸收塔4，在塔内从多个喷淋口 10通过用水喷淋的方式吸收酸性气体并捕 集废硅粉尘，淋洗液进入沉降池5经过沉降后溢入到清水池6，然后用喷淋吸收泵7打喷淋 吸收塔4继续喷淋，吸收后的废水从废水出口 8送三废处理工序中和处理。同时定期从塔 顶加入液碱以溶解筛板9上的水解物二氧化硅，避免堵塞。
权利要求1.一种废硅粉尘处理系统，包括旋风除尘器(1)和袋式过滤器(2)，其特征在于旋风 除尘器(1)和袋式过滤器(2)与除尘缓冲罐(3)连接，除尘缓冲罐(3)与氮气进气管连接，除 尘缓冲罐(3)与喷淋吸收塔(4)连接，喷淋吸收塔(4)下端位于沉降池(5)内，沉降池(5) — 侧设有清水池(6)，清水池(6)通过喷淋吸收泵(7)与喷淋吸收塔(4)上的多个喷淋口(10) 连接，清水池(6 )通过喷淋吸收泵(7 )同时与废水出口( 8 )连接。
2.根据权利要求1所述的一种废硅粉尘处理系统，其特征在于所述的喷淋吸收塔(4) 内从上到下设有多个筛板(9)。
3.根据权利要求2所述的一种废硅粉尘处理系统，其特征在于所述的筛板(9)设有弓 形的缺口，多个筛板(9 )的弓形缺口高低交错布置。
专利摘要一种废硅粉尘处理系统，包括旋风除尘器和袋式过滤器，旋风除尘器和袋式过滤器与除尘缓冲罐连接，除尘缓冲罐与氮气进气管连接，除尘缓冲罐与喷淋吸收塔连接，喷淋吸收塔下端位于沉降池内，沉降池一侧设有清水池，清水池通过喷淋吸收泵与喷淋吸收塔上的多个喷淋口连接，同时也与废水出口连接。本实用新型通过采用喷淋吸收塔用水喷淋的方式吸收酸性气体，捕集废硅粉尘，除尘效果好，净化了现场的工作环境。特殊设计的筛板，可以加强淋洗效果，有效的配置粉尘在各块筛板上的分布，以利于粉尘与喷淋水的充分接触，避免出现，个别筛板的筛孔已经堵塞，而其他筛板工作量不饱和的情况。
文档编号B01D53/18GK201832531SQ20102058572
公开日2011年5月18日 申请日期2010年11月1日 优先权日2010年11月1日
发明者刘源, 田洪先, 蒋卫华 申请人:宜昌南玻硅材料有限公司