技术编号:4988791
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种沸腾炉式三氯氢硅反应器内的气体分布器。 背景技术沸腾炉式三氯氢硅反应器内的气体分布器有对进料气流的分布作用,特别是对加 大进料气对硅粉层的冲击范围、提高气体与硅粉的接触面积作用明显。气体分布器由喷板 和喷嘴构成。沸腾炉内以往的气体分布器由喷板3和喷嘴4组成,喷嘴4由喷嘴螺纹8固定在 喷板3上。喷嘴4中有氯化氢通道5,喷板上堆积硅粉6,氯化氢通道5包括喷嘴下端的气 体进口 7、喷嘴侧上端的气体出口 9。在喷板3上每四个喷嘴按正方形分布(见图...
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